1 Überblick über die Sensorik

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244 5.2 Magnetosensitive Sensoren 5.2.1 Feldplatten 245
Bild 5.2.1-4
Sensorkennlinie (a) und Temperaturabhängigkeit (b) des Widerstandes für zwei
verschieden dotierte InSb/NiSb-Feldplatten: Die höher dotierten Halbleiter haben
zwar eine geringere Empfindlichkeit, aber auch einen niedrigeren Temperaturkoeffizienten
(nach [5.5, 5.7])
Ein grundsätzliches Problem bei Feldplatten, welches nur durch sorgfältige Materialauswahl
minimiert werden kann, entsteht durch die Temperaturabhängigkeit des Widerstandes
(Bild 5.2.1-5).
Bild 5.2.1-3 Feldplatten-Magnetsensoren (nach [5.5])
a) Aufbau einer Feldplatte auf einem Substrat (TAB-Bauform)
b) verschiedene Mäanderformen
Tab. 5.2.1-1 Typische physikalische Eigenschaften von Werkstoffen, die für Feldplatten eingesetzt
werden (nach [5.9])
Bild 5.2.1-5
Temperaturabhängigkeit des normierten Widerstands R(T)/R(20 o C) für verschiedene
Halbleiterwerkstoffe (nach [5.9])