Aufbau und Charakterisierung eines Guinier-Diffraktometers
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<strong>Charakterisierung</strong> des <strong>Diffraktometers</strong> 4 - 30<br />
<strong>Diffraktometers</strong> annähernd gleich ist. Auch die Breite der Öffnung in der<br />
Primärstrahlblende hat kaum einen Einfluß auf die Stärke der Abweichung, woraus<br />
sich schließen läßt, daß die Verschiebung nicht auf die ebene Probengeometrie<br />
zurückgeführt werden kann. Die Abweichungen von der erwarteten theoretischen<br />
Abb.4-27: Abweichung ∆2θ von der erwarteten theoretischen Reflexlage bei Messungen von Silizium für<br />
drei verschiedene Größen der Primärstrahlblende an beiden Monochromatoren.<br />
Lage sind hauptsächlich die Folge einer radialen Verschiebung der Probe gegenüber<br />
dem Detektionskreis, was durch eine Meßreihe belegt werden konnte. Hierfür wurden<br />
Beugungsdiagramme der Silizium-Probe bei variierendem Abstand der Proben-<br />
oberfläche zum Detektionskreis aufgenommen, wobei die gleichen Einstellungen der<br />
Bildplatte <strong>und</strong> der Röntgenröhre zum Einsatz kamen, wie zu den Messungen der<br />
Halbwertsbreite verwendet wurden. Pro Abstand wurden je fünf Messungen<br />
durchgeführt <strong>und</strong> die Reflexe mit dem Programm „Jade“ [21] gefittet. Vom Mittelwert<br />
der Reflexlagen wurde die Abweichung von der erwarteten theoretischen Lage<br />
bestimmt. Zur Variation des Abstands dienten dünne Messingbleche, die zwischen<br />
den Metallring des Probenhalters <strong>und</strong> die Mylar-Folie geschoben wurden. Die<br />
Ergebnisse sind in Abbildung 4-28 als Differenz ∆2θ zwischen der gemessenen <strong>und</strong><br />
der genauen Lage über dem Beugungswinkel 2θ dargestellt. Mit zunehmendem<br />
Abstand der Folie vom Probenhalter <strong>und</strong> der damit einhergehenden Verkleinerung<br />
der Distanz von Probenoberfläche zu Detektionsschicht, nimmt die Abweichung zu.