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Optimierung der elektrischen Eigenschaften von lateralen ...

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Kapitel 4 Statisches Verhalten <strong>von</strong> SJ‐LDMOS‐Transistoren 97<br />

_________________________________________________________________________________________________________________<br />

Abbildung 4.26: 2D‐Feldstärkeverteilung in <strong>der</strong> gleichförmigen SJ beim Durchbruch<br />

entlang verschiedener Schnittlinien für drei Kompensationsgrade<br />

in <strong>der</strong> Driftzone; ∆ND = −10%, 0%, +10%.<br />

Abbildung 4.27: 2D‐Feldstärkeverteilung in <strong>der</strong> gleichförmigen SJ beim Durchbruch<br />

entlang verschiedener Schnittlinien für drei Kompensationsgrade<br />

in den Säulen; ∆NA = −10%, 0%, +10%.

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