1 Überblick über die Sensorik

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216 4.3 Induktive und kapazitive Kraft- und Drucksensoren 4.3 Induktive und kapazitive Kraft- und Drucksensoren 217
Bild 4.3-2 Induktive Wegaufnehmer (nach [4.40])
I) Wegaufnehmer nach dem Drosselprinzip: Eine Veränderung des Luftspaltes
x in einem weichmagnetischen Kreis verändert die Induktivität des Kreises:
a) Drosselsystem mit einem Luftspalt der Breite x
b) Schalenkernsystem
c) Doppeldrossel (Differenzprinzip)
II) Wegaufnehmer nach dem Tauchkernprinzip: Die Verschiebung eines
weichmagnetischen Kerns in einer Spule verändert die Induktivität des Systems
oder die magnetische Kopplung zwischen zwei Spulen:
a) einfacher Tauchkernaufnehmer
b) Doppelspulen-Tauchkernsystem
c) Differentialtransformator-Tauchkernsystem
III) Mechanischer Aufbau eines induktiven Niederdruckaufnehmers (nach [4.41])
Bild 4.3-3 Kapazitiver Drucksensor mit Siliziummembran (nach [4.44])
a) Aufbau des Sensors mit quadratischer Membran und verstärktem Bereich in
der Mitte (ähnlich Kreisringmembran in den Bildern 4.1.5-8 und 11)
b) Druckabhängigkeit der Sensorkapazität