1 Ãberblick über die Sensorik
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Seite 229<br />
456 Anhang A: Dimensionen und Formelzeichen<br />
Anhang A: Dimensionen und Formelzeichen 457<br />
Formelzeichen<br />
Formelzeichen Dimension Bedeutung<br />
a m Gitterabstand<br />
A V·s/m Vektorpotential<br />
a (x,y,z) m Basisvektor im Gitter (in x,y,z-Richtung)<br />
A m 2 Fläche, Querschnitt<br />
B m Breite eines Bauelements<br />
B 1/s = Hz Bandbreite eines Meßsystems<br />
B,B T magn. Induktionsflußdichte<br />
B m 2 /eV·s (thermodyn.) Beweglichkeit<br />
B n m 2 /eV s (thermodyn.) Elektronenbeweglichkeit<br />
B p m 2 /eV s (thermodyn.) Löcherbeweglichkeit<br />
c di m/s Wellengeschwindigkeit im Dielektrikum<br />
c vac m/s Wellengeschwindigkeit im Vakuum<br />
c,C A ,.. 1/m 3 Volumenkonzentration<br />
C F Kapazität<br />
C F F/m 2 Kapazität pro Fläche (Flächenkapazität)<br />
C F<br />
ox<br />
F/m 2 Oxidkapazität pro Fläche<br />
C F<br />
HL<br />
F/m 2 Halbleiterkapazität pro Fläche<br />
C S F Sperrschichtkapazität<br />
c th W s/K Wärmekapazität<br />
C g F Gehäusekapazität<br />
d m Breite, Abstand, Länge<br />
d n m Breite der Raumladungszone in einem n-Halbleiter<br />
d p m Breite der Raumladungszone in einem p-Halbleiter<br />
D m 2 /s Diffusionskoeffizient<br />
D m·Hz 1/2 /W (optische) Detektivität, Nachweisvermögen<br />
D C m 2 /s Diffusionskoeffizient im Kollektor<br />
D E m 2 /s Diffusionskoeffizient im Emitter<br />
D n m 2 /s Diffusionskoeffizient für Elektronen<br />
D p m 2 /s Diffusionskoeffizient für Löcher<br />
D,D A·s/m 2 <strong>die</strong>lektrische Verschiebungsdichte<br />
D ik Pa Komponenten des Tensors der piezoresistiven Moduln<br />
d ik A·s/N Komponenten des Tensors der piezoelektrischen<br />
Koeffizienten<br />
Ε Pa Elastizitätsmodul<br />
E,E V/m elektrische Feldstärke<br />
E a V/m von außen meßbare oder von außen angelegte elektrische<br />
Feldstärke (=-∆W F /|q|)<br />
E br , E br V/m Durchbruchfeldstärke<br />
E H V/m Hall-Feldstärke<br />
E max , E max V/m Maximalfeldstärke (in einer Raumladungszone)<br />
f 1/s Frequenz<br />
f FD (W n ) 1 Fermi-Dirac-Funktion (Besetzungswahrscheinlichkeit<br />
des Zustandes W n )<br />
f B (W n ) 1 Boltzmann-Funktion (Besetzungswahrscheinlichkeit<br />
des Zustandes W n in Boltzmann-Näherung)<br />
f D 1 Besetzungswahrscheinlichkeit für Donatoren<br />
f A 1 Besetzungswahrscheinlichkeit für Akzeptoren<br />
F N Kraft<br />
F dB Rauschmaß<br />
F (i) eV freie Energie<br />
F abs g/m 3 absolute Feuchte<br />
F sat g/m 3 Sättigungsfeuchte<br />
F rel % relative Feuchte<br />
F chem N chemische Kraft auf ein Teilchen<br />
G 1/m 3 s Erzeugungs- oder Generationsrate
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