M-451 Hochlast-Präzisionshubtisch (PDF) - PI

© Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG 2009. Änderungen vorbehalten. Dieses Datenblatt verliert seine Gültigkeit mit Erscheinen einer neuen Revision.
Die jeweils aktuelle Revision ist unter www.pi.ws zum Herunterladen verfügbar. Cat120D Inspirationen2009 09/02.10
Piezo Nano Positioning
M-451 Hochlast-Präzisionshubtisch
Kompatibel mit Piezo-Nanopositioniertischen
Die M-451 Hubtische positionieren
hohe Lasten bis 12 kg
mit höchster Präzision in vertikaler
Richtung. Der Aufbau
aus ent spanntem, gefrästem
Alu mini um erlaubt den Aufbau
von Mehrachsensystemen mit
minimalem Gewicht und hervorragender
Stabilität. Die
Konstruk tion mit rollenlagergeführten
Keilen ermöglicht hohe
Kipp steifigkeit und Belast bar -
keit sowie Wartungsfreiheit.
Die Tische sind selbsthemmend
bis 12 kg.
Anwendungsbeispiele
� F&E
� Halbleiterfertigung
� Massenspeicher-Test
� Metrologie
M-451.1PD Präzisionshubtisch
� Encoderauflösung 3 Nanometer
� Kleinste Schrittweite bis 100 nm
� Stellweg 12,5 mm (1/2”)
� Belastbarkeit bis 12 kg, hohe Steifigkeit für Kombination
mit Piezosystemen
� ActiveDrive Motor
� Kontaktlose End- und Referenzschalter
� Kompatibel mit P-500 und PIMars Piezo-Systemen
� Selbsthemmend
4-58
Hohe Dynamik mit
ActiveDrive
Das Modell M-451.1PD ist mit
dem hochdynamischen Active -
Drive Antrieb ausgerüstet
und ermöglicht Schrittweiten
von nur 0,2 µm. Beim Active -
Drive-System ist ein leistungsfähiger
PWM-Servover -
stärker im Motorgehäuse integriert.
Dieses Antriebskonzept
von PI bietet mehrere Vorteile:
� Höherer Wirkungsgrad
durch Ausschaltung von
Leistungsverlusten zwischen
Verstärker und Motor
� Geringere Kosten, kompakterer
Aufbau und höhere
Zuverlässigkeit, da kein
externer Verstärker nötig ist
� Vermeidung von Stör strah -
lung, weil Verstärker und
Motor zusammen in einem
geschirmten Gehäuse montiert
sind
Getriebeversion für kleinste
Schrittweite
Die Version M-451.1DG ist mit
einem spielfreien DC-Getriebe -
motor und einem hochauf -
lösenden optischen Rotations -
encoder ausgerüstet. Diese
ermöglichen eine kleinste
Schrittweite von 0,1 µm bei
einer Encoderauflösung von
3 nm.
Hohe Genauigkeit auch im
ungeregelten Betrieb
Die Ausführung M-451.12S verfügt
über einen wirtschaft -
lichen 2-Phasen-Schrittmotor,
der extrem vibrationsarm läuft.
Im Mikroschrittbetrieb erreicht
er eine Auflösung bis zu 6400
Schritten/Umdrehung (mit dem
C-663 Controller s. S. 4-112).
Damit lassen sich kleinste
Schrit tweiten von 0,2 µm realisieren.
Bestellinformation
M-451.1PD
Präzisionshubtisch, 12,5 mm,
ActiveDrive DC-Motor
(inkl. 24 V Netzteil)
M-451.1DG
Präzisionshubtisch, 12,5 mm,
DC-Getriebemotor
M-451.12S
Präzisionshubtisch, 12,5 mm,
2-Phasen-Schrittmotor
Sonderausführungen auf Anfrage!
Einfache Referenzierung und
sicherer Betrieb
Zum Schutz vor Schäden an
der Mechanik sind präzise,
berührungslose Hall-Effekt
End schalter in den Versteller
integriert. Ein richtungserkennender
Referenzschalter er leichtert
den Einsatz bei Auto -
matisierungsaufgaben.
M-451.12S Präzisionshubtisch
Abmessungen in mm, D-Sub Stecker
15-pin, 3 m Kabel

M-451.1PD Präzisionshubtisch Abmessungen in mm,
D-Sub Stecker 15-pin, 3 m Kabel
Kompatibel mit Nanoposi -
tionierung/Scantische
Der M-451 kann mit verschiedenen
Nanopositionier tischen von
PI, wie z. B. den Serien
P-561 PIMars und P-527 kombiniert
werden. Diese piezogetriebenen
Sys teme zeichnen
sich durch Subnano meter-
Auflösung und hohe Scan -
frequenzen aus und sind mit bis
zu sechs Freiheitsgraden verfügbar.
P-562.3CD PIMars XYZ-Nano pos i -
tionier- und Scansystem mit Piezo -
antrieb (200 µm x 200 µm x 200 µm)
auf dem M-451.1PD
Präzisionshubtisch
Technische Daten
Piezo Nano Positioning
M-451.1DG Präzisionshubtisch Abmessungen in mm,
D-Sub Stecker 15-pin, 3 m Kabel
Modell M-451.1PD M-451.1DG M-451.12S Einheit
Aktive Achsen
Bewegung und Positionieren
Z Z Z
Stellweg 12,5 12,5 12,5 mm
Integrierter Sensor Rotationsencoder Rotationsencoder –
Sensorauflösung 4000 2000 – Imp./U
Rechnerische Auflösung 0,042 0,0028 0,026 µm
Kleinste Schrittweite 0,2 0,1 0,2 µm
Umkehrspiel 1 1 1 µm
Unidirektionale Wiederholgenauigkeit 0,3 0,3 0,3 µm
Neigen/Gieren ±75 ±75 ±75 µrad
Geradheit 1 1 1 µm
Ebenheit 1 1 1 µm
Max. Geschwindigkeit 3 0,5 0,8 mm/s
Referenzschalter Wiederholgenauigkeit 1
Mechanische Eigenschaften
1 1 µm
Spindel Gewindespindel Gewindespindel Gewindespindel
Spindelsteigung 0,5 0,5 0,5 mm
Getriebeuntersetzung – 29,6:1 –
Motorauflösung* – – 6.400* Schritte/U
Max. Belastbarkeit (selbsthemmend)
Antriebseigenschaften
120 120 120 N
Motortyp DC-Motor, ActiveDrive DC-Getriebemotor 2-Phasen-Schrittmotor*
Betriebsspannung 24 0 bis ±12 24 V
Motorleistung 25 4 4,8 W
Referenz- und Endschalter
Anschlüsse und Umgebung
Hall-Effekt Hall-Effekt Hall-Effekt
Betriebstemperaturbereich -20 bis +50 -20 bis +50 -20 bis +50 °C
Material Aluminium eloxiert Aluminium eloxiert Aluminium eloxiert
Masse 5 5 5 kg
Empfohlene Controller/Treiber C-863 (einachsig) C-863 (einachsig) C-663 (einachsig)
(S. 4-114) (S. 4-112)
C-843 PCI-Karte C-843 PCI-Karte
(bis 4 Achsen) (bis 4 Achsen)
(S. 4-120)
*2-Phasen-Schrittmotor, 24 V Chopper-Spannung, max 0,8 A/Phase; 400 Vollschritte/U, Motorauflösung mit Schrittmotorsteuerung C-663
Linearantriebe & Aktoren
Nanostelltechnik / Piezoelektronik
Nanomesstechnik
Mikrostelltechnik
Hexapoden,
Parallelkinematiken
Linearversteller
Horizontalachsen (X)
Vertikalachsen (Z)
Mehrachsig
Rotations- u. Kippversteller
Zubehör
Servo- & Schrittmotor -
steuerungen
Einkanalig
Hybrid
Mehrkanalig
Grundlagen der
Mikrostelltechnik
Index
4-59