1 Ãberblick über die Sensorik
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494 Literatur<br />
Literatur 495<br />
umdrucksensoren für kleine Drücke", in "Sensoren – Technologie und Anwendungen",<br />
NTG-Fachberichte 93, 159 (1986)<br />
[4.20] K. Bethe, "Möglichkeiten und Probleme nichtmetallischer Federwerkstoffe<br />
in Kraft- und Drucksensoren", in "Sensoren – Technologie und Anwendungen",<br />
NTG-Fachberichte 93, 130 (1986)<br />
[4.21] L. Rau, "Ein piezoresistiver Absolutdrucksensor in Dünnschichttechnik", in<br />
"Sensoren – Technologie und Anwendungen", NTG-Fachberichte 93, 148<br />
(1986)<br />
[4.22] Dubbel, "Taschenbuch für den Maschinenbau", W. Beitz und K.-H. Küttner<br />
(Hrsg.), Springer-Verlag Berlin-Heidelberg-New York (1981)<br />
[4.23] H. Paul, C. Rapp-Hickler und W. Rausch, "Feinwerktechnik und Dünnfilmtechnologie<br />
im elektrischen Manometer", Feinwerktechnik und Meßtechnik<br />
97, 563 (1989)<br />
[4.24] Datenblatt der Firma Althen Meß- und Datentechnik GmbH, D-6233 Kelkheim<br />
[4.25] J. Binder, "Piezoresistive Silizium-Drucksensoren", in H. Reichl (Hrsg.)<br />
"Halbleitersensoren", expert verlag, Ehningen bei Böblingen, 147 (1989)<br />
[4.26] W. Germer und G. Kowalski, "Drucksensoren mit integrierter Auswerteelektronik<br />
für einen Einsatz unter erschwerten Umweltbedingungen", Poster-Session<br />
zur 3. Fachtagung "Sensoren", Bad Nauheim, 4 (1986)<br />
[4.27] A. Wenger, "Stabilität von Druckaufnehmern", Technisches Messen 53, 447<br />
(1986)<br />
[4.28] K. H. Martini, "Piezoelektrische und piezoresistive Druckmeßverfahren", in<br />
K. W. Bonfig, W. S. Bartz, J. Wolf (Hrsg.), "Technische Druck- und Kraftmessung",<br />
expert-Verlag, Ehingen (1988)<br />
[4.29] H. R. Winteler und G. H. Gautschi, "Piezoresistive Druckaufnehmer", Fa.<br />
KISTLER Instrumente AG, CH-Winterthur<br />
[4.30] "Pressure Sensors", Datenblatt BR121/D REV 4 der Firma Motorola Inc.<br />
(1990)<br />
[4.31] Gene Swensen, "MPX Pressure Sensors Used for Swith Applications", Motorola<br />
Application note AN 962 (1985)<br />
[4.32] J. Wortman, J. Hauser und R. Burger, "Effects of Mechanical Stress on pn-<br />
Junction Device Characteristics", J. Appl. Phys. 35, 2122 (1964)<br />
[4.33] J. Koch, "Piezoxide (PXE)", Herausgeber Philips Components Unternehmensbereich<br />
Bauelemente, Dr. Alfred Hüthig Verlag GmbH, Heidelberg (1988)<br />
[4.34] J. Tichy und G. Gautschi, "Piezoelektrische Meßtechnik", Springer-Verlag<br />
Berlin-Heidelberg-New York (1980)<br />
[4.35] Datenblatt der Firma Deutsche Solvay-Werke, D-5650 Solingen<br />
[4.36] Datenblätter der Firma Kistler Instrumente AG, CH-Winterthur<br />
[4.37] W. K. Lemmenmeyer, "Innovative Meßtechnik für <strong>die</strong> Automobilindustrie",<br />
Automobil Revue 14, März 1988<br />
[4.38] A. Petersen, "Piezokeramische Sensoren und Stellglieder im Kraftfahrzeug",<br />
Automobil-Industrie 3, 121 (1987)<br />
[4.39] J. Franz, "Aufbau, Funktionsweise und technische Realisierung eines piezoelektrischen<br />
Siliziumsensors für akustische Größen", Sensortagung 1988<br />
[4.40] H.R. Tränkler, "Taschenbuch der Meßtechnik", R. Oldenbourg Verlag München<br />
Wien (1990)<br />
[4.41] Datenblatt Niederdruck-Meßumformer P 3000 der Firma Althen Meßtechnik,<br />
D-6233 Kelkheim<br />
[4.42] "Keramische Drucksensoren", in "Sensoren und Meßsystem", Firmenschrift<br />
der Firma Sensycon (1991)<br />
[4.43] W. H. Ko, M.-H. Bao, Y. D. Hong, "A High Sensitivity Integrated Circuit<br />
Capacitive Transducer", IEEE Tr. El. Dev. ED-79, 48 (1982)<br />
[4.44] H. Kuisma, A. Lehto, J.Lahdenperä, "A New Family of Capacitive Pressure<br />
Sensors", Kongreßunterlagen Sensor 88, D-Nürnberg (1988)<br />
[4.45] Unterlagen Kistler Training Center, "Basic Training Course", (1990)<br />
[4.46] K. Horn, "Prinzipien von Sensoren zur Kraft- und Massenbestimmung" in<br />
"Sensoren – Technologie und Anwendungen", NTG Fachberichte 79,153<br />
(1982)<br />
[4.47] "Paroscientific-DIGIQUARTZ-Druckaufnehmer für <strong>die</strong> Präzisionsmessung",<br />
Produktbeschreibung der Fa. Althen Meß- und Datentechnik GmbH, D-6233<br />
Kelkheim<br />
[4.48] G. Ehrler, "Piezoresistive Silizium-Elementardrucksensoren", AMA-Seminar,<br />
"Mikromechanik", Heidelberg, Okt. 1989<br />
[4.49] "Silizium-Temperatur- und Drucksensoren", Datenbuch der Firma Siemens<br />
Aktiengesellschaft, D-München<br />
[4.50] M. Vieten, "Genauigkeit zu vernünftigen Preisen: Präzisions-Druckaufnehmer<br />
für Industrie-Einsatz", in K. W. Bonfig, W. S. Bartz, J. Wolf (Hrsg.), "Technische<br />
Druck- und Kraftmessung", expert-Verlag, Ehningen (1988)