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1 Überblick über die Sensorik

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Seite 113<br />

224 5.1 Halleffekt-Sensoren 5.1.1 Halleffekt 225<br />

Wirkt zusätzlich zu dem Magnetfeld ein elektrisches Feld E, dann wird (1) erweitert<br />

zu:<br />

(2) beschreibt <strong>die</strong> Feldkraft auf <strong>die</strong> Ladungsträger, zu der im allgemeinen (Band 1,<br />

Abschnitt 4.1.1, Band 2, Abschnitt 4.3.2) eine Diffusionskraft F diff aufgrund von Ladungsträger-Dichtegra<strong>die</strong>nten<br />

tritt; als Summe von beiden ergibt sich <strong>die</strong> chemische<br />

Kraft F chem . Die Wechselwirkung der Ladungsträger untereinander läßt sich durch<br />

Einführung einer Reibungskraft beschreiben; nach Band 11, Abschnitt 1.2.3 ergibt<br />

sich dann auch bei Anwesenheit von Magnetfeldern als gemittelte Ladungsträgergeschwindigkeit<br />

aufgrund einer chemischen Kraft <strong>die</strong> Summe aus der (gemittelten)<br />

Drift (v dr )- und Diffusionsgeschwindigkeit (v diff ):<br />

mit der Ladungsträgerbeweglichkeit µ. Bisher wurde µ nur für <strong>die</strong> Wirkung elektrischer<br />

Feld- und Diffusionskräfte betrachtet, bei Anwesenheit magnetischer Felder<br />

kann sich <strong>die</strong> Ladungsträgerbeweglichkeit ändern ([5.1], s.u.).<br />

Als Ladungsträger werden im folgenden zunächst Elektronen (später auch Löcher, s.<br />

Band 2, Abschnitt 2.2.3) betrachtet. Wenn wir bei Abwesenheit von Ladungsträgergra<strong>die</strong>nten<br />

<strong>die</strong> Diffusionskräfte und -geschwindigkeiten vernachlässigen können, dann<br />

folgt aus (2) und (3):<br />

Es ergibt sich also eine Vektorgleichung für v dr . Die aus der Teilchengeschwindigkeit<br />

resultierende elektrische Stromdichte j (Band 11 oder Anhänge in den Bänden 1 und<br />

2) ist definiert (Volumendichte ρ n = Teilchenzahl N pro Volumen Vol):<br />

und damit für den Fall der Lorentz-Feldkraft:<br />

mit der spezifischen Leitfähigkeit für Elektronen σ sp n .<br />

Aus Gleichung (6) folgt eine wichtige Konsequenz (Bild 5.1.1-2): Wir betrachten den<br />

Stromfluß durch einen Leiter in x-Richtung aufgrund eines in derselben Richtung<br />

wirkenden von außen angelegten Feldes E ax . Aus Gleichung (6) folgt unmittelbar<br />

(Anhang C2), daß bei unendlich ausgedehnten Leitern <strong>die</strong> Stromdichtevektoren j n<br />

um einen definierten Hallwinkel θ H gegenüber der Richtung des von außen ange<br />

Bild 5.1.1-2<br />

Entstehung des Hallfeldes bei einem stabförmigen Widerstand in x-Richtung<br />

a) Elektronenbahnen aufgrund des angelegten elektrischen Feldes E ax bei Abwesenheit<br />

eines Magnetfeldes B<br />

b) Elektronenbahnen kurz nach dem Einschalten eines Magnetfeldes B (es hat sich<br />

noch kein Hallfeld aufgebaut): Der Elektronenstrom fließt auf einer um den Hallwinkel<br />

θ H geneigten Bahn (freie Elektronen würden sich auf Spiralbahnen, <strong>die</strong><br />

gestrichelt eingezeichnet sind, bewegen) zu den Seiten des Stabes hin, <strong>die</strong> Ablenkung<br />

wird bewirkt durch <strong>die</strong> Lorentzkraft F = -|q|v x B. Da <strong>die</strong> Elektronen an den<br />

Seitenflächen nicht nach außen abfließen können, baut sich dort eine Oberflächenladung<br />

auf, welche das Hallfeld E H erzeugt, <strong>die</strong> hierdurch erzeugte zusätzliche<br />

Kraft ist der Lorentzkraft entgegengerichtet (d.h. das durch <strong>die</strong> Ablenkung von Elektronen<br />

entstehende Hallfeld zeigt in Richtung der Lorentzkraft).<br />

c) Auf <strong>die</strong> im Leiter fließenden Elektronen wirken nebeneinander <strong>die</strong> ablenkende<br />

Kräfte des Magnetfeldes und des Hallfeldes. Beide kompensieren sich gegenseitig,<br />

so daß sich <strong>die</strong> Elektronen bei langgestreckten Widerständen näherungsweise (s.<br />

Abschnitt 5.1.2) in der durch den geometrischen Aufbau des Stabes festgelegten<br />

Richtung bewegen.<br />

legten Feldes E ax verdreht sind (Bild 5.1.1-2b), wobei gilt:

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