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Optimierung der elektrischen Eigenschaften von lateralen ...

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148 Kapitel 5 Dynamisches Verhalten <strong>von</strong> SJ‐LDMOS‐Transistoren<br />

_________________________________________________________________________________________________________________<br />

Abbildung 5.26: Elektronendichtenverteilung während des Sperrerholvorganges<br />

<strong>der</strong> ungleichförmigen SJ mit ∆NA = 0%. Der Erholvorgang fängt<br />

bei t = 0 ns an.

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