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1 Überblick über die Sensorik

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Seite 159<br />

316 6.2 Kenngrößen optischer Sensoren 6.2 Kenngrößen optischer Sensoren 317<br />

Kurve C: Bei idealen thermischen Zählern liegt keine Wellenlängenabhängigkeit<br />

der spektralen Empfindlichkeit vor.<br />

Eine ganz andere Wellenlängenabhängigkeit zeigen optische Sensoren auf der Basis<br />

von thermischen Zählern (Bolometern). In <strong>die</strong>sem Fall ist das Sensorsignal nicht<br />

proportional zur Photonenflußdichte j phot T , sondern zur Energieflußdichte j hν nach<br />

(6.1-15). Damit gilt<br />

Rauschursachen in optischen Signalquellen (nach [6.2]): Aufgetragen ist <strong>die</strong> spektrale<br />

Leistungsdichte des Rauschens in Abhängigkeit von der Lichtwellenlänge.<br />

Im Bereich großer Photonenenergien (kurze Wellenlängen) dominiert das Quantenrauschen,<br />

das durch Schwankungen der Photonendichte entsteht. Bei großen Wellenlängen<br />

überwiegt das thermische Rauschen aufgrund der Wärmestrahlung (Bild<br />

6.2-1).<br />

Bei optischen Halbleitersensoren kann eine Vielzahl von Rauschquellen <strong>die</strong> Nachweisempfindlichkeit<br />

der Sensoren einschränken (Band 2, Abschnitt 14.1, [6.3 und 4]).<br />

Bild 6.2-3b zeigt das Ersatzschaltbild eines Photodetektors mit den einzelnen<br />

Rauschquellen.<br />

d.h. es ergibt sich eine von der Wellenlänge unabhängige spektrale Empfindlichkeit<br />

(Kurve C in Bild 6.2-2).<br />

Eine weitere wichtige Kenngröße für optische Sensoren ist <strong>die</strong> Ansprechzeit τ, <strong>die</strong><br />

z.B. charakterisiert werden kann durch <strong>die</strong> maximale gerade noch zu detektierende Modulationsfrequenz<br />

f max der Lichtintensität:<br />

Bild 6.2-3b Ersatzschaltbild eines Photodetektors mit Rausch-Stromquellen (nach [6.4]):<br />

i = Signalstrom<br />

i S<br />

2<br />

= Schrotrauschen, i 2 GR = Generations-Rekombinationsrauschen:<br />

Beide können zusammengefaßt werden zu [6.3]:<br />

Die Nachweisgrenze optischer Sensoren ergibt sich als minimale optische Strahlungsleistung,<br />

<strong>die</strong> vom Sensor gerade noch detektiert werden kann, sie wird maßgeblich durch<br />

das Sensorrauschen bestimmt. Bei der optischen Strahlungsquelle selber entstehen<br />

Rauschquellen durch das Quantenrauschen, sowie durch das thermische Rauschen<br />

(Band 2, Abschnitt 14) des Hintergrunds, aus dem <strong>die</strong> Strahlung emittiert wird<br />

(Bild 6.2-3a).<br />

mit der Frequenzbandbreite B des betrachteten Systems und einem Multiplikationsfaktor (s.u.)<br />

M<br />

i 2 th= thermisches oder Widerstandsrauschen am Widerstand R i = 1/G i [6.4]:<br />

Als spektrales Nachweisvermögen oder Detektivität D wird das Verhältnis von spektraler<br />

Empfindlichkeit zur normierten Rauschspannung gewählt. Da <strong>die</strong> Rauschspannung<br />

U N im allgemeinen proportional ist zur Wurzel aus der Frequenzbandbreite B<br />

und der Sensorfläche A:<br />

definiert man als normierte Rauschspannung<br />

Bild 6.2-3a<br />

so daß man als Detektivität erhält:

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