1 Ãberblick über die Sensorik
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Seite 159<br />
316 6.2 Kenngrößen optischer Sensoren 6.2 Kenngrößen optischer Sensoren 317<br />
Kurve C: Bei idealen thermischen Zählern liegt keine Wellenlängenabhängigkeit<br />
der spektralen Empfindlichkeit vor.<br />
Eine ganz andere Wellenlängenabhängigkeit zeigen optische Sensoren auf der Basis<br />
von thermischen Zählern (Bolometern). In <strong>die</strong>sem Fall ist das Sensorsignal nicht<br />
proportional zur Photonenflußdichte j phot T , sondern zur Energieflußdichte j hν nach<br />
(6.1-15). Damit gilt<br />
Rauschursachen in optischen Signalquellen (nach [6.2]): Aufgetragen ist <strong>die</strong> spektrale<br />
Leistungsdichte des Rauschens in Abhängigkeit von der Lichtwellenlänge.<br />
Im Bereich großer Photonenenergien (kurze Wellenlängen) dominiert das Quantenrauschen,<br />
das durch Schwankungen der Photonendichte entsteht. Bei großen Wellenlängen<br />
überwiegt das thermische Rauschen aufgrund der Wärmestrahlung (Bild<br />
6.2-1).<br />
Bei optischen Halbleitersensoren kann eine Vielzahl von Rauschquellen <strong>die</strong> Nachweisempfindlichkeit<br />
der Sensoren einschränken (Band 2, Abschnitt 14.1, [6.3 und 4]).<br />
Bild 6.2-3b zeigt das Ersatzschaltbild eines Photodetektors mit den einzelnen<br />
Rauschquellen.<br />
d.h. es ergibt sich eine von der Wellenlänge unabhängige spektrale Empfindlichkeit<br />
(Kurve C in Bild 6.2-2).<br />
Eine weitere wichtige Kenngröße für optische Sensoren ist <strong>die</strong> Ansprechzeit τ, <strong>die</strong><br />
z.B. charakterisiert werden kann durch <strong>die</strong> maximale gerade noch zu detektierende Modulationsfrequenz<br />
f max der Lichtintensität:<br />
Bild 6.2-3b Ersatzschaltbild eines Photodetektors mit Rausch-Stromquellen (nach [6.4]):<br />
i = Signalstrom<br />
i S<br />
2<br />
= Schrotrauschen, i 2 GR = Generations-Rekombinationsrauschen:<br />
Beide können zusammengefaßt werden zu [6.3]:<br />
Die Nachweisgrenze optischer Sensoren ergibt sich als minimale optische Strahlungsleistung,<br />
<strong>die</strong> vom Sensor gerade noch detektiert werden kann, sie wird maßgeblich durch<br />
das Sensorrauschen bestimmt. Bei der optischen Strahlungsquelle selber entstehen<br />
Rauschquellen durch das Quantenrauschen, sowie durch das thermische Rauschen<br />
(Band 2, Abschnitt 14) des Hintergrunds, aus dem <strong>die</strong> Strahlung emittiert wird<br />
(Bild 6.2-3a).<br />
mit der Frequenzbandbreite B des betrachteten Systems und einem Multiplikationsfaktor (s.u.)<br />
M<br />
i 2 th= thermisches oder Widerstandsrauschen am Widerstand R i = 1/G i [6.4]:<br />
Als spektrales Nachweisvermögen oder Detektivität D wird das Verhältnis von spektraler<br />
Empfindlichkeit zur normierten Rauschspannung gewählt. Da <strong>die</strong> Rauschspannung<br />
U N im allgemeinen proportional ist zur Wurzel aus der Frequenzbandbreite B<br />
und der Sensorfläche A:<br />
definiert man als normierte Rauschspannung<br />
Bild 6.2-3a<br />
so daß man als Detektivität erhält: