1 Überblick über die Sensorik

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356 6.6 Bipolare optische Halbleitersensoren
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Bei Verwendung von optisch hinreichend transparenten zweidimensionalen Sensoren
läßt sich sogar eine dreidimensionale Ortsauflösung erreichen (Bild 6.6.3-4).
Bild 6.6.3-4
Dreidimensionale Ortsauflösung (Bestimmung von Strahlrichtungen) mit zwei optisch
semitransparenten zweidimensionalen ortsauflösenden Sensoren (nach [6.12]).
Die Sensoren bestehen aus dünnen wasserstoffdotierten Polysiliziumschichten (a-
Si:H) mit einer optisch transparenten elektrisch gut leitenden Schottky-Metallisierung
(z.B. Indium-Zinnoxid – ITO)
Optische Sensoren, welche die ortsauflösende Messung punktförmiger Lichtquellen zulassen,
lassen sich für die Justierung von Strahlengängen, aber auch für abgewandelte
Meßverfahren, wie eine Vibrationsmessung (Bild 6.6.3-5), einsetzen.
Bild 6.6.3-5 Vibrationsmessung mit ortsauflösenden optischen Sensoren (nach [3.48])