1 Ãberblick über die Sensorik
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Seite 245<br />
488 Anhang D: Kennwerte von Sensoren<br />
Literatur 489<br />
Literatur<br />
Bild D4: Definition der Hystereseabweichung durch <strong>die</strong> Funktion F u = u/C (nach [4.1])<br />
Ein typisches Kennzeichen von Kriecheffekten (Band 1, Abschnitt 3.2.1) ist, daß sich<br />
<strong>die</strong> Meßsignale erst nach Ablauf einer gewissen Zeit einstellen; Bild D5 erläutert <strong>die</strong> Definition<br />
des Kriechens.<br />
Abschnitt 1<br />
[1.1] W. Göpel, "Technologien für <strong>die</strong> chemische und biochemische <strong>Sensorik</strong>" in<br />
"Technologietrends in der <strong>Sensorik</strong>", Untersuchung im Auftrag des Bundesministeriums<br />
für Forschung und Technologie, VDI/VDE Technologiezentrum Informationstechnik<br />
GmbH(1988)<br />
[1.2] H.R. Tränkler, "Die Schlüsselrolle der Sensortechnik in Meßsystemen",<br />
Technisches Messen 49, 343 (1982)<br />
[1.3] K. Bethe und D. Meyer-Ebrecht, "Sensoren für <strong>die</strong> Konsumelektronik",<br />
Elektronik 10, 41 (1980)<br />
[1.4] H. U. Gruber und H. Scholl, "Trends in der Kraftfahrzeugelektronik", Elektronik<br />
Informationen 4, 176 (1990)<br />
[1.5] "Forschung und Anwendung moderner Sensorsysteme", Sensor Magazin 4, 4<br />
(1990)<br />
[1.6] S. Middlehoek und D. W. Noorlag, Sensors and Actuators 2, 29 (1981/82)<br />
Bild D5: Definition des Kriechens (nach [4.1])<br />
a) Zeitverhalten der Umweltgröße<br />
b) Zeitverhalten des Meßsignals mit Belastungskriechen F cr = cu/C und Entlastungskriechen<br />
F cr = cd/C<br />
Abschnitt 3<br />
[3.1] H. Vanvor, "Sensoren für industrielle Temperaturmessungen mit geringen<br />
Meßunsicherheiten", in K. W. Bonfig, W. J. Bartz, J. Wolf (Hrsg.), "Sensoren,<br />
Meßaufnehmer", expert-Verlag, Ehingen<br />
[3.2] I. Ruge, "Halbleitertechnologie", Springer-Verlag Berlin-Heidelberg-New<br />
York (1975)<br />
[3.3] A. S. Grove, "Physics and Technology of Semiconductor Devices", J. Wiley<br />
& Sons, New York-Chichester-Brisbane-Toronto-Singapore (1967)<br />
[3.4] A. W. van Heerwarden und P.M. Sarro, "Thermal Sensors Based on the Seebeck<br />
Effect", Sensors and Actuators 10, 321 (1986)<br />
[3.5] W.F. Beadle, J. C.C. Tsai und R.D. Plummer, "Quick Reference Manual for<br />
Semiconductor Engineers", J. Wiley & Sons, New York-Chichester-Brisbane-<br />
Toronto-Singapore (1985)<br />
[3.6] T.H. Geballe und G.W. Hull, Phys. Rev. 98, 940 (1955)
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