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1 Überblick über die Sensorik

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62 3.3 Resistive Temperatursensoren 3.3.1 Temperaturabhängige Widerstände 63<br />

Produkt eines werkstoff- und eines geometrieabhängigen Terms ergibt. Die Temperaturabhängigkeit<br />

des Widerstandes entsteht durch den Temperatureinfluß aller Größen,<br />

wobei <strong>die</strong> Temperaturabhängigkeit der geometrischen Abmessungen (z.B. als<br />

Konsequenz der thermischen Ausdehnung, s. Band 1, Abschnitt 5.3) im folgenden<br />

vernachlässigt wird. Für <strong>die</strong>se Voraussetzung folgt<br />

von Metallen ist dann positiv (Bild 3.3.1-1). Aus <strong>die</strong>sem Grund<br />

Widerstands-TKsp<br />

werden Temperatursensoren mit Metallwiderständen auch als PTC-Widerstände bezeichnet.<br />

Bild 3.3.1-1<br />

Temperaturabhängigkeit des spezifischen Widerstands einiger Metalle (nach<br />

[3.13]). Nichtlinearitäten in der Kennlinie sind häufig auf Phasenübergänge zurückzuführen<br />

(s. Band 1, Abschnitte 4.2 und 5.1)<br />

Im folgenden wird <strong>die</strong> Temperaturabhängigkeit elektrischer Widerstände aus den verschiedenen<br />

Werkstoffgruppen über <strong>die</strong>se Formeln interpretiert.<br />

Bei den Metallen ändert sich <strong>die</strong> Elektronendichte im allgemeinen nur wenig mit der<br />

Temperatur, allerdings nimmt wegen der Verbreiterung der Fermi-Dirac-Verteilung<br />

("Aufbrechen der Fermikante") <strong>die</strong> für <strong>die</strong> Leitfähigkeit maßgebende effektive Ladungsträgerdichte<br />

eff (2.2-13) mit der Temperatur zu (positiver Beitrag zum Leitfähigkeits-TKsp<br />

). Auf der anderen Seite nimmt <strong>die</strong> Ladungsträgerbeweglichkeit in der<br />

Regel mit der Temperatur ab (negativer Beitrag zum Leitfähigkeits-TK), da <strong>die</strong> Elektronen<br />

an Gitterschwingungen (Phononen) gestreut werden, d.h. <strong>die</strong> beiden Terme in (9)<br />

haben entgegengesetzte Temperaturkoeffizienten und kompensieren sich teilweise, wobei<br />

aber der negative Beitrag zum Leitfähigkeits-TK im allgemeinen überwiegt: Der<br />

Ein ganz anderes Verhalten als <strong>die</strong> Metalle weisen <strong>die</strong> Halbleiterwerkstoffe auf: Hierbei<br />

lassen sich über verschiedene experimentelle Verfahren (z.B. den Halleffekt, s. Abschnitt<br />

5.1.1) <strong>die</strong> beiden Einflußgrößen im spezifischen Widerstand, <strong>die</strong> Ladungsträgerdichte<br />

und <strong>die</strong> Ladungsträgerbeweglichkeit unabhängig voneinander messen. Der<br />

Temperaturkoeffizient von beiden ist stark abhängig vom Temperaturbereich (Bild<br />

3.3.1-2).<br />

Bei der Temperaturabhängigkeit der Ladungsträgerdichte von Halbleitern (Bild 3.3.1-<br />

2a) ergibt sich im Bereich sehr niedriger Temperaturen (meist weit unter 0 o C) ein relativ<br />

großer positiver TK, der durch <strong>die</strong> thermische Aktivierung von Ladungsträgern in<br />

Störstellenniveaus hinein oder aus <strong>die</strong>sen heraus entsteht (s. Band 2, Abschnitt 4.2). In<br />

einem mittleren Temperaturbereich bis hin zu Werten von z.B. 200 o C ist <strong>die</strong> Ladungsträgerdichte<br />

weitgehend konstant, d.h. der Ladungsträger-TK nahezu Null: Alle flachen<br />

Störstellenzustände sind ionisiert, <strong>die</strong> intrinsische Leitfähigkeit (Band 2, Abschnitt<br />

2.2.4) spielt noch keine Rolle. Bei höheren Temperaturen nimmt der positive Ladungsträger-TK<br />

stark zu, er wird durch den halben Bandabstand als Aktivierungsenergie<br />

eines Exponentialterms bestimmt.

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