Aufbau und Charakterisierung eines Guinier-Diffraktometers
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<strong>Charakterisierung</strong> des <strong>Diffraktometers</strong> 4 - 13<br />
Spannung von 40kV durchgeführt. Hierbei wurden die gemessenen Intensitäten pro<br />
Schritt 4 Sek<strong>und</strong>en lang aufintegriert. Die Schrittweite betrug 0,002°. Die einzelnen<br />
Scans sind in Abbildung 4-10 zusammengefaßt. An den Messungen zeigt sich die<br />
vollständige Trennung der Wellenlängen Kα1 <strong>und</strong> Kα2, welche sonst ein Quintuplett<br />
an Beugungsreflexen ergeben würden. Mit zunehmender Öffnungsbreite der Blende<br />
nimmt die gemessene Intensität zu. Jedoch vergrößert sich auch die Reflexbreite.<br />
Bei Schlitzbreiten von 160µm <strong>und</strong> größer gehen die Reflexe 122 <strong>und</strong> 023 direkt<br />
ineinander über. Schlitzbreiten unter 120µm sind auf Gr<strong>und</strong> der entsprechend stark<br />
verkleinerten Intensitäten wenig sinnvoll. Für die nachfolgenden Messungen wurde<br />
eine Schlitzbreite von 120 µm gewählt, die einen guten Kompromiß zwischen<br />
Intensität <strong>und</strong> Reflexverbreiterung darstellt.<br />
Der Einfluß auf Breite <strong>und</strong> Intensität der Beugungsreflexe durch den zwischen<br />
zwischen Sollerblende <strong>und</strong> Probe einschiebbaren Blendeneinsatz wurde ebenfalls<br />
untersucht. Zur Auswahl kamen der 111-Reflex <strong>und</strong> der 422-Reflex von Silizium, da<br />
sie eine hohe Beugungsintensität besitzen <strong>und</strong> im niedrigeren bzw. hohen<br />
Beugungswinkelbereich liegen. Die zugehörigen Messungen erfolgten auf Seite 3 in<br />
Additionsstellung. Bei jeder Blendenbreite wurden die Reflexe jeweils sechs mal<br />
gescannt <strong>und</strong> Integralintensität <strong>und</strong> Halbwertsbreite bestimmt, deren Mittelwerte in<br />
Abbildung 4-11 <strong>und</strong> 4-12 über der Schlitzbreite aufgetragen sind. Die zugehörigen<br />
Profilfits wurden mit dem Programm „Jade“ [21] durchgeführt, wobei eine Pearson-VII<br />
Funktion als Reflexprofil angenommen wurde. Mit der Schlitzbreite des<br />
Abb.4-11: Intensität <strong>und</strong> Halbwertsbreite des Silizium 111-Reflexes bei verschiedenen Schlitzbreiten der<br />
Primärstrahlblende.