1 Überblick über die Sensorik

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492 Literatur
Literatur 493
54, 124 (1987)
[3.41] Unterlagen der Firma Heraeus Sensor, D-Hanau
[3.42] L.E. Cross und K.H.Härdtl, "Ferroelectrics", in M. Grayson (Hrsg.) "Encyclopedia
of Semiconductor Technology", J. Wiley & Sons, New York-Chichester-Brisbane-Toronto-Singapore
(1984)
[3.43] "Kaltleiter als strom- und temperaturempfindliche Schalter", Philips Bauelemente,
Technische Informationen für die Industrie (1978)
[3.44] A.S. Grove, "Physics and Technology of Semiconductor Devices", 2nd ed.,
J. Wiley & Sons, New York Chichester Brisbane Toronto Singapore (1982)
[3.45] P. O´Neill und C. Derrington, "Transistors – A Hot Tip for Accurate Temperature
Sensing", Electronics, Oct. 11, 137 (1979)
[3.46] Motorola Semiconductor Master Selection Guide SG73/D; REV 3
[3.47] E. Voges, "Technologie der integrierten Optik in der Sensorik" in "Technologietrends
in der Sensorik", Untersuchung im Auftrag des Bundesministeriums
für Forschung und Technologie, VDI/VDE Technologiezentrum Informationstechnik
GmbH(1988)
[3.48] G. Wiegleb , "Sensortechnik", Franzis-Verlag GmbH München (1986)
[3.49] E. Klement, "Optische Effekte", in W. Heywang (Hrsg.), "Sensorik", Springer-Verlag
Berlin-Heidelberg-New York-Tokyo, 25 (1984)
[3.50] "Faseroptisches Temperaturmeßsystem", in "Sensoren und Meßsystem", Firmenschrift
der Firma Sensycon (1991)
[3.51] K. H. Wienand und S. Dietmann, "Platin-Dünnfilmsensoren: High-Tech-
Produkte sind Stand der Technik geworden", Sensor Report (wird veröffentlicht)
[3.52] R. Waser, "Lineare und nichtlineare Widerstände" in H. Schaumburg
(Hrsg.), "Werkstoffe und Bauelemente der Elektrotechnik", Band 5, Verlag B.
G. Teubner Stuttgart (1992)
[3.53] J. Pankert, "Pyroelektrische Keramiken" in H. Schaumburg (Hrsg.), "Werkstoffe
und Bauelemente der Elektrotechnik", Band 5, Verlag B. G. Teubner
Stuttgart (1992)
Abschnitt 4
[4.1] H. Paul, "Druckaufnehmer mit metallischen Dehnungsmeßstreifen", Vortragsreihe
in der Technischen Akademie Wuppertal (1990)
[4.2] W. Ort,"Sensoren mit Dehnungsmeßstreifen aus Metallfolien" in "Sensoren
– Technologie und Anwendungen", NTG Fachberichte 79,159 (1982)
[4.3] Unterlagen der Firma Philips Elektronik für Wissenschaft und Industrie
(EWI), Kassel
[4.4] O. Dössel, "Piezoresistive Eigenschaften von Dünnfilm-Dehnungsmeßstreifen:
Ein neues Modell und Messungen an CrNi", in "Sensoren – Technologie
und Anwendungen", NTG Fachberichte 93,143 (1982)
[4.5] "Keramische Drucksensoren", in "Sensoren und Meßsysteme", Firmenschrift
der Firma Sensycon (1991)
[4.6] S. M. Sze, "Physics of Semiconductor Devices", John Wiley and Sons, New
York-Chichester-Brisbane-Toronto-Singapore (1981)
[4.7] O. Jäntsch, "Piezowiderstandseffekte", in W. Heywang (Hrsg.), "Sensorik",
Springer-Verlag Berlin-Heidelberg-New York-Tokyo, 25 (1984)
[4.8] F. Hock, "Die Berechnung des Piezowiderstandseffekts von Silicium für
meßtechnische Anwendungen", Zeitschr. f. angewandte Physik XVII, 511
(1964)
[4.9] F. Hock, "Der Piezowiderstandseffekt in Halbleitern und seine Anwendung
für Kraft- und Dehnungsmessungen", Z. Instr. 73, 336 (1965)
[4.10] Landolt-Börnstein, "Zahlenwerte und Funktionen aus Naturwissenschaften
und Technik", III,17a, 382 (1982)
[4.11] Y. Kanda, "A Graphical Representation of the Piezoresistance Coefficients
in Silicon", IEEE Trans. on El. Dev. ED 29, 64 (1982)
[4.12] B. Graeger, H. Schäfer und R. Kobs, "Selbstkompensierte Si-Drucksensoren
mit Dünnschichtdehnungsmeßstreifen", Sensors and Actuators 17, 521 (1989)
[4.13] H. Fischer und J. Müller, "Titanoxinitrid für Sensoranwendungen", in "Sensoren
– Technologie und Anwendungen", NTG-Fachberichte 93, 137 (1986)
[4.14] L.D. Landau und E. M. Lifschitz, "Elastizitätstheorie", Lehrbuch der Theoretischen
Physik VII, Akademie-Verlag Berlin (1970)
[4.15] W. Ort, "Kraftsensoren mit Folien-Dehnungsmeßstreifen", Sensor Magazin
3, 6 (1987)
[4.18] K. Bethe und W. Germer, "Niederdruck-Meßaufnehmer mit Halbleiterdünnfilm-Dehnungsmeßstreifen",
in "Sensoren – Technologie und Anwendungen",
NTG Fachberichte 79, 177 (1982)
[4.19] H. Sandmaier und E. Obermaier, "Reduzierung der Nichtlinearität von Silizi-