1 Ãberblick über die Sensorik
1 Ãberblick über die Sensorik
1 Ãberblick über die Sensorik
Erfolgreiche ePaper selbst erstellen
Machen Sie aus Ihren PDF Publikationen ein blätterbares Flipbook mit unserer einzigartigen Google optimierten e-Paper Software.
Seite 204<br />
406 8.1 Übersicht und Funktionsprinzipien 8.1.5 Charakterisierung von Grenzflächen 407<br />
mit Hilfe von Elektronen-, Photonen- und Ionenspektroskopien. Dabei müssen ggf. Ultrahochvakuumtransfersysteme<br />
eingesetzt werden [8.2].<br />
Bild 8.1.5-8:<br />
Beispiele für Grenzflächenphänomene mit charakteristischen Tiefen.<br />
Ein atomistisches Verständnis für molekulare Erkennung kann gewonnen werden,<br />
wenn gleichzeitig verschiedene grenzflächenspektroskopische Untersuchungen angewendet<br />
werden, von denen <strong>die</strong> am häufigsten verwendeten in Bild 8.1.5-9 und Tabelle<br />
8.1.5-1 (Teil 3) aufgelistet sind.<br />
Die Präparation und Charakterisierung von Keramik-, Dick- oder Dünnschicht-Strukturen<br />
im allgemeinen und von chemischen Sensoren insbesondere wird am besten unter<br />
kontrollierten Lösungsmittel-, Inertgas oder Ultrahochvakuum-Bedingungen durchgeführt.<br />
Die Ergebnisse von so hergestellten Prototyp-Bauelementen mit wohl-definierten<br />
Grenzflächen werden dann mit denen praktischer Bauelemente verglichen, indem beide<br />
unter realistischen Meßbedingungen getestet und nachfolgend charakterisiert werden<br />
Bild 8.1.5-9:<br />
Beispiele für experimentelle Verfahren zur Grenzflächenanalyse mit unterschiedlichen<br />
Informationstiefen:<br />
EMA = Electron Micro Analysis (Mikroprobenanalyse über Emission charakteristischer<br />
Röntgenstrahlen),<br />
AES = Auger Elektronenspektroskopie,<br />
GDOS = Glow Discharge Optical Spectroscopy (Glimmentladungs-optische<br />
Spektroskopie),<br />
LAMMA = Laser Induced Mass Spectrometric Micro-Analysis (Massenspektrometrische<br />
Analyse von Laserdesorbierten Molekülen von Oberflächen),<br />
RHEED = Reflexion High Energy Electron Defraction (Beugung schneller Elektronen<br />
an Oberflächen). Andere Abkürzungen sind im Text und Tab.<br />
8.1.5-1 erläutert.<br />
Wichtig ist, daß verschiedene Methoden am gleichen Sensor eingesetzt werden können,<br />
um geometrische Atomanordnungen, Elementverteilungen, elektronische, optische und