1 Überblick über die Sensorik

Seite 227
452
8.6 Chemisch sensitive Feldeffekttransistoren (CHEMFETs)
Anhang A
Dimensionen und Formelzeichen
SI-Einheiten
Als Dimensionen werden die vom International System of Units (SI) zugelassenen verwendet:
Länge
Masse
Zeit
elektrischer Strom
thermodynamische Temperatur
Materialmenge
Lichtintensität
m (Meter)
kg (Kilogramm)
s oder sec (Sekunde)
A (Ampere)
K (Kelvin)
Mol
cd (Candela)
Bild 8.6-4:
Gatemetallisierte CHEMFETs: Die Einkopplung elektronischer Steuergrößen durch
chemisch reagierende Substanzen an das Metall-Isolator-Halbleiter(MIS)-System
wird durch spezielle Gatekonstruktionen gefördert (nach [1.1])
a) surface-accessible GASFET mit Adsorption am metallischen Gate
b) perforiertes Gate
c) split gate
d) aufsuspendiertes Platin-Mikronetz
e) Beispiel eines Sensors für aliphatische Alkohole:
Ein Platin-Mikronetz wird mit Polypyrrol (elektrisch leitfähig) beschichtet.
Für die Energie ergibt sich die zusammengesetzte Einheit:
1 J (Joule) = 1 N·m = 1 kg·m 2 /s 2 = 1 W·s
mit der zusammengesetzten Einheit für die Kraft:
1 Ν (Newton) = 1 kg·m/s 2
Wegen der speziellen Bedeutung in der Physik und Elektrotechnik ist weiterhin als Dimension
für die Energie zugelassen:
eV (Elektronenvolt), wobei gilt:
1 J = 6,2421·10 18 eV, 1 eV = 1,602·10 -19 J
Die Temperaturangabe kann in °C (Grad Celsius) erfolgen, wobei gilt:
1°C = 1K + 273,2K
Auf dem Gebiet der Halbleiterphysik erfolgt in der älteren Literatur häufig noch eine
Längenangabe in cm (Zentimeter).
Weiterhin werden die folgenden zusammengesetzten Größen verwendet: