1 Ãberblick über die Sensorik
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62 3.3 Resistive Temperatursensoren 3.3.1 Temperaturabhängige Widerstände 63<br />
Produkt eines werkstoff- und eines geometrieabhängigen Terms ergibt. Die Temperaturabhängigkeit<br />
des Widerstandes entsteht durch den Temperatureinfluß aller Größen,<br />
wobei <strong>die</strong> Temperaturabhängigkeit der geometrischen Abmessungen (z.B. als<br />
Konsequenz der thermischen Ausdehnung, s. Band 1, Abschnitt 5.3) im folgenden<br />
vernachlässigt wird. Für <strong>die</strong>se Voraussetzung folgt<br />
von Metallen ist dann positiv (Bild 3.3.1-1). Aus <strong>die</strong>sem Grund<br />
Widerstands-TKsp<br />
werden Temperatursensoren mit Metallwiderständen auch als PTC-Widerstände bezeichnet.<br />
Bild 3.3.1-1<br />
Temperaturabhängigkeit des spezifischen Widerstands einiger Metalle (nach<br />
[3.13]). Nichtlinearitäten in der Kennlinie sind häufig auf Phasenübergänge zurückzuführen<br />
(s. Band 1, Abschnitte 4.2 und 5.1)<br />
Im folgenden wird <strong>die</strong> Temperaturabhängigkeit elektrischer Widerstände aus den verschiedenen<br />
Werkstoffgruppen über <strong>die</strong>se Formeln interpretiert.<br />
Bei den Metallen ändert sich <strong>die</strong> Elektronendichte im allgemeinen nur wenig mit der<br />
Temperatur, allerdings nimmt wegen der Verbreiterung der Fermi-Dirac-Verteilung<br />
("Aufbrechen der Fermikante") <strong>die</strong> für <strong>die</strong> Leitfähigkeit maßgebende effektive Ladungsträgerdichte<br />
eff (2.2-13) mit der Temperatur zu (positiver Beitrag zum Leitfähigkeits-TKsp<br />
). Auf der anderen Seite nimmt <strong>die</strong> Ladungsträgerbeweglichkeit in der<br />
Regel mit der Temperatur ab (negativer Beitrag zum Leitfähigkeits-TK), da <strong>die</strong> Elektronen<br />
an Gitterschwingungen (Phononen) gestreut werden, d.h. <strong>die</strong> beiden Terme in (9)<br />
haben entgegengesetzte Temperaturkoeffizienten und kompensieren sich teilweise, wobei<br />
aber der negative Beitrag zum Leitfähigkeits-TK im allgemeinen überwiegt: Der<br />
Ein ganz anderes Verhalten als <strong>die</strong> Metalle weisen <strong>die</strong> Halbleiterwerkstoffe auf: Hierbei<br />
lassen sich über verschiedene experimentelle Verfahren (z.B. den Halleffekt, s. Abschnitt<br />
5.1.1) <strong>die</strong> beiden Einflußgrößen im spezifischen Widerstand, <strong>die</strong> Ladungsträgerdichte<br />
und <strong>die</strong> Ladungsträgerbeweglichkeit unabhängig voneinander messen. Der<br />
Temperaturkoeffizient von beiden ist stark abhängig vom Temperaturbereich (Bild<br />
3.3.1-2).<br />
Bei der Temperaturabhängigkeit der Ladungsträgerdichte von Halbleitern (Bild 3.3.1-<br />
2a) ergibt sich im Bereich sehr niedriger Temperaturen (meist weit unter 0 o C) ein relativ<br />
großer positiver TK, der durch <strong>die</strong> thermische Aktivierung von Ladungsträgern in<br />
Störstellenniveaus hinein oder aus <strong>die</strong>sen heraus entsteht (s. Band 2, Abschnitt 4.2). In<br />
einem mittleren Temperaturbereich bis hin zu Werten von z.B. 200 o C ist <strong>die</strong> Ladungsträgerdichte<br />
weitgehend konstant, d.h. der Ladungsträger-TK nahezu Null: Alle flachen<br />
Störstellenzustände sind ionisiert, <strong>die</strong> intrinsische Leitfähigkeit (Band 2, Abschnitt<br />
2.2.4) spielt noch keine Rolle. Bei höheren Temperaturen nimmt der positive Ladungsträger-TK<br />
stark zu, er wird durch den halben Bandabstand als Aktivierungsenergie<br />
eines Exponentialterms bestimmt.