1 Überblick über die Sensorik

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406 8.1 Übersicht und Funktionsprinzipien 8.1.5 Charakterisierung von Grenzflächen 407
mit Hilfe von Elektronen-, Photonen- und Ionenspektroskopien. Dabei müssen ggf. Ultrahochvakuumtransfersysteme
eingesetzt werden [8.2].
Bild 8.1.5-8:
Beispiele für Grenzflächenphänomene mit charakteristischen Tiefen.
Ein atomistisches Verständnis für molekulare Erkennung kann gewonnen werden,
wenn gleichzeitig verschiedene grenzflächenspektroskopische Untersuchungen angewendet
werden, von denen die am häufigsten verwendeten in Bild 8.1.5-9 und Tabelle
8.1.5-1 (Teil 3) aufgelistet sind.
Die Präparation und Charakterisierung von Keramik-, Dick- oder Dünnschicht-Strukturen
im allgemeinen und von chemischen Sensoren insbesondere wird am besten unter
kontrollierten Lösungsmittel-, Inertgas oder Ultrahochvakuum-Bedingungen durchgeführt.
Die Ergebnisse von so hergestellten Prototyp-Bauelementen mit wohl-definierten
Grenzflächen werden dann mit denen praktischer Bauelemente verglichen, indem beide
unter realistischen Meßbedingungen getestet und nachfolgend charakterisiert werden
Bild 8.1.5-9:
Beispiele für experimentelle Verfahren zur Grenzflächenanalyse mit unterschiedlichen
Informationstiefen:
EMA = Electron Micro Analysis (Mikroprobenanalyse über Emission charakteristischer
Röntgenstrahlen),
AES = Auger Elektronenspektroskopie,
GDOS = Glow Discharge Optical Spectroscopy (Glimmentladungs-optische
Spektroskopie),
LAMMA = Laser Induced Mass Spectrometric Micro-Analysis (Massenspektrometrische
Analyse von Laserdesorbierten Molekülen von Oberflächen),
RHEED = Reflexion High Energy Electron Defraction (Beugung schneller Elektronen
an Oberflächen). Andere Abkürzungen sind im Text und Tab.
8.1.5-1 erläutert.
Wichtig ist, daß verschiedene Methoden am gleichen Sensor eingesetzt werden können,
um geometrische Atomanordnungen, Elementverteilungen, elektronische, optische und