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1 Überblick über die Sensorik

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Seite 257<br />

512 Index<br />

Index 513<br />

Mach-Zehnder-Interferometer 364<br />

Meßelektrode 432, 433<br />

Nachrichtentechnik 199<br />

magnetisch harte Achse 255<br />

magnetisch leichte Achse 255<br />

magnetische Induktionsflußdichte 454<br />

magnetische<br />

Widerstandsänderung 226, 241, 242<br />

magnetischer Fluß 454<br />

Magnetit 86<br />

Magnetkern 271<br />

magneto-elastischer<br />

Kraftaufnehmer 220<br />

Magnetodiode 295<br />

magnetoelastischer Sensor 285<br />

magnetoelastischer Effekt 141<br />

Magnetokonzentrationseffekt 296<br />

magnetoresistiver Sensor 241, 258<br />

Magnetostriktion 276<br />

Magnetotransistor 295<br />

Magnetsensor 223<br />

Magnistor 297<br />

Makroelektrode 435<br />

Mantelthermoelement 47, 48<br />

maximale Photospannung 340<br />

mechanische Spannung 454<br />

mechanischer Temperatursensor 135<br />

Meißner-Effekt 291<br />

Membran 181, 183<br />

Meßdynamik 5<br />

Meßgenauigkeit 130<br />

Metall-DMS 184<br />

Metall-Drucksensor 180<br />

Metall 11<br />

Metallfolien-Dehnungsmeßstreifen 141<br />

Metalloxidschicht 445<br />

Metallwiderstand 66, 111<br />

Mikroelektrode 435<br />

mikromechanische Herstellung der<br />

Membran 186<br />

mikromechanische<br />

Herstellungsverfahren 195<br />

Mikrowellenverfahren 379<br />

Minoritätsträger 328<br />

Minoritätsträgerkonzentrationen 112<br />

Minoritätsträgerlebensdauer 331<br />

mittlere freie Weglänge 9, 17<br />

mittlere Stoßzeit 9, 17<br />

Monomode 131<br />

Multikomponentenanalyse 405<br />

Multimethodenanalysegerät 408<br />

Multimode 131<br />

Multiplikationsfaktor 317, 319, 342, 330<br />

N<br />

Nabla-Operator 16<br />

Nachweisgrenze 316<br />

NEA-Kathode 324<br />

negative Elektronenaffinität 325<br />

Nernstsche Gleichung 439<br />

Nichtlinearität 117<br />

NTC 23, 86<br />

NTC-Temperatursensor 88<br />

NTC-Widerstand 86, 91<br />

Nullsignal 181, 182<br />

O<br />

Oberflächen-Elekrode 435<br />

Oberflächendefekt 418<br />

Oberflächeneffekt 445<br />

Oberflächenladungen 209<br />

Oberwellenanalyse 273<br />

Offsetspannungen 262<br />

optische Generationsrate 511<br />

optische Sensoren 307<br />

optische Signalübertragung 132<br />

optische Verfahren 379<br />

optische Strahlung 307<br />

optisches Triggern 353<br />

Ordnung der Reaktion 394<br />

ortsauflösender bipolarer<br />

Halbleitersensor 355<br />

ortsauflösender<br />

Kernstrahlungsdetektor 373<br />

P<br />

Palladium-Gatemetall 448<br />

parasitäre Temperaturabhängigkeit 22<br />

parasitäre Thermospannung 40<br />

Paß 391<br />

Pellistor 429, 430<br />

Peltier-Effekt 321<br />

periodisch verkippter Spiegel 336<br />

Perkolationspfad 421<br />

Perlenform 91<br />

Permalloy-Legierung 250<br />

Permalloy-Magnetsensor 257<br />

Permalloy-Sensor 247<br />

Perovskitstruktur 100<br />

pH-Sensor 434<br />

pH-Wert-Sensor 432<br />

Phasenintegral 294<br />

Phasenmodulator 364<br />

phonon drag 32<br />

Photoemission 325<br />

Photoemittivität 314<br />

Photokathode 323<br />

Photoleiter 327<br />

Photomultiplier 323, 326<br />

Photonen 309, 368<br />

Photonen-Teilchenstromdichte 309

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