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1 Überblick über die Sensorik

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116 3.4 Transistoren als Temperatursensoren 3.4 Transistoren als Temperatursensoren 117<br />

als problematisch: j s weicht in der Praxis meistens von dem theoretischen Wert (11)<br />

ab und ist in der Fertigung Schwankungen unterworfen.<br />

Bild 3.4-4<br />

Vergleich des durch Nichtlinearität entstehenden Temperaturfehlers bei Thermoelementen,<br />

Platinwiderständen und Transistoren (nach [3.45])<br />

Der unvermeidliche Einfluß der Fertigungsstreuung von Transistor-Temperatursensoren<br />

kann herabgesetzt werden, wenn man eine Erfahrung aus der Technik integrierter<br />

Schaltungen ausnutzt (Band 2, Abschnitt 12): Zwei Transistoren, <strong>die</strong> auf einem Chip<br />

räumlich dicht beieinander (z.B. in einem Abstand von 10m oder weniger) angeordnet<br />

sind, haben sehr ähnliche werkstoffbedingte Eigenschaften, weil <strong>die</strong>se nur über einen<br />

größeren Abstand auf der Scheibe oder zwischen unterschiedlichen Scheiben signifikant<br />

variieren. Steuern wir zwei solcher Transistoren mit gleichem j ś , aber unterschiedlichen<br />

Strömen j und r·j an, dann folgt:<br />

Bild 3.4-3 Daten der Transistor-Temperatursensorreihe MTS (nach [3.46]).<br />

d.h. <strong>die</strong> mit einer Streuung behafteten Sättigungsströme kürzen sich heraus. Allerdings<br />

ist der Spielraum für <strong>die</strong> Stromvariation r begrenzt, so daß <strong>die</strong> (dann allerdings sehr<br />

lineare) Spannungsabhängigkeit der Temperatur herabgesetzt wird. In integrierten<br />

Schaltungen ist <strong>die</strong> Größe <strong>die</strong>ser Spannungsabhängigkeit weniger entscheidend, da routinemäßig<br />

Spannungsverstärker integriert werden können. Bild 3.4-6 zeigt das Prinzip<br />

eines integrierten Temperatursensors. Die Temperaturempfindlichkeit des Ausgangssignals<br />

kann elektronisch auf vorgegebene Werte, z.B. 1A/K, eingestellt werden.<br />

H. Schaumburg: Band 3 – Sensoren 31.5.2007 31.5.2007 H. Schaumburg: Band 3 – Sensoren

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