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Optimierung der elektrischen Eigenschaften von lateralen ...

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Kapitel 4 Statisches Verhalten <strong>von</strong> SJ‐LDMOS‐Transistoren 99<br />

_________________________________________________________________________________________________________________<br />

(a)<br />

(b)<br />

Abbildung 30: Abhängigkeit des Durchbruchorts <strong>von</strong> den Kompensationsgraden;<br />

(a) Gleichförmige SJ (b) Ungleichförmige SJ.

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