1 Überblick über die Sensorik

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494 Literatur
Literatur 495
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NTG-Fachberichte 93, 130 (1986)
[4.21] L. Rau, "Ein piezoresistiver Absolutdrucksensor in Dünnschichttechnik", in
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(1986)
[4.22] Dubbel, "Taschenbuch für den Maschinenbau", W. Beitz und K.-H. Küttner
(Hrsg.), Springer-Verlag Berlin-Heidelberg-New York (1981)
[4.23] H. Paul, C. Rapp-Hickler und W. Rausch, "Feinwerktechnik und Dünnfilmtechnologie
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[4.24] Datenblatt der Firma Althen Meß- und Datentechnik GmbH, D-6233 Kelkheim
[4.25] J. Binder, "Piezoresistive Silizium-Drucksensoren", in H. Reichl (Hrsg.)
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zur 3. Fachtagung "Sensoren", Bad Nauheim, 4 (1986)
[4.27] A. Wenger, "Stabilität von Druckaufnehmern", Technisches Messen 53, 447
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K. W. Bonfig, W. S. Bartz, J. Wolf (Hrsg.), "Technische Druck- und Kraftmessung",
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[4.32] J. Wortman, J. Hauser und R. Burger, "Effects of Mechanical Stress on pn-
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[4.33] J. Koch, "Piezoxide (PXE)", Herausgeber Philips Components Unternehmensbereich
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[4.34] J. Tichy und G. Gautschi, "Piezoelektrische Meßtechnik", Springer-Verlag
Berlin-Heidelberg-New York (1980)
[4.35] Datenblatt der Firma Deutsche Solvay-Werke, D-5650 Solingen
[4.36] Datenblätter der Firma Kistler Instrumente AG, CH-Winterthur
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[4.40] H.R. Tränkler, "Taschenbuch der Meßtechnik", R. Oldenbourg Verlag München
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[4.41] Datenblatt Niederdruck-Meßumformer P 3000 der Firma Althen Meßtechnik,
D-6233 Kelkheim
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[4.43] W. H. Ko, M.-H. Bao, Y. D. Hong, "A High Sensitivity Integrated Circuit
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[4.45] Unterlagen Kistler Training Center, "Basic Training Course", (1990)
[4.46] K. Horn, "Prinzipien von Sensoren zur Kraft- und Massenbestimmung" in
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(1982)
[4.47] "Paroscientific-DIGIQUARTZ-Druckaufnehmer für die Präzisionsmessung",
Produktbeschreibung der Fa. Althen Meß- und Datentechnik GmbH, D-6233
Kelkheim
[4.48] G. Ehrler, "Piezoresistive Silizium-Elementardrucksensoren", AMA-Seminar,
"Mikromechanik", Heidelberg, Okt. 1989
[4.49] "Silizium-Temperatur- und Drucksensoren", Datenbuch der Firma Siemens
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[4.50] M. Vieten, "Genauigkeit zu vernünftigen Preisen: Präzisions-Druckaufnehmer
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Druck- und Kraftmessung", expert-Verlag, Ehningen (1988)