Datenblatt · Z-Achsen Manipulator - Pfeiffer Vacuum
Datenblatt · Z-Achsen Manipulator - Pfeiffer Vacuum
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A U S L E I D E N S C H A F T F Ü R P E R F E K T I O N<br />
<strong>Datenblatt</strong> · Z-<strong>Achsen</strong> <strong>Manipulator</strong><br />
Präzisions Z-<strong>Achsen</strong> <strong>Manipulator</strong>,<br />
Edelstahl, DN 100 CF
<strong>Datenblatt</strong> · Z-<strong>Achsen</strong> <strong>Manipulator</strong><br />
Präzisions Z-<strong>Achsen</strong> <strong>Manipulator</strong>, Edelstahl, DN 100 CF<br />
Z-<strong>Achsen</strong><br />
Manipulat<br />
or<br />
Abbildung ähnlich<br />
Maßbild<br />
www.pfeiffer-vacuum.de · Stand 2012-11-17 Seite 2 von 4<br />
Motorischer Antrieb ohne Umrüsten des<br />
Spindeltriebes möglich<br />
spielfreie Spindel ohne Stick-Slip-Effekt sorgt<br />
für höchste Präzision bei der Positionierung<br />
sehr hohe Lebensdauer der Spindel<br />
neuartige spielfreie Führungen<br />
Feststellbremse des Spindeltriebes verhindert<br />
eigenständige Bewegung<br />
A 212 bis 612 mm<br />
B 732 mm<br />
C 176 mm<br />
D 267 mm<br />
E 91 mm<br />
F 104 mm
<strong>Datenblatt</strong> · Z-<strong>Achsen</strong> <strong>Manipulator</strong><br />
Präzisions Z-<strong>Achsen</strong> <strong>Manipulator</strong>, Edelstahl, DN 100 CF<br />
Technische Daten Präzisions Z-<br />
<strong>Achsen</strong><br />
<strong>Manipulator</strong>,<br />
Edelstahl, DN<br />
100 CF<br />
Nennweite DN 100 CF<br />
Auflösung 5 µm<br />
Ausheiztemperatur 230 °C<br />
Betriebstemperatur 80 °C<br />
Dichtheit < 1 · 10 -10 hPa l/s<br />
Druckbereich 1 · 10 -10 hPa bis<br />
Umgebungsdruck<br />
Genauigkeit 23 µm<br />
Lebensdauer 10.000 Zyklen bei<br />
voller Auslenkung<br />
Material Membranbalg:<br />
Edelstahl 316L,<br />
Rohransatz:<br />
Edelstahl 304L,<br />
Flansche:<br />
Edelstahl 304L,<br />
Gehäuse:<br />
Edelstahl<br />
Wiederholgenauigkeit 5 µm<br />
Bestellnummer 420MZA100-400<br />
CF Kupferdichtung<br />
Kupferdichtung, OFHC-Kupfer, DN 100 CF 490DFL100-S10<br />
www.pfeiffer-vacuum.de · Stand 2012-11-17 Seite 3 von 4
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