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1 Überblick über die Sensorik

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Seite 161<br />

320 6.2 Kenngrößen optischer Sensoren 6.3 Thermische Photosensoren (Bolometer) 321<br />

Tab. 6.2-2<br />

Kenndaten optischer Halbleitersensoren in verschiedenen Bauelementtechniken<br />

(nach [6.2])<br />

Bild 6.2-5 Abkühlungsverfahren für optische Sensoren (nach [6.6]):<br />

a) vierstufige thermoelektrische Kühler (Peltier-Effekt) erreichen 193 K in ca.<br />

25 s mit einigen Watt Betriebsleistung<br />

b) Joule-Thomson-Kühler werden aus Gasflaschen (<strong>die</strong> von einem Kompressor<br />

kontinuierlich gefüllt werden können) mit hochkomprimiertem Gas (z.B. Argon)<br />

betrieben, sie erreichen 80 K.<br />

c) Stirling-Kältemaschinen werden mit Heliumgas betrieben, sie erreichen inzwischen<br />

Temperaturen unterhalb von 50 K.<br />

d) Für Laboraufbauten können Thermogefäße (Dewars) verwendet werden, <strong>die</strong><br />

mit flüssigem Stickstoff, Argon oder Helium gefüllt werden.<br />

Aus den vorangegangenen Bildern und Tabellen geht hervor, daß verschiedene optische<br />

Sensoren bei niedrigen Temperaturen weit unterhalb 0° Celsius betrieben werden<br />

müssen, um brauchbare Sensoreigenschaften zu erhalten. Praktisch eingesetzte Kühlverfahren<br />

sind in Bild 6.2-5 zusammengestellt:<br />

6.3 Thermische Photosensoren (Bolometer)<br />

Bei thermischen Photosensoren bewirkt <strong>die</strong> Absorption einer optischer Strahlungsleistung<br />

P eine Temperaturerhöhung, <strong>die</strong> ihrerseits charakteristische Meßgrößen des Sen-

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