MZ 2D, MZ 2T MD 4, MD 4T - DPS-Vakuum

Betriebsanleitung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .Seite 2
Operating Instructions . . . . . . . . . . . . . . . . . .Page 22
MZ 2D, MZ 2T
MD 4, MD 4T, MD 4C, MD 4T/TC, MD 4RL/TRL
MD 8, MD 8C
PK 800 173 BN/C (9810)
MZ 2T
MD 4T
MD 8
Membranvakuumpumpen
Diaphragm Vacuum Pumps

Inhalt
1. Wichtig für Ihre Sicherheit .................... 2
1.1. Zu Ihrer Orientierung......................................................... 2
2. Kennenlernen der Pumpen..................... 3
2.1. Hauptmerkmale .................................................................. 3
2.2. Unterschiede zwischen den Pumpentypen................... 3
3. Installation............................................... 4
3.1. Aufstellung und Standort der Pumpe ............................. 4
3.2. Schaltung der Pumpstufen................................................4
3.3. Vakuumseite anschließen ................................................ 4
3.4. Auspuffseite anschließen................................................. 5
3.5. Netzanschluß herstellen................................................... 5
4. Betrieb...................................................... 8
4.1. Wichtige Hinweise..............................................................8
5. Was tun bei Störungen? ......................... 9
1. Wichtig für Ihre Sicherheit
☞ Lesen und befolgen Sie alle Punkte dieser Anleitung.
☞ Informieren Sie sich über:
– Gefahren, die von der Pumpe ausgehen;
– Gefahren, die von Ihrer Anlage ausgehen;
– Gefahren, die von gepumpten Medien ausgehen.
☞ Verhindern Sie, daß ein Körperteil dem Vakuum ausgesetzt
wird.
☞ Beachten Sie die Sicherheits- und Unfallverhütungsvorschriften.
☞ Prüfen Sie regelmäßig die Einhaltung aller Schutzmaßnahmen.
☞ Pumpe nicht eigenmächtig umbauen oder verändern.
☞ Beachten Sie beim Einsenden der Pumpe unsere Versandhinweise
(Abschnitt 7.).
Bestimmungsgemäße Verwendung
– Die Membranvakuumpumpen dürfen nur zur
Vakuumerzeugung eingesetzt werden.
– Keine korrosiven oder explosiven Gase pumpen.
– Keine Flüssigkeiten pumpen.
– Pumpe nicht in explosionsgefährdeten Bereichen einsetzen.
– Andere Zubehörteile als die in dieser Anleitung genannten
nicht ohne Zustimmung von PFEIFFER verwenden.
– Verbindungsleitungen zwischen den Membranköpfen nicht
als Tragegriff verwenden.
– Die Membranvakuumpumpen dürfen nicht zur Druckerzeugung
eingesetzt werden.
Änderungen vorbehalten
2
Seite Seite
6. Wartung .................................................. 10
6.1. Vorsichtsmaßnahmen bei Wartungsarbeiten............. 10
6.2. Membrane und Ventile reinigen und wechseln.......... 10
6.2.1.MZ 2D, MZ 2T.................................................................... 10
6.2.2.MD 4-Baureihe ................................................................. 11
6.2.3.MD 8, MD 8C ..................................................................... 13
7. Service ................................................... 15
8. Technische Daten.................................. 16
8.1. Maßbilder.......................................................................... 17
8.2. Medienberührende Werkstoffe..................................... 19
9. Zubehör................................................... 19
10. Ersatzteile............................................... 19
Erklärung zur Kontaminierung.................... 21
Konformitätserklärung .............. (letzte Seite)
Pictogramm-Definitionen
WARNUNG
ACHTUNG
WARNUNG
Gefahr von Personenschäden.
Gefahr von Schäden an der Pumpe
oder an der Anlage.
Verbrennungsgefahr beim Berühren
heißer Teile.
1.1. Zu Ihrer Orientierung
Arbeitsanweisung in der Betriebsanleitung
➡ Hier müssen Sie etwas tun!
Verwendete Symbole
Die folgenden Symbole werden auf den Abbildungen und im
Text dieser Anleitung einheitlich verwendet:
V Sauganschluß Stromanschluß
Auspuff Gasballastanschluß
Positionsnummern
Gleiche Geräte und Zubehörteile haben in allen Abbildungen
die gleichen Positionsnummern.

2. Kennenlernen der Pumpen
2.1. Hauptmerkmale
Membranvakuumpumpe MZ 2T
A Membrankopf 1
B Membrankopf 2
2.1 Druckanschluß
A.1 Vakuumflansch
E 2.2 2.1 B
V
K A.1 A 23
Membranvakuumpumpe MD 4 mit Kleinflanschanschluß DN 16 ISO-KF
A Membrankopf 1
B Membrankopf 2
C Membrankopf 3
D Membrankopf 4
2.1 Druckanschluß
B L
V
E Netzanschluß
2.2 Auspuff (Schalldämpfer)
K Kondensator
23 Schlauchverbindung
A.1 Sauganschluß
E Netzanschluß
2.2 Auspuff (Schalldämpfer)
L Lüfter
28 Schlauchverbindung
A1 2.2
2.1
Die Membranvakuumpumpen der Baureihen MD 4 und MD 8
sind dreistufige und die der MZ 2- Baureihe sind zweistufige
trocken verdichtende Pumpen. D.h. das geförderte Medium
wird mit keinem Schmiermittel in Verbindung gebracht.
Die Pumpen sind Verdrängerpumpen mit einer, durch die
Bewegung der Membrane erzeugten, periodischen Veränderung
der Größe des Schöpfraumes. Die Ventile öffnen und
schließen durch die Gasströmung selbsttätig.
Die Pumpenaggregate sind direkt mit dem Antriebsmotor verbunden.
D
28
C
Membranvakuumpumpe MD8
72 Vakuumflansch
N Netzschalter
T Tragegriffe
72 T N
V
2.2. Unterschiede zwischen den Pumpentypen
Typ Anzahl Max. Erreichbarer Gasballastder
Saugverm. Enddruck
Zylinder (m3 /h) (Total, ohne ventil
50/60 Hz Gasballast)
MZ 2T 2 2,1/2,5 5 mbar ja*
MZ 2D 2 2,1/2,5 5 mbar
MD 4C 4 3,0/3,5 2 mbar
MD 4TC 4 3,0/3,5 2 mbar ja
MD 4 4 3,3/3,8 2 mbar
MD 4T 4 3,3/3,8 2 mbar
MD 4RL 4 3,3/3,8 2 mbar
MD 4TRL 4 3,3/3,8 2 mbar
MD 8 8 6,5/7,6 2 mbar
* ab Serien-Nummer: 204 65 500
Pumpenausführungen
Standardversion = MZ 2D, MD 4, MD 8.
T - Version = Pumpe für Turbopumpstände.
C - Version = Pumpe in Korrosivgasausführung.
TC - Version = Pumpe in Korrosivgasausführung für
Turbopumpstände.
RL - Version = Pumpe mit reduzierter Leckrate.
TRL- Version = Pumpe mit reduzierter Leckrate für
Turbopumpstände.
Die C-Versionen unterscheiden sich von den genannten Standardausführungen
durch die Verwendung von korrosivgasbeständigen
Werkstoffen im medienberührenden Arbeitsraum
(Medienberührende Werkstoffe siehe unter Kap. 8.2).
Die MZ 2T ab Serien-Nummer 204 65 500 ist serienmäßig mit
einem Gasballastventil ausgerüstet. Mit geöffnetem
Gasballastventil kann Kondensation in der Pumpe vermieden
werden.
3

3. Installation
3.1. Aufstellung und Standort der Pumpe
4
ACHTUNG
Richtige Pumpenausführung für evtl. auftretende
aggressive Medien wählen.
➡ Pumpe auf einer ebenen, waagerechten Fläche aufstellen.
➡ Bei stationärem Einbau Pumpe auf der Standfläche verankern.
– Mechanische Kräfte durch starre Verbindungsleitungen
vermeiden und elastische Schlauchstücke oder
Federungskörper zwischenschalten.
➡ Umgebungstemperatur + 12 °C ... + 40 °C.
➡ Beim Einbau in geschlossene Gehäuse für ausreichende
Luftzirkulation sorgen.
3.2. Schaltung der Pumpstufen
➡ Bevor die Pumpe an die Apparatur angeschlossen wird,
Schlauchverbindungen auf richtigen Anschluß überprüfen.
– An den Membranköpfen sind die Sauganschlüsse der
Pumpe mit “IN” und die Auslässe mit “EX”
gekennzeichnet.
ACHTUNG
Bei Verwechslung der Anschlüsse entsteht eine
unzulässige Überdruckbelastung.
MZ 2D, MZ 2T
Die Pumpe arbeitet zweistufig. An beiden Membranköpfen A
und B ist der Sauganschluß mit “IN” und der
Auspuffanschluß mit “EX” gekennzeichnet. Somit ist ein Verwechseln
der Anschlüsse nicht möglich. Die Auslaßseite der
MZ2D und der MZ 2T sind mit einem Schalldämpfer versehen.
MD 4-Baureihe
Die Pumpe ist mit vier einzeln arbeitenden Membranpumpen
A, B, C, D ausgerüstet, die über Schlauchverbindungen zu
einer dreistufigen Vakuumpumpe geschaltet sind.
– Der Sauganschluß A.1 ist an A-IN und an B-IN
angeschlossen.
– Der Druckanschluß von A-EX, B-EX ist an Sauganschluß
C-IN angeschlossen. D.h. Membrankopf A und B arbeiten
synchron. Beide Saug- und Druckstutzen sind
gegeneinander über Rückschlagventile abgesichert. So
ist ein gegenseitiger Druckausgleich unterbunden.
– C-EX ist an D-IN angeschlossen. Je nach
Pumpenausführung ist die Auslaßseite 2.1 der MD 4 mit
einer Schlauchwelle DN 10, einem Schalldämpfer oder
einem Kleinflansch DN 16 ISO-KF ausgerüstet.
MD 8/MD 8C
Die Pumpe ist mit 8 einzeln arbeitenden Membranköpfen ausgerüstet,
die über Schlauchverbindungen zu einer
dreistufigen Membranpumpe verschaltet sind.
Bei Parallelschaltung der Köpfe kann ein Saugvermögen bis
max. 11,2 m 3 erreicht werden. Der Vakuumflansch ist mit „IN“
und der auspuffseitige Verteiler mit „EX“ gekennzeichnet. Auf
dem auspuffseitigen Verteiler ist standardseitig ein
Schalldämpfer montiert.
MD 4T
A.1 Sauganschluß, G1/4“
IN Sauganschluß am Membrankopf
A Membrankopf 1
B Membrankopf 2
C Membrankopf 3
D Membrankopf 4
2.1 Druckanschluß
3.3. Vakuumseite anschließen
EX Druckanschluß am
Membrankopf
E Netzanschluß
2.2 Auspuff (Schalldämpfer)
28 Schlauchverbindung
➡ Verschlußkappe am Sauganschluß entfernen.
➡ Verbindung zwischen Pumpe und Vakuumsystem so kurz
wie möglich ausführen.
➡ Pumpe mit Sauganschluß an Apparatur anschließen.
➡ Befindet sich im zu evakuierenden System Flüssigkeit, so
daß beim Evakuieren Dämpfe entstehen, vor der Pumpe
Kondensatabscheider einsetzen.

3.4. Auspuffseite anschließen
In der Auspuffleitung kann sich gefährlich hoher
ACHTUNG
Druck aufbauen. Leitung daher auspuffseitig
ohne eingebaute Absperrorgane verlegen.
Das Verbinden der Auspuffseite mit einem
geschlossenen System ist unbedingt zu
vermeiden (Berstgefahr!). Maximaler Gegendruck am Auslaß
siehe unter 8. Technische Daten).
– Wird aus betriebsinternen Gründen ein Absperrorgan eingebaut,
oder besteht die Gefahr, daß sich in der Leitung
ein Überdruck aufbauen kann, sind die behördlichen
Vorschriften der Unfallverhütung zu beachten.
ACHTUNG
Die ausgestoßenen Gase können sich, bei einer
entsprechenden Anwendung, gesundheitsschädigend
oder umweltverschmutzend auswirken.
➡ Leitung von der Pumpe aus fallend verlegen, damit kein
Kondensat in die Pumpe zurückläuft. Andernfalls Abscheider
einbauen.
3.5. Netzanschluß herstellen
Die Membranpumpen werden von Wechselstrommotoren
angetrieben.
ACHTUNG
ACHTUNG
Der elektrische Anschluß ist nach den örtlich
geltenden Bestimmungen auszuführen.
Spannungs- und Frequenzangabe auf dem
Typenschild muß mit der Netzspannung übereinstimmen.
Pumpe nur an Stromnetz mit Schutzleiter
anschließen.
Pumpenausführungen mit herausgeführtem
thermischem Wicklungsschutz müssen, zum
Schutz des Motors, auf geeignete Weise
verdrahtet werden.
– Bei einphasigem Motor mit selbsthaltendem Wicklungsschutz
kann die Pumpe nach Abkühlung aus
Sicherheitsgründen erst nach Trennung vom Netz wieder
anlaufen.
Bei Drehstromausführung (nur bei MD 8) muß der allpolig
abschaltende Überlastschutz manuell zurückgestellt
werden.
Der Anschluß der Membranpumpe in den Pumpstand ist nach
den Schaltplänen PM 041 940 -S oderPM 041 532-S
auszuführen.
Anschlußplan MZ 2-, MD 4-Baureihe
Anschlußplan MD 8 mit einphasigem Wechselstrom-Motor
Anschlußplan MD 8 mit Drehstrom-Motor
Thermofühler
Lüfter
5

6
Anschlußplan PM 041 940-S
Legende zum Schaltplan
1 Kühlwasserwächter TCW
2 Membranvakuumpumpe/ Drehschieberpumpe
3 Luftkühlung oder Kühlaggregat TZK
3a Luftkühlung kann mit Stecker vom
TCP direkt angeschlossen werden.
4 Heizung Turbopumpe
6 Flutventil TSF 012
8 Kabel TCP - Turbopumpe
16 Pumpstandsteuergerät
17 Turbopumpe
18 Antriebselektronik TCP
1) Bei Anschluß eines TCW, Brücke entfernen.
2) Bei Raumtemperatur P 24˚C, 1/3 geschlossen.
3 ) Bei Anschluß einer Fernbedienung, Brücke geschlossen.

Legende zum SchaltplanPM 041 532-S
X12 Anschluß Vorvakuumpumpe
X25 Anschluß Antriebselektronik
(Steuersignale)
X26 Anschluß Vorvakuum-Sicherheitsventil
V Vorvakuumpumpe
L Luftkühlung
T Antriebselektronik
F Flutventil
X1 Anschluß Flutventil
X2 Anschluß Luftkühlung
X5 Ausgangsbuchsenleiste TCP
X8 Netzanschluß für Antriebselektronik
TCP 015
7

4. Betrieb
4.1. Wichtige Hinweise
8
ACHTUNG
ACHTUNG
Für den Betrieb mit korrosiven Gasen nur Pumpen
in ‘’C’’-Ausführung einsetzen.
Eine Dauerförderung von Flüssigkeiten beschädigt
Membrane und Ventile!
Vor Inbetriebnahme unbedingt sicherstellen,
ACHTUNG
daß sich auf der Druckseite kein unzulässig
hoher Druck aufbaut.
Bei Verwechslung der Anschlüsse entsteht
eine gefährliche Überdruckbelastung.
Die MD 8/MD 8C darf nur gegen max. 1 bar Differenzdruck
zwischen Einlaß und Auslaß gestartet werden, da sonst evtl.
der Motor blockiert und Schaden nimmt.
WARNUNG
Oberfläche von Pumpen- und Motorgehäuse
wird bei Betrieb heiß.
Hinweis:
Die Pumpe erreicht die angegebenen Werte für Saugleistung
und Enddruck erst bei erreichter Betriebstemperatur (nach
ca. 15 min).
– Die Pumpe kann zu jeder Zeit ein- und ausgeschaltet werden.
– Die Sauganschlüsse sind mit V
und der Ausgang
(Auspuff) ist mit gekennzeichnet.
– Wurde die Pumpe mit Kondensat belastet, muß sie vor
dem Abschalten noch einige Minuten unter Atmosphärendruck
nachlaufen.

5. Was tun bei Störungen?
Problem Mögliche Ursachen Behebung
Pumpe erreicht nicht den Enddruck • Kondensat in der Pumpe • Pumpe für längere Zeit unter Atmosphärendruck
betreiben
• Ventile oder Membrane • Ventile und Membrane reinigen oder
defekt/verschmutzt wechseln, siehe Abschnitt 6. Wartung
• Leck im System • Leck beseitigen
Ungewöhnliche Betriebsgeräusche • Membrane/Ventile defekt • Siehe Abschnitt 6. Wartung.
• Schmutz im Schöpfraum • Schöpfraum reinigen.
• Schalldämpfer lose oder fehlt • Schalldämpfer überprüfen, ggf. erneuern.
• Ventile defekt • Ventile erneuern.
• Motorlüfter defekt • Motorlüfter austauschen.
• Pleuel oder Motorlager defekt • Pfeiffer-Service benachrichten.
Pumpe läuft nicht an • Netzspannung fehlt • Netzspannung kontrollieren
• Phasenausfall • Sicherung kontrollieren
• Schutzschalter Motorschütz hat Motor abkühlen lassen und Schutzschalter
ausgelöst. drücken.
• Umgebungstemperarur < 12 °C • Pumpe erwärmen
• Verschmutzte Membrane/Ventile • Siehe Abschnitt 6. Wartung
• Überdruck in Abgasleitung • Abgasleitung öffnen
Pumpe schaltet ab • Membrane verklebt • Pumpe reinigen, siehe Abschnitt 6. Wartung
• Falsche Netzspannung • Korrigieren nach Typenschild
9

6. Wartung
Alle Lager der Pumpe sind außerhalb der Arbeitsräume angeordnet,
gekapselt und auf Lebensdauer geschmiert. Bei
normaler Belastung arbeiten die Pumpen wartungsfrei.
Betriebsmittelkontrollen sind nicht erforderlich. Die Ventile
und die Membranen sind Verschleißteile. Spätestens wenn
die erreichten Druckwerte nachlassen, sollte der
Schöpfraum, die Membrane und die Ventile gereinigt und auf
Risse untersucht werden.
6.1. Vorsichtsmaßnahmen bei
Wartungsarbeiten
Motor bei allen Arbeiten an der Pumpe gegen
ACHTUNG
Einschalten sichern.
Pumpe, wenn erforderlich, zur Inspektion aus
der Anlage demontieren.
Pumpe vor der Demontage abkühlen lassen.
➡ Zur Beseitigung der Fehler, Pumpe nur soweit wie nötig
demontieren; nur Originalteile entsprechend der Ersatzteilliste
zu verwenden.
➡ Pumpenteile nur mit Waschbenzin oder ähnlichen Mitteln
reinigen. Keine löslichen Waschmittel verwenden.
WARNUNG
10
Die gesetzlichen und lokalen Bestimmungen im
Umgang mit Lösungsmitteln sind einzuhalten.
Bei der Inspektion von Pumpen in
WARNUNG
Korrosivgasausführung (“C”) können giftige
Gase und Dämpfe entweichen. Die Pumpen sind
vor der Inspektion zu dekontaminieren. Die
Wartung und Reparatur darf nur unter
Einhaltung der entsprechenden Vorschriften, von dafür
geschultem Personal, durchgeführt werden.
6.2. Membrane und Ventile reinigen und
wechseln
6.2.1. MZ 2D, MZ 2T
Reinigen
➡ Pumpe vor der Demontage abkühlen lassen.
➡ Pumpe von der Apparatur trennen und Motor gegen
Einschalten sichern.
➡ Schlauchverbindung zwischen den Pumpenstufen durch
Lösen der Hohlschrauben abschrauben.
➡ Entfernen der Zylinderschrauben 26 (pro Pumpenstufe 4
Stück).
➡ Gehäusedeckel 1 mit Kopfdeckel 2 abnehmen. Dabei das
Herausfallen des Kopfdeckels aus dem Gehäusedeckel
verhindern.
➡ Membranenpaar 10 auf Beschädigung kontrollieren ggf.
Wechsel der Membrane.
➡ Zur Überprüfung der Ventildichtungen 11 Kopfdeckel 2 von
Gehäusedeckel 1 abnehmen.
➡ Auf Lage der Ventildichtungen 11 achten und
herausnehmen. Bei Beschädigung erneuern.
➡ Alle Teile reinigen.
➡ Pumpe in umgekehrter Reihenfolge montieren.
MZ 2T, MZ 2D
1 Gehäusedeckel
2 Kopfdeckel
2.2 Schalldämpfer
2.3 Dichtring
3 Membranspannscheibe
4 Pleuel
5 Gehäuse
6 Gehäuseblech
7 Exzenterbuchse mit Gegengewicht
8 Zylinderschraube
9 Membranstützscheibe
10 Doppelmembrane
11 Ein- und Auslaßventildichtung
13 Rillenkugellager
16 Senkschraube
17 Senkschraube
19 Toleranzring
25 Distanzring
26 Zylinderschraube
30 Gewindestutzen mit Schlauchwelle
O-Ring
17 7 4 25 4 8 2.2 2.3
11
16
6 13 19 5 10
26 2.3 30
1
2
3
9

Membrane wechseln
➡ Pumpenstufe wie unter 6.2.1 beschrieben demontieren.
➡ Schraube 16 herausschrauben. Achtung! Diese Schraube
ist eingeklebt und somit gegen Lockern gesichert.
➡ Mit großer Vorsicht ist die darunterliegende
Membranstützscheibe 9 abzunehmen.
➡ Gehäuseblech 6 abschrauben
ACHTUNG
Zwischen Antriebspleuel und Membranstützscheibe
können Distanzscheiben zum
Ausgleich eingelegt sein. Diese
Distanzscheiben müssen in gleicher Höhe wiederverwendet
werden.
➡ Läßt sich die alte Membrane von der Stützscheibe 9
schwer trennen, z.B. in Benzin oder Petroleum lösen.
➡ Eventuell vorhandene Distanzscheiben wieder unter die
untere Membranstützscheibe 9 legen. Mit etwas Fett
gegen Herunterfallen bei der Montage fixieren.
➡ Neue Membrane 10 und Membranstützscheibe 9 einlegen.
Hinweis!
Bei der Membrane handelt es sich um eine Doppelmembrane,
die insgesamt 1,6 mm dick ist. Die Membranen werden werkseitig
so gepaart, daß eine maximale Toleranz von 1,6 ± 0,05
mm eingehalten wird. Ersatzmembranen müssen in gleicher
Weise ausgesucht werden.
➡ Membranspannscheibe 3 einlegen.
➡ Unter den Schraubenkopf der Schraube 16 etwas Klebstoff
(z.B. Loctite 601) geben und Membrane und Spannscheibe
verschrauben.
➡ Weitere Montage im umgekehrten Sinn der Demontage.
Ein- und Auslaßventildichtungen 11
6.2.2 MD 4-Baureihe
Reinigen
➡ Pumpe von der Apparatur trennen und Motor gegen
Einschalten sichern.
➡ Verbindungsschläuche an der betreffenden Pumpstufe
abschrauben.
➡ Schrauben 26 herausschrauben und Gehäusedeckel 1
abnehmen.
➡ Auf Lage der Ventildichtungen 11 achten und
herausnehmen. Bei Beschädigung erneuern.
➡ Kopfdeckel 2 abheben und Membrane 10 auf Verschleiß
untersuchen ggf. Membrane wechseln.
➡ Alle Teile reinigen.
➡ Pumpe in umgekehrter Reihenfolge montieren. Bei der
Montage sollte die Pumpe so gestellt werden, daß die zu
montierende Pumpstufe oben ist. Die Teile werden dann
aufgelegt und können sich nicht verschieben.
MD 4, MD 4T
1 Gehäusedeckel
2 Kopfdeckel
2.2 Schalldämpfer
2.3 Dichtung
3 Membranspannscheibe
4 Pleuel
5 Gehäuse
6 Gehäuseblech
7 Exzenterbuchse mit Gegengewicht
8 Zylinderschraube
9 Membranstützscheibe
10 Doppelmembrane
11 Ein- und Auslaßventildichtung
13 Rillenkugellager
16 Senkschraube
17 Senkschraube
19 Toleranzring
25 Distanzring
26 Zylinderschraube
11

Membrane wechseln bei MD4, MD 4T
➡ Pumpstufen wie unter 6.2.2 demontieren.
➡ Schraube 16 herausschrauben. Achtung! Diese Schraube
ist mit Klebstoff gesichert und abgedichtet.
➡ Schrauben 17 herausschrauben und Gehäuseblech 6
abnehmen.
➡ Membrane 10 abnehmen. Die Membranen hängen meist
am Gehäuse fest und sollten vorsichtig von Hand vom
Pleuelraum her herausgedrückt werden.
Zwischen Antriebspleuel und Mem-
ACHTUNG
branstützscheibe können Distanzscheiben zum
Ausgleich eingelegt sein. Diese
Distanzscheiben müssen in gleicher Höhe wiederverwendet
werden.Sie dürfen mit einer
anderen Stufe nicht vertauscht werden!
➡ Läßt sich das alte Membranenpaar 10 nicht von der Membranstützscheibe
9 trennen, in Benzin oder Petroleum
lösen.
➡ Teile in Benzin reinigen und auf Verschleiß untersuchen.
Gegebenenfalls defekte Teile austauschen.
➡ Eventuell vorhandene Distanzscheiben wieder unter Membranstützscheibe
9 legen. Mit etwas Fett gegen
Herunterfallen bei der Montage fixieren.
➡ Membranstützscheibe 9 auf Pleuel 4 legen.
➡ Neues Membranenpaar 10 einlegen.
Hinweis:
Bei der Membrane handelt es sich um eine Doppelmembrane,
die insgesamt 1,6 mm dick ist. Die Membranen werden werkseitig
so gepaart, daß eine maximale Toleranz von 1,6 ± 0,05
mm eingehalten wird. Ersatzmembranen müssen in gleicher
Weise ausgesucht werden.
➡ Membranspannscheibe 9 einlegen.
➡ Unter den Schraubenkopf der Schraube 16 etwas Klebstoff
(z.B. Loctite 601) geben und Membrane und Spannscheibe
verschrauben.
➡ Weitere Montage wie unter 6.2.2 vornehmen.
Membrane wechseln bei MD 4TC
➡ Pumpstufen wie unter 6.2.2 beschrieben demontieren.
➡ Zusätzlich muß die vordere Gehäuseabdeckung 6
demontiert werden.
➡ Mit handelsüblichem Gelenk-Stirnlochschlüssel (Größe
40/4) die Membranstützscheibe 9 drehen und so die Membrane
10 lösen.
➡ Membranspannscheibe 3 mit Vierkant-
Verbindungsschraube 14, Membrane 10 und Stützscheibe
9 entnehmen.
➡ Kontrollieren ob die Vierkant-Verbindungsschraube 14
noch einwandfrei fest in der Mebranspannscheibe 3 sitzt,
ggf. nachziehen (Linksgewinde).
12
➡ Neue Membrane 10 zwischen Membranspannscheibe 3
und Stützscheibe 9 einlegen.
➡ Membrane 10 mit Spann- und Stützscheiben in umgekehrter
Reihenfolge der Demontage montieren.
➡ Gehäuseabdeckung 6 montieren.
➡ Zur Montage des PTFE-Verbindungsschlauches 28 die
Metallüberwurfmutter mit der Hand und danach noch 1/2
Umdrehung mit einem Sechskantschlüssel anziehen.
MD 4TC.
1 Gehäusedeckel
2 Kopfdeckel
3 Membranspannscheibe
4 Pleuel
5 Gehäuse
6 Gehäuseblech
7 Exzenterbuchse mit Gegengewicht
8 Zylinderschraube
9 Membranstützscheibe
10 Membrane
11 Ein- und Auslaßventildichtung
12 Bügelgriff
13 Rillenkugellager
14 Verbindungsschraube
17 Senkschraube
18 Zylinderschraube
19 Toleranzring
20 Zylinderstift
21a Gehäusedeckel (Innenteil) links
21b Gehäusedeckel (Innenteil) rechts
23 Motor
25 Distanzring
26 Zylinderschraube

Membrane wechseln bei MD 4RL, MD 4TRL
Pumpen mit reduzierter Leckrate besitzen einen modifizierten
Kopfdeckel und zusätzlich einen Dichtungsring in der Nut des
Kopfdeckels.
6.2.3. MD 8/MD 8C
Reinigen
➡ Verschraubungen 8.4 mit Gabelschlüssel (SW 17) an allen
Pumpenköpfen lösen.
– Eine Demontage der Verbindungsschläuche von den
Verschraubungen an den Verteilern ist nicht
erforderlich.
➡ Verbindungsschlauch (-schläuche) 8.12 zwischen Vakuumflansch
72 und druckseitigem 8.5 Verteiler nach Lösen der
Verschraubung 8.10 mit Gabelschlüssel (SW 15) abziehen.
➡ Senkschrauben 8.1 und 73 mit Kreuzschlitz-Schraubendreher
lösen und druck- und saugseitigen Verteiler mit allen
Anbauteilen komplett abnehmen.
➡ Alle Pumpenköpfe nacheinander überprüfen, dazu jeweils:
➡ Die vier Zylinderschrauben 8.16 mit Innensechskant (SW 5)
an den Pumpenköpfen lösen und Gehäuseoberteil (Gehäusedeckel
8.17 mit Kopfdeckel 8.19) abnehmen;
– dabei das Herausfallen des Kopfdeckels aus dem
Gehäusedeckel verhindern.
➡ Doppelmembrane 10 auf Beschädigung kontrollieren und
ggf. erneuern.
➡ Zur Überprüfung der Ventile Kopfdeckel 8.19 von Gehäusedeckel
8.17 abnehmen. Auf die Lage der Ventile 11 achten
und diese herausnehmen. Bei Beschädigung Ventile
erneuern.
➡ Bei Verschmutzung die betreffenden Teile mit Waschbenzin
oder technischem Lösemittel reinigen.
➡ Montage des Gehäuseoberteils in umgekehrter Reihenfolge.
Membrane wechseln bei MD 8/MD 8C
➡ Wie zuvor beschrieben:
Verschraubungen 8.4 lösen und Verbindungsschlauch
(-schläuche) 8.12 zwischen saugseitigem und
druckseitigem Verteiler abziehen.
➡ Gehäusebleche 8.14 nach Lösen der vier Senkschrauben
8.13 mit Kreuzschlitz-Schraubendreher mit jeweiligem Verteiler
und den Anbauteilenabnehmen.
➡ Wie zuvor beschrieben:
Gehäusedeckel mit Innenteilen an Pumpenköpfen demontieren.
➡ Die Senkschraube 16 mit Kreuzschlitzschraubendreher
(Größe 2) im Zentrum der Membranspannscheibe 3 lösen.
Achtung:
Die Befestigungsschraube ist mit Klebstoff gegen
Lockern gesichert. Schraube von Klebstoffresten reinigen
oder neue verwenden.
➡ Läßt sich die alte Membrane 10 von der
Membranstützscheibe 9 schwer trennen, in Benzin oder
Petroleum lösen.
➡ Membranstützscheibe 9 und neue Membrane 10 einlegen
und beachten, daß es sich bei der Membrane um eine
Doppelmembrane handelt, die insgesamt 1,6 mm dick ist.
➡ Membranspannscheibe 3 einlegen, einen Tropfen niedrigfesten
Klebstoff (z.B. Loctite 932) unter den Kopf und auf
das Gewinde der Senkschraube geben und anschließend
Membrane und Spannscheibe verschrauben;
dabei auf das evtl. vorhandene Ausgleichsscheibchen
achten.
➡ Durch Drehen an der Exzenterbuchse (Vorderseite Pleuel)
Pleuel 24 in eine Position bewegen, in der die Membrane
auf der Auflagefläche in der Gehäuseöffnung aufliegt.
➡ Montage des Gehäusedeckels mit Innenteilen und des
Gehäuseblechs in umgekehrter Reihenfolge.
➡ Überprüfung der Funktionsfähigkeit des Pumpenkopfes
und der Pumpe (nach Montage der
Verbindungsschläuche) wie im Abschnitt zuvor
beschrieben.
13

14
MD8
2.2 Schalldämpfer
3 Membranspannscheibe
8.1 Senkschrauben
8.4 Verschraubungen
8.5 Auspuffflansch
8.10 Winkelverschraubung
8.12 Verbindungsschlauch
8.13 Senkschrauben
8.14 Gehäuseblech
8.16 Zylinderschrauben
8.17 Gehäusedeckel
8.19 Kopfdeckel
9 Membranstützscheibe
10 Doppelmembrane
11 Ventildichtung
16 Senkschrauben
24 Pleuel
72 Vakuumflansch
73 Senkschrauben
8.1 8.10 8.12 8.4 8.5 2.2 8.13 8.14
8.16 8.17 11 8.19 16 3 10 9 24
72 73

7. Service
Nehmen Sie bitte unseren Service in Anspruch!
Sollte wider Erwarten ein Schaden an Ihrer Pumpe auftreten,
haben Sie verschiedene Möglichkeiten, Ihre Anlagen-Verfügbarkeit
aufrecht zu erhalten:
– Pumpe vor Ort durch den PFEIFFER Service reparieren lassen;
– Pumpe zur Reparatur einsenden;
– Pumpe durch neuwertige Austauschpumpe ersetzen.
Genauere Informationen erhalten Sie von Ihrer PFEIFFER Vertretung.
Vor dem Einsenden:
➡ Deutlich sichtbar Vermerk anbringen: “Frei von Schadstoffen”
(auf eingesandten Geräten und zusätzlich auf Lieferschein
und Anschreiben).
“Schadstoffe” sind Stoffe und Zubereitungen entsprechend
der Gefahrstoff-Verordnung in der derzeit gültigen Fassung.
Fehlt der Vermerk, führt PFEIFFER kostenpflichtig eine Dekontamination
durch. Dies gilt auch, wenn der Betreiber keine
Möglichkeit zur ordnungsgemäßen Dekontamination hat.
Mikrobiologisch, explosiv oder radioaktiv kontaminierte Geräte
werden grundsätzlich nicht angenommen.
Erklärung zur Kontamination ausfüllen
➡ In jedem Fall eine Kopie der "Erklärung zur Kontaminierung"
sorgfältig und wahrheitsgemäß ausfüllen.
➡ Vollständig ausgefüllte Kopie dem Gerät beifügen; zusätzliches
Exemplar direkt an den zuständigen PFEIFFER Service
schicken.
Bei allen Fragen oder Unklarheiten bezüglich Kontaminierung
wenden Sie sich bitte an die nächste PFEIFFER Vertretung.
WARNUNG
Kontaminierte Geräte vor der Einsendung oder
vor einer eventuellen Entsorgung dekontaminieren!
Mikrobiologisch, explosiv oder radioaktiv kontaminierte
Pumpen nicht versenden!
Kontaminierte Geräte versenden
Müssen kontaminierte Geräte zur Wartung/Reparatur
eingesandt werden, bitte folgende Versandvorschriften
einhalten:
➡ Pumpe neutralisieren durch Spülen mit Stickstoff oder
trockener Luft.
➡ Alle Öffnungen luftdicht verschließen.
➡ Pumpe oder Gerät in geeignete Schutzfolie einschweißen.
➡ Gerät nur in geeigneten, stabilen Transportcontainern einschicken.
Hinweis:
Reparaturaufträge werden nur entsprechend unseren
allgemeinen Lieferbedingungen durchgeführt. Ist eine
Reparatur notwendig, senden Sie bitte die Pumpe an Ihre
nächste PFEIFFER Servicestelle.
Kontaktadressen und Service-Hotline
➡ Kontaktadressen und Ihre Service-Hotline finden Sie auf
der Rückseite dieser Anleitung.
15

8. Technische Daten
Größe Einheit MZ 2T 2)
MZ 2D 1)
MD 4 1)
MD 4T 2)
Anschlüsse
Saugseite1) Druckseite
G 1/4“ DN 16 ISO-KF DN 16 ISO-KF G 1/4“
2) Schalldämpfer Schalldämpfer Schalldämpfer Schalldämpfer
Zylinderzahl 2 2 4 4
Max. Saugvermögen bei
50 Hz m3 60 Hz
/h
m
2,1 2,1 3,3 3,3
3 /h 2,5 2,5 3,8 3,8
Enddruck,absolut mbar < 5 < 5 2 2
Zulässiger Auspuffdruck
Max. zulässige Gas- und
mbar 1100 1100 1100 1100
Zul. Umgebungstemperaturbereich
Überlastungsschutz
°C + 10 ... + 40 + 10 ... + 40 + 10 ... + 40 + 10 ... + 40
(Temp.-Schalter eingewickelt) °C + 155 + 155 + 155 + 155
Geräuschentwicklung dB(A) ca. 49 ca. 49 ca. 52 ca. 52
Schutzart
Leistung bei
IP 54 IP 54 IP 20 IP 20
120 V 60Hz W
220 ... 240V 50/60Hz W 180 180 200 200
Nenndrehzahl bei 50/60 Hz
Stromaufnahme bei
1/min 1500/1800 1500/1800 1500/1800 1500/1800
120 V 60Hz A 3,1 3,1 3,6 3,6
220 ... 240V 50/60Hz A 1,4/1,6 1,4/1,6 1,6/1,8 1,6/1,8
Gewicht, ca. kg 10,1 10,1 15,5 15,5
1) Pumpe mit Schalter und Netzkabel
230V, 50/60Hz (mit Euro-Stecker)
120V, 60 Hz (mit UL-Stecker)
2) Pumpe ohne Schalter mit 5-adrigem Netzkabel, jedoch ohne Stecker
230V, 50/60Hz
120V, 60 Hz
16
3) Schlauchwelle für Schlauch mit 10 mm Innendurchmesser
Größe Einheit MD 4C 1)
MD 4TC 2)
MD 4RL MD 4TRL
Anschlüsse
Saugseite1) DN 10 S 3)
Druckseite
NPT 1/8“ DN 16 ISO-KF DN 16 ISO-KF
2) DN 10 S 3
DN 10 S 3
DN 16 ISO-KF DN 16 ISO-KF
Zylinderzahl 4 4 4 4
Max. Saugvermögen bei
50 Hz m3 60 Hz
/h
m
3,0 3,0 3,3 3,3
3 /h 3,5 3,5 3,8 3,8
Enddruck,absolut mbar 2 2 2 2
Zulässiger Auspuffdruck mbar 1100 1100 1100 1100
Integrale Leckrate mbar l/sec < 5 • 10 -4
< 5 • 10 -4
Max. zulässige Gas- und
Zul. Umgebungstemperaturbereich
Überlastungsschutz
°C + 10 ... + 40 + 10 ... + 40 + 10 ... + 40 + 10 ... + 40
(Temp.-Schalter eingewickelt) °C + 155 + 155 + 155 + 155
Geräuschentwicklung dB(A) ca. 52 ca. 52 ca. 52 ca. 52
Schutzart
Leistung bei
IP 20 IP 20 IP 20 IP 20
120V/60Hz W
220 ... 240V 50/60Hz W 200 200 200 200
Nenndrehzahl bei 50/60 Hz
Stromaufnahme bei
1/min 1500/1800 1500/1800
120V/60Hz A 3,6 3,6 3,6 3,6
220 ... 240V 50/60Hz A 1,6/1,8 1,6/1,8 1,6/1,8 1,6/1,8
Gewicht, ca. kg 16,2 16,2

Größe Einheit MD 8/MD 8C
Anschlüsse
Saugseite, Schlauchwelle/KF DN 20/25
Druckseite Schalldämpfer
Zylinderzahl 8
Max. Saugvermögen bei
50 Hz m 3 /h 6,5
60 Hz m 3 /h 7,6
Enddruck,absolut mbar 2
Zulässiger Auspuffdruck mbar 1100
Integrale Leckrate 4)
mbar l/sec < 5 • 10 -4
Max. zulässige Gas- und
Zul. Umgebungstemperaturbereich
Überlastungsschutz
°C 40
(einphasig/Drehstrom) thermisch selbstrückstellend/
bei Überlast allpolig abschaltend
Geräuschentwicklung dB(A) 52
Schutzart
Leistung bei
IP 20
220 ... 240V 50Hz W 370
Nenndrehzahl bei 50/60 Hz
Stromaufnahme bei
1/min 1500/1800
100V, 50/60Hz A 6,6/5,7
110-115V, 50/60Hz A 6,0/5,7
220-240V, 50/60Hz A 3,0/2,6
220/380V, 50Hz, 3-phasig A 1,95/1,1
220/380V, 60Hz, 3-phasig A 1,72/1,0
Gewicht, ca. kg 25
4)
nur bei Pumpen mit reduzierter Leckrate (RL-Ausführung)
8.1. Maßbilder
MZ 2T
17

18
MD 4T
Klammerwert gilt für MD 4TC
MD 8

8.2 Medienberührende Werkstoffe
Standardausführung MZ 2T und MD 4T
Pumpeneinzelteile Medienberührende Werkstoffe
Doppelmembrane (1,6 mm dick) FPM (Viton) gewebeverstärkt
Membranspannscheibe Aluminiumlegierung
Kopfdeckel Aluminiumlegierung
Ventile FPM (Viton)
Gehäusedeckel Aluminiumlegierung
Verschraubungen Aluminiumlegierung eloxiert
Verbindungsschlauch Polyamid
Schlauchwelle Polyamid
Dichtungen Stahl/FPM
Senkschraube (Membranspannscheibe) Edelstahl
Schalldämpfer Aluminium/PE
Saugstutzen Edelstahl
Korrosivgasausführung MD 4TC
Pumpeneinzelteile Medienberührende Werkstoffe
Membrane (1,2 mm dick) PTFE beschichtetes
gewebeverstärktes Neopren
Membranspannscheibe ECTFE (Halar) beschichteter
Edelstahl
Kopfdeckel verstärktes PTFE
Ventile Perfluorelastomer (Kalrez)
Gehäusedeckel Innenteil verstärktes PTFE
Verschraubungen ETFE (Tefzel)
Verbindungsschlauch PTFE
Schlauchwelle ETFE (Tefzel)
Saugstutzen Edelstahl
9. Zubehör
Pos. Benennung Pumpe Bestell-Nr.
A1 Ansaugflansch, DN 10 ISO-KF P0 988 086
Kleinflanschanschluß DN 16 MZ 2T P0 990 775
Kleinflanschanschluß DN 10 MD 4TC P0 988 087
Kleinflansch mit Schlauchwelle, DN 16/DN 10 MD 4T BP 217 453
Schlauch Ø 10 mm (Meterware) MZ 2T P0 988 088
MD 4T P0 988 088
MD 4TC P0 988 734
10.Ersatzteile
Standardausführung MD 8
Pumpeneinzelteile Medienberührende Werkstoffe
Gehäusedeckel, Kopfdeckel Aluminiumlegierung (AlSi12)
Membranspannscheibe Aluminiumlegierung (AlSi12)
Senkschraube
(Membranspannscheibe) Edelstahl
Membrane, Ventile Viton ®
Einlaßstutzen Aluminiumlegierung
Schalldämpfer Aluminium/PE
Schläuche Polyamid PA 6
Verschraubungen Aluminium eloxiert (AlCuMgPb)
Dichtungen PVC
Ersatzteilliste MZ 2D (Standardausführung), MZ 2T
Pos. Benennung Stück Nr.
Dichtungssatz Pos. 2.3, 10, 11 PM 006 817 -T
Gasballastventil; nur für MZ 2T 1 P 0920 634 E
2.2 Schalldämpfer 1 P0 920 412 E
2.3 PVC-Dichtung 4 P0 920 409 E
10 Doppelmembrane 2 P0 920 407 E
11 Ventildichtung 4 P0 920 408 E
23 Schlauchverbindung 1 P0 920 542 E
Gummifuß 3 P 3695 700 ZG
19

20
Ersatzteilliste MD 4 (Standardausführung), MD 4T
Pos. Benennung Stück Nr.
Dichtungssatz Pos. 10, 11, 2.3 PM 006 817 -T
Gasballastventil; nur für MD 4T 1 P0 920 634 E
10 Doppelmembrane 4 P0 920 407 E
11 Ventildichtung 8 P0 920 408 E
2.2 Schalldämpfer 1 P0 920 412 E
2.3 PVC-Dichtung 30 P0 920 409 E
28 Satz-Schlauchverbindung (siehe Kap. 2.1) 1 P0 920 410 E
38 Lüfter 220-240 V 1 P0 920 416 E
38 Lüfter 110-115 V 1 P0 920 417 E
Winkelverschraubung, kurz 1 P0 989 962
Winkelverschraubung, lang 1 P0 988 649
1 Gehäusedeckel 1 P0 990 484
Ersatzteilliste MD 4C, MD 4TC Korrosivgasausführung
Pos. Benennung Stück Nr.
Dichtungssatz Pos. 10, 11 PM 006 818 -T
10 Doppelmembrane II 4 P0 920 427 E
11 Ventildichtung II 8 P0 920 428 E
28 Satz-Schlauchverbindung 1 P0 920 429 E
38 Lüfter 220-240 V 1 P0 920 416 E
38 Lüfter 110-115 V 1 P0 920 417 E
Ersatzteilliste MD 4RL, MD 4TRL
Pos. Benennung Stück Nr.
Dichtungssatz Pos. 8x11,4x10 PK 050 051-T
Dichtungssatz, beschichtet Pos. 8x11,4x10 PK 050 101-T
1 Gehäusedeckel 1 P 0990 484
3 Membranspannscheibe 1 P 0920 430 E
9 Membranstützscheibe 1 P 0920 531 E
10 Doppelmembrane 4 P0 920 535 E
11 Ventildichtung 8 P0 920 408 E
2.2 Schalldämpfer 1 P0 920 412 E
2.3 PVC-Dichtung 30 P0 920 409 E
28 Satz-Schlauchverbindung 1 P0 920 410 E
38 Lüfter 110-115 V 1 P0 920 417 E
38 Lüfter 220-240 V 1 P0 920 416 E
Motor 110...115 V 1 P0 920 419 E
Motor 230 V/50...60 Hz 1 P0 920 418 E
Motor 110 V 1 P0 920 420 E
Ersatzteilliste MD 8, MD 8C
Pos. Benennung Stück Nr.
Dichtungssatz, MD8 PK 050 102-T
Dichtungssatz, MD 8C PK 050 103-T
2.2 Schalldämpfer 1 P0 920 412 E
10 Doppelmembrane I 8 P0 920 407 E
10 Doppelmembrane II, C-Version 8 P0 920 427 E
11 Ventildichtung 16 P0 920 408 E
11 Ventildichtung II, C-Version 16 P0 920 428 E
38 Lüfter 110-115 V 1 P0 920 417 E
38 Lüfter 220-240 V 1 P0 920 416 E
Bei Zubehör-/Ersatzteilbestellung bitte unbedingt vollständige Teile-Nummer angeben. Bei Ersatzteilbestellungen zusätzlich Gerätetyp
und Gerätenummer angeben (siehe Typenschild). Nutzen Sie diese Listen als Bestellvorlage (Kopie).

Erklärung über Kontaminierung von Vakuumgeräten und -komponenten
Die Reparatur und/oder die Wartung von Vakuumgeräten und
-komponenten wird nur durchgeführt, wenn eine korrekt und
vollständig ausgefüllte Erklärung vorliegt. Ist das nicht der
Fall, kommt es zu Verzögerungen der Arbeiten.
Diese Erklärung darf nur von autorisiertem Fachpersonal ausgefüllt und unterschrieben werden:
1. Art der Vakuumgeräte und -komponenten
- Typenbezeichnung: __________________________
- Artikelnummer: __________________________
- Seriennummer: __________________________
- Rechnungsnummer: __________________________
- Lieferdatum: __________________________
3. Zustand der Vakuumgeräte und -komponenten
- Waren die Vakuumgeräte und -komponenten in
Betrieb? ja ❐ nein ❐
- Welches Betriebsmittel wurde verwendet?
___________________________________________
Handelsname Chemische Gefahrklasse Maßnahmen bei Erste Hilfe bei Unfällen
Produktname Bezeichnung Freiwerden der
Hersteller (evtl. auch Formel) Schadstoffe
1.
2.
3.
4.
5.
- Sind die Vakuumgeräte und -komponenten frei von
gesundheitsgefährdenden Schadstoffen?
ja ❐ (weiter siehe Absatz 5)
nein ❐ (weiter siehe Absatz 4)
5. Rechtsverbindliche Erklärung
Wenn die Reparatur/Wartung im Herstellerwerk und nicht am
Ort ihres Einsatzes erfolgen soll, wird die Sendung, bei
fehlender Erklärung, gegebenenfalls zurückgewiesen.
2. Grund für die Einsendung
_____________________________________________
_____________________________________________
_____________________________________________
_____________________________________________
_____________________________________________
4. Einsatzbedingte Kontaminierung der Vakuumgeräte
und -komponenten
- toxisch ja ❐ nein ❐
- ätzend ja ❐ nein ❐
- mikrobiologisch*) ja ❐ nein ❐
- explosiv*) ja ❐ nein ❐
- radioaktiv*) ja ❐ nein ❐
- sonstige Schadstoffe ja ❐ nein ❐
*) Mikrobiologisch, explosiv oder radioaktiv kontaminierte Vakuumgeräte und -komponenten werden nur bei Nachweis einer
vorschriftsmäßigen Reinigung entgegengenommen!
Art der Schadstoffe oder prozeßbedingter, gefährlicher Reaktionsprodukte, mit denen die Vakuumgeräte und -komponenten in
Kontakt kamen:
Hiermit versichere(n) ich/wir, daß die Angaben in diesem Vordruck korrekt und vollständig sind. Der Versand der kontaminierten
Vakuumgeräte und -komponenten erfolgt gemäß den gesetzlichen Bestimmungen.
Firma/Institut: ______________________________________________________________________________________
Straße: _____________________________________ PLZ, Ort: ______________________________________
Telefon: ______________________________________________________________________________________
Fax: _____________________________________ Telex: ________________________________________
Name:
(in Druckbuchstaben)
______________________________________________________________________________________
Position: ______________________________________________________________________________________
Datum: _____________________________________ Firmenstempel : _________________________________
Rechtsverbindliche Unterschrift: _______________________________________________________________________
21

Index
1. Safety Precautions................................ 22
1.1. For Your Orientation......................................................... 22
2. Understanding The Pump ..................... 23
2.1 Main Features................................................................... 23
2.2. Differences Between The Pump Types........................ 23
3. Installation............................................. 24
3.1. Setting Up The Pump And Location .............................. 24
3.2. Connection Of Pumping Stages..................................... 24
3.3. Connecting The Vacuum Side........................................ 24
3.4. Connecting The Exhaust Side ........................................ 25
3.5. Connecting To Mains Power.......................................... 25
4. Operations.............................................. 28
4.1. Important Information ..................................................... 28
4.2. Intermittent Operations................................................... 28
5. What To Do In Case Of Breakdown? ... 29
1. Safety Precautions
☞ Read and follow all the instructions in this manual.
☞ Inform yourself regarding:
☞ Hazards which can be caused by the pump;
☞ Hazards which can arise in your system;
☞ Hazards which can be caused by the medium being
pumped.
☞ Avoid exposing any part of the body to vacuum.
☞ Observe all safety and accident prevention regulations.
☞ Check regularly that all safety requirements are being
complied with.
☞ Do not carry out any unauthorised conversions or
modifications on the pump.
☞ When returning the pump to us please note the shipping
instructions in Section 7.
Proper use
– The Diaphragm Pump MVP 030 may only be used for the
purpose of generating vacuum.
– Do not pump corrosive or explosive gases.
– Do not pump liquids.
– Do not operate the pump in locations where there is an
explosion hazard.
– Accessories other than those named in this manual may
not be used without the agreement of PFEIFFER.
– Do not use the connecting line between the heads of the
pump as a handle.
– The Diaphragm Pump MVP 030 may not be used for the
purpose of generating pressure.
Modifications reserved
22
Page Page
6. Maintenance.......................................... 30
6.1. Precautionary Measures During Maintenance Work 30
6.2. Cleaning And Replacing Diaphragms And Valves...... 30
6.2.1.MZ 2D, MZ 2T.................................................................... 30
6.2.2.Product-Line MD 4........................................................... 31
6.2.3 MD 8/MD 8C...................................................................... 33
7. Service ................................................... 35
8. Technical Data....................................... 36
8.1. Dimensions........................................................................ 37
8.2. Substances Which Come Into Contact With
The Medium ...................................................................... 39
9. Accessories ........................................... 39
10. Spare Parts............................................. 39
Contamination Declaration......................... 41
Conformity Declaration ................... last page
Pictogram Definitions
Danger of personal injury.
Danger of damage to the pump or system.
Danger of burns from touching hot parts.
1.1. For Your Orientation
Instructions in the text
➡ Operating instructions: Here you have to do something!
Symbols used
The following symbols are used throughout in the
illustrations:
V
Vacuum flange
Exhaust flange
Power supply connection
Position numbers
Identical components and accessories parts have the same
position numbers in all illustrations.

2.0. Understanding The Pump
2.1. Main Features
Diaphragm Vacuum Pump MZ 2T
A Membrane head 1
B Membrane head 2
2.1 Exhaust connection
A.1 Vacuum flange
Diaphragm Vacuum Pump MD 4
A Membrane head 1
B Membrane head 2
C Membrane head 3
D Membrane head 4
2.1 Exhaust connection
B
V
E 2.2 2.1 B
V
E Voltage supply
2.2 Exhaust (silencer)
K Capacitor
23 Hose connection
K A.1 A 23
A.1 Vacuum flange
E Voltage supply
2.2 Exhaust (silencer)
L Fan
A1 2.2
2.1
The Diaphragm Vacuum Pumps Series MD4 and MD8 and the
Series MZ2 are three stage and two stage dry compressing
pumps respectively. This means that any medium being pumped
is not brought into contact with lubricating agents.
The pumps are of the displacement type where the movement
of the diaphragm causes a periodic change in the size of the
working chamber. The flow of gas causes the self-acting valves
to open and close.
The pumping units are directly connected to the drive motor
D
C
Diaphragm Vacuum Pump MD8
72 Vacuum flange
N Power switch
T Handle
72 T N
V
2.2. Differences Between The Pump Types
Typ Number Max. volume Final pressure Gas
of flow rate ballastcylinders
(m3 /h) (total, without valve
50/60 Hz gas ballast)
MZ 2T 2 2,1/2,5 5 mbar ja*
MZ 2D 2 2,1/2,5 5 mbar
MD 4C 4 3,0/3,5 2 mbar
MD 4TC 4 3,0/3,5 2 mbar ja
MD 4 4 3,3/3,8 2 mbar
MD 4T 4 3,3/3,8 2 mbar
MD 4RL 4 3,3/3,8 2 mbar
MD 4TRL 4 3,3/3,8 2 mbar
MD 8** 4 6,5/7,6 2 mbar
* From serial number: 204 65 500.
** Up to 11.2m3/h nominal volume flow rate possible where the
diaphragm heads are arranged in parallel.
Pump versions
Standard version = MZ 2D, MD 4, MD 8.
T - version = Pump for Turbomolecular Pumping Stations.
C - version = Pump in corrosive gas version.
TC - version = Pump in corrosive gas version for
Turbomolecular Pumping Stations.
RL - version = Pump with reduced leak rate.
TRL- version = Pump with reduced leak rate for
Turbomolecular pumping stations.
Pump in corrosive gas version are distinguished from the aforementioned
standard versions by the use of corrosive gas
resistant materials in the working chamber which comes into
contact with the media (see Section 8.2 for such materials).
To avoid condensation in the pump, the MZ 2T as from serial
number 204 65 500 are fitted with a gas ballast valve as
standard.
23

3. Installation
3.1. Setting Up The Pump And Location
24
Be sure to select the correct pump version where
the pumping of possibly aggressive media are
involved.
➡ Place pump on a smooth, even surface.
➡ Anchor the pump if it is to be erected in a stationary position.
– Avoid mechanical stresses due to rigid connections. Insert
elastic hoses or resilient elements as couplings between
the pump and rigid pipes.
➡ Maximum ambient temperature +12 ... +40 °C.
➡ Where rack installation is involved, ensure adequate ventilation.
3.2. Connection of Pumping Stages
➡ Check the hose connections for the correct type of
connecting pieces before connecting the pump to the
vacuum chamber.
– Intake and outlet connections are marked with “IN” and
“EX” respectively at the membrane heads.
Interchanging the connections will result in
impermissibly high over-pressure levels.
MD 4-product line
The pump is equipped with four separately operating
diaphragm pumps A, B, C, D which are connected via hoses
to form a three-stage vacuum pump.
– The intake connection unit A.1 is at A-IN and B-IN.
– The pressure connection from A-EX, B-EX is at intake
connection C-IN. This means that A and B operate
synchronously. Non-return valves ensure that the two intake
and pressure ports are closed to one another so there
is no risk of pressure equalisation.
– C-EX is connected to D-IN. Depending on the pump
version, the exhaust side 2.1. of the MD4 is fitted with with
a corrugated hose DN 10, a silencer or a small flange DN
16 ISO-KF.
MZ 2D, MZ 2T
The pump functions on the two stage principle.
On the two diaphragm heads A and B the intake connection is
marked with an “IN” and the exhaust connection with an
“EX” to prevent confusion. The exhaust sides of the MZ 2D
and the MZ 2T are provided with silencers.
MD 8/MD 8C
The pump is equipped with eight separately operating pump
heads which are connected via connection hoses to form a
three-stage diaphragm vacuum pump.
Flow rates of max. 11.2 m 3 /h or final vacuums of approx. 2
mbar can be achieved by arranging the total of eight pump
heads in parallel connection. The inlet is marked „IN“ and the
outlet is marked „EX“. The standard version has mounted a
silencer on the outlet.
MD 4T
A.1 Vacuum flange, G1/4“
IN Vacuum flange at membrane heads
A Membrane head 1
B Membrane head 2
C Membrane head 3
D Membrane head 4
2.1 Exhaust connection
3.3. Connecting The Vacuum Side
EX Exhaust connection at
membrane heads
E Voltage supply
2.2 Exhaust (silencer)
28 Hose connection
– Remove locking cap on intake connection.
– Make connection between the vacuum system and pump
as short as possible.
– Connect pump with intake connection to the apparatus.
– If liquid - which would generate vapours - is present in the
system to be evacuated, a condensate trap must be fitted
upstream of the pump.

3.4. Connecting The Exhaust Side
Pressure can rise to dangerous levels in exhaust
lines. Therefore, lay exhaust side lines without
shut-off units. Do not connect the exhaust side
with a closed system on account of the danger
of bursting. For the maximum counter pressure
values at the exhaust please refer to Section 8, Technical
Data.
– If, for internal operating reasons, a shut-off unit has been
fitted or if there is a danger that over-pressures can build
up in the lines, the local accident prevention regulations
must be observed.
ACHTUNG
In certain applications, exhaust gases and
vapours can be very hot and represent a health
and/or environment hazard.
➡ Lay lines from the pump sloping downwards so that
condensate cannot run back into the pump, otherwise fit a
separator.
3.5. Connecting To Mains Power
The pump is driven by AC motors with the following possible
variants:
Power connections must comply with local
regulations. Voltage and frequency information
given on the rating plate must correspond to the
mains voltage and frequency values. The pump
may only be connected to mains current with
earthed conductor.
Pump versions where the thermostatic winding
protection protrudes must be appropriately
wired to ensure the motor is protected.
– Where single phase motors with self-locking coil
protection are involved, for safety reasons the pump
should only be re-started after cooling down once it has
been momentarily disconnected from the mains.
In the three phase current version (only MD 8), the all pole
switching overload protection has to be reset manually.
Diaphragm pumps should be connected in the pumping station
as per Wiring Diagram PM 041 940 -S or PM 041 532-S.
Circuit diagram MZ 2-, MD 4 product-line
Circuit diagram MD 8 with single-phase alternating current motor
Circuit diagram MD 8 with three-phase current motor
Thermostatic cutout
Fan
25

26
Wiring Diagram PM 041 940-S
1 Cooling Water Monitor TCW
2 Backing pump
3 Air Cooling, or TZK cooling unit
3a Air Cooling can be connected
directly with the TCP connector
4 Heating, turbopump
6 Venting Valve TSF 012
8 Connection turbo-TCP
16 Pumping station control unit
17 Turbomolecular drag pump
18 Electronic Drive Unit TCP
1) Remove bridge when connecting a TCW
2) 1/3 closed at room temperature ≤ 24°C
3) Bridge closed if remote control connected

Legend for Wiring DiagramPM 041 532-S
X12 Connection, backing pump
X25 Connection, electronic drive unit
(control signals)
X26 Connection, backing pump safety valve
V Backing pump
L Air cooling
T Electronic drive unit
F Venting valve
X1 Connection, venting valve
X2 Connection, air cooling
X5 Output socket strip TCP
X8 Mains connection for Electronic
Drive Unit TCP 015
27

4. Operations
4.1. Important Information
28
Use only “C” version pumps where the pumping
of corrosive gases is involved.
The diaphragm and valves will suffer damage if
fluids are pumped over lengthy periods!
Before starting, ensure that impermissibly high
pressures cannot build up on the pressure side.
Interchanging the connections causes
dangerous excess pressure levels.
Do not start the pump if pressure difference
between inlet and outlet exceeds max. 1 bar. Attemps to start
pump at higher differential pressure may cause the motor to
jam and damage may result.
When the pump is running, surfaces and motor
casing become hot.
Please note:
The pump attains the stated values for throughput rates and
final pressure levels only once the operating temperature is
reached (after approximately 15 minutes).
– The pump can be switched on and off at all times.
– The intake connections and the outputs are marked with
V and respectively.
– If the pump is subjected to condensates it should be
allowed to run for a few minutes under atmospheric
pressure before switching off.
4.2 Intermittent Operations
To prolong the life of diaphragm pumps, intermittent
operations can be selected with lesser gas throughputs of
< 0.18 mbar l/s. This means that, dependent on the TMP
power take-up, the backing pump will be switched on and off.
TMP power take-up is dependent on the fore-vacuum pressure
and gas throughput.
– By comparing the power take-up with an upper and a
lower limit value, the relative switch-on duration with
lesser gas throughputs can be reduced to approx. 1 to 60%
– To avoid too frequent switching on, the buffer volume in
the fore-vacuum line should amount to ≥ 0.5 liter from
approx. 0.018 mbar l/s.
Possible intermittent operations variations are shown in the
following diagram:

5. What To Do In The Case Of Breakdowns ?
Problem Possible cause Remedy
Pump does not attain final pressure • Condensate in the pump • Run pump for a longer period under
atmospheric pressure
• Valves/diaphragms • Clean or replace valves and diaphragms,
defective/dirty see section 6.
• Leak in system • Repair leak
Unusual operating noises • Valves/diaphragms defective • See maintenance in section 6.
• Dirt in the working chamber • Clean working chamber.
• Silencer loose or missing • Check silencer; clean or replace.
• Valves defective • Change valves.
• Motor fan defective • Change motor fan.
• Con-rod or motor bearing defective • Inform Pfeiffer-Service.
Pump does not start • No mains voltage • Check control voltage (see section 3.5.)
• Phase failure • Check fuse.
• Motor contactor switch has • Allow the motor to cool down and
been tripped. depress protection switch.
• Ambient temperature < 12 °C • Warm pump
• Dirty valves/diaphragms • See maintenance in section 6.
• Over-pressure in the exhaust line • Open exhaust line (open exhaust valve).
Pump switches off • Sticking diaphragms • Clean pump (see section 6.)
• Wrong mains voltage • Correct as per rating plate
29

6. Maintenance
All pump bearings are arranged outside the working
chamber, are enclosed and have lifetime lubrication. Under
normal operating conditions the pumps need no servicing.
It is not necessary to check the operating fluid. Valves and
diaphragms are subject to wear and tear. At the latest when
the attained pressure levels begin to deteriorate the working
chamber, the diaphragms and the valves should be cleaned
and checked for cracks.
6.1. Precautionary Measures During
Maintenance Work
Whenever working on the pump ensure the
motor cannot get switched on.
If necessary, remove pump from the system for
inspection. Before dismantling allow the pump
to cool down.
➡ Only dismantle the pump as far is necessary to effect
repairs; only use genuine parts as per the spare parts list
when carrying out inspection work.
➡ Use only benzin or the like for cleaning. Do not use
solvents.
30
Ensure compliance with local regulations when
working with solvents.
Toxic gases and vapours can arise when carry-
WARNUNG
ing out inspection work on corrosive gas version
pumps (“C”). Pumps must be
decontaminated before inspection. Only
qualified personnel are permitted to carry out
maintenance and repair work and the regulations must be
observed.
6.2. Cleaning And Replacing Diaphragm And
Valves
6.2.1. MZ 2D, MZ 2T.
➡ Allow the pump to cool down before beginning
dismantling.
➡ Detach the pump from the pumping system and ensure the
motor cannot get switched on.
➡ Screw off hose connection between the pump stages.
➡ Remove the cheesehead screws 26 (four per pump stage).
➡ Remove housing cover 1 with head cover 2 taking care to
prevent head cover 2 falling out of housing cover 1.
➡ Check diaphragm pair 10 for damage and replace as
necessary.
– Remove head cover 2 from housing cover 1 to check valve
seals 11.
– Taking care with the position of valve seals 11, remove and
check for damage, and replacing if necessary.
– Clean all parts.
– Re-assemble pump in reverse order.
MZ 2T, MZ 2D
1 Housing cover
2 Head cover
2.2 Silencer
2.3 Sealing ring
3 Diaphragm spring washer
4 Con-rod
5 Housing
6 Housing panel
7 Excenter bushing with counterweight
8 Cheesehead screw
9 Diaphragm support washer
10 Double diaphragm
11 Inlet and outlet valve seal
13 Grooved ball bearing
16 Countersunk screw
17 Countersunk screw
19 Tolerance ring
25 Spacer
26 Cheesehead screw
30 Stud with hose nipple
O-ring
17 7 4 25 4 8 2.2 2.3
11
16
6 13 19 5 10
26 2.3 30
1
2
3
9

Changing the Diaphragm
➡ Dismantle pump stage as per Section 6.2.1.
➡ Remove screw 16. Caution, this screw has been stuck to
make secure against loosening.
➡ The underlying diaphragm support washer 9 must be
removed with the utmost care.
➡ Unscrew housing panel 6.
It is possible that spacers have been fitted
between the drive con-rod and the diaphragm
support washer for the purpose of compensation.
These spacers must be re-fitted at the same
height.
➡ If it is difficult to part the old diaphragm from support washer
9, apply e.g. naphtha or paraffin.
➡ If necessary, re-fit spacers under the lower diaphragm
support washer 9. Fix in place with a little grease to
prevent them falling down.
➡ Fit new diaphragm 10 and diaphragm support washer 9.
Please note:
The diaphragm is a double diaphragm of total thickness 1.6
mm. The diaphragms are specially selected and are supplied
in pairs with a maximum tolerance of 1.6 ± 0.05 mm. Replacement
diaphragms must be selected on the same basis.
➡ Fit diaphragm support washer 3.
➡ Place some adhesive (e.g. Loctite 601) under the head of
screw 16 and screw in diaphragm and spring washer.
➡ Further assembly in reverse order.
Inlet and outlet valve seal 11
6.2.2. Product line MD 4
Cleaning
➡ Detach the pump from the vacuum system and ensure the
motor cannot get switched on.
➡ Unscrew connecting hose between the respective pump
stages.
➡ Remove screws 26 and take off housing cover 1.
➡ Taking care with the position of valve seals 11 (Fig. 9),
remove and check for damage, and replacing if necessary.
➡ Lift up head cover 2 and check diaphragms 10 for wear
and tear and replace as necessary (see Section 6.3.2).
➡ Clean all parts.
➡ Re-assemble pump in reverse order. When assembling,
the pump should be positioned so that the pump stage to
be fitted is on top. The parts are then placed on top into
position.
MD 4
1 Housing cover
2 Head cover
2.2 Silencer
2.3 Seal ring
3 Diaphragm spring washer
4 Con-rod
5 Housing
6 Housing panel
7 Excenter bushing with counterweight
8 Cheesehead screw
9 Diaphragm support washer
10 Diaphragm
11 Inlet and outlet valve seal
13 Grooved ball bearing
16 Countersunk screw
17 Countersunk screw
18 Cheesehead screw
19 Tolerance ring
25 Spacer
26 Cheesehead screw
27 Connection, intake flange
31

Changing the Diaphragms on MD 4, MD 4T.
➡ Dismantle pump stages as per Section 6.2.2.
➡ Remove screw 16. Caution, this screw has been stuck into
position and sealed.
➡ Screw off screws 17 and remove housing panel 6.
➡ Remove diaphragm 10. The diaphragms are usually stuck
to the housing and should be carefully pushed out from the
con-rod space by hand.
It is possible that spacers have been fitted
between the drive con-rod and the diaphragm
support washer for the purpose of compensation.
These spacers must be re-fitted at the same
height. They must not be interchanged with
another stage.
➡ If the old pair of diaphragms 10 cannot be parted from diaphragm
support washer 9, apply naphtha or paraffin.
➡ Clean the parts in naphtha and check for wear and tear,
replacing defective parts as necessary.
➡ If necessary, re-fit spacers under
the lower diaphragm support washer 9. Fix in place with a
little grease to prevent them falling down.
➡ Fit diaphragm support washer 9 onto con-rod 4.
➡ Fit new pair of diaphragms 10.
Please note:
The diaphragm is a double diaphragm of total thickness 1.6
mm. The diaphragms are specially selected and are supplied
in pairs with a maximum tolerance of 1.6 ± 0.05 mm. Replacement
diaphragms must be selected on the same basis.
➡ Fit diaphragm support washer 9.
➡ Place some adhesive (e.g. Loctite 601) under the head of
screw 16 and screw in diaphragm and spring washer.
➡ Further assembly as per Section 6.2.2.
Changing the Diaphragms on MD 4TC
➡ Dismantle pump stages as per Section 6.2.2.
➡ In addition, the front housing cover panel 6 must be
dismantled.
➡ Using a standard trade face spanner (size 40/4) turn
diaphragm support washer 9 thereby loosening diaphragm
10.
➡ Remove diaphragm spring washer
3 with square connecting
screw 14, diaphragm 10 and diaphragm support washer 9.
➡ Check that square connecting
screw 14 is still firmly positioned in diaphragm spring washer
3 and tighten if necessary (left-hand thread).
32
➡ Fit new diaphragm 10 between diaphragm spring washer 3
and diaphragm support washer 9.
➡ Refit diaphragm 10 with spring washer and support washer
in reverse order.
➡ Fit housing cover 6.
➡ To fit the PTFE connecting hose, tighten the metal lock nut
by hand and then by a half a turn with an Allen key.
MD4T, MD 4TC.
1 Housing cover
2 Head cover
3 Diaphragm spring washer
4 Con-rod
5 Housing
6 Housing panel
7 Excenter bushing with counterweight
8 Cheesehead screw
9 Diaphragm support washer
10 Double diaphragm
11 Inlet and outlet valve seal
12 Bow-shaped handle
13 Grooved ball bearing
14 Connecting screw
17 Countersunk screw
18 Cheesehead screw
19 Tolerance ring
20 Cylinder bolt
21a Housing cover (inner part) left
21b Housing cover (inner part) right
23 Motor
25 Spacer
26 Cheesehead screw

Changing The Diaphragms On The MD 4RL, MD 4TRL
Pumps with reduced leak rates contain a modified head cover
with an additional washer in the groove of the head cover.
6.2.3. MD 8/MD 8C
Cleaning
➡ Use a fork wrench (SW 17) to loosen the screwed fittings
8.4. on all pump heads.
- It is not necessary to dismantle the connecting hoses on
the screwed fittings on the manifold.
➡ Remove the connection hose(s) between the intake side 72
and pressure side 8.5 manifold after loosening screwed fitting
8.10 with a fork wrench (SW 15).
➡ Use a recessed-head screwdriver to unscrew countersunk
screws 8.1. and 73 and then remove pressure and intake
side manifolds with all component parts.
➡ Check all pump heads, one after the other, in the following
manner:
➡ Unscrew the four cheesehead screws 8.16 on the pump
heads with an Allan key (SW 5) and remove the housing
upper part (housing cover 8.17 with head cover 8.19.);
- take care here to prevent the head cover falling out from
the housing cover.
➡ Check the double diaphragm 10 for damage and replace as
necessary.
➡ Remove head cover 8.19. from housing cover 8.17 in order
to check the valves. Check the position of valves 11 and
remove. In the case of damage, replace.
➡ If the parts are dirty clean with benzine or a technical solvent.
➡ Assemble the housing upper part in reverse order.
Changing the Diaphragms on MD 8/MD 8C
As already described:
➡ Loosen the screwed fittings 8.4. and remove the
connection hose(s) between the intake side and the
pressure side manifolds.
➡ Use a recessed-head screwdriver to unscrew countersunk
screws 8.13. and remove housing panel 8.14. with the
respective manifolds and component parts.
➡ As already described:
- Dismantle the housing cover with internal parts on the
pump heads.
➡ Use a recessed-head screwdriver to unscrew countersunk
screw 16 (size 2) in the center of the diaphragm tension
disk 3.
Caution:
The securing screw has been provided with an adhesive to
prevent loosening. Be sure to remove all adhesive remnants
or replace.
➡ If it is difficult to part the old diaphragm 10 from the the
diaphragm supporting disk 9, use benzine or petroleum.
➡ Insert diaphragm supporting disk 9 and new diaphragm 10
and make sure that the diaphragm is the double diaphragm
type (altogether 1.6mm thick).
➡ Insert diaphragm tension disk 3, apply a drop of weak
adhesive (for example, Loctite 932) under the head and to
the thread of the cheesehead screw and finally screw the
diaphragm to the tension disk; during this procedure, look
out for the presence of possible compensating disks.
➡ By turning on the eccentric bush (facing side connecting
rod) bring connecting rod 24 into such a position that the
diaphragm is located on the supporting plate in the
housing opening.
➡ Assemble the housing cover with internal parts and the
housing panel in reverse order.
➡ Check the function of the pump head and the pump (after
fitting the connecting hoses) as described in the previous
section.
33

34
MD8
2.2 Silencer
3 Diaphragm spring washer
8.1 Countersunk screw
8.4 Compression couplings
8.5 Exhaust connection
8.10 Elbow union
8.12 Connection Hose
8.13 Countersunk screw
8.14 Housing panel
8.16 Cheesehead screw
8.17 Housing cover
8.19 Head cover
9 Diaphragm support
washer
10 Diaphragm
11 Inlet and outlet valve
seal
16 Countersunk screw
24 Con-rod
72 Vacuum flange
73 Countersunk screw
8.1 8.10 8.12 8.4 8.5 2.2 8.13 8.14
8.16 8.17 11 8.19 16 3 10 9 24
72 73

7. Service
Do Make Use Of Our Service Facilities
In the event that repairs are necessary a number of options
are available to you to ensure any system down time is kept
to a minimum:
– Have the pump repaired on the spot by our Service
Engineers;
– Return the pump to the manufacturer for repairs;
– Replace with a new value pump.
Local PFEIFFER representatives can provide full details.
Before returning:
➡ Please attach a clearly visible notice "Free of harmful
substances" (both on the unit and also on the delivery note
and any accompanying letters).
"Harmful substances" are substances and preparations as
defined in the current harmful substances regulations and in
the U.S.A. as ”materials in accordance with the Code of
Federal Regulations (CFR) 49 Part 173.240 Definition and
Preparation“.
We will carry out the decontamination and invoice this work
to you if you have not attached this note. This also applies
where the operator does not have the facilities to carry out
the decontamination work. Units which are contaminated
microbiologically, explosively or radioactively cannot be
accepted as a matter of principle.
Fill Out The Declaration Of Contamination
➡ In every case the "Declaration Of Contamination" must be
completed diligently and truthfully.
➡ A copy of the completed declaration must accompany the
unit: any additional copies must be sent to your local
PFEIFFER Service Center.
Please get in touch with your local PFEIFFER representatives
if there are any questions regarding contamination.
Decontaminate units before returning or
possible disposal. Do not return any units which
are microbiologically, explosively or radioactively
contaminated.
Returning Contaminated Units
If contaminated have to be returned for maintenance/repair,
the following instructions concerning shipping must be
followed:
➡ Neutralise the pump by flushing with nitrogen or dry air.
➡ Seal all openings to the air.
➡ Seal pump or unit in suitable protective foil.
➡ Ship units only in appropriate transport containers.
Please Note:
Repair orders are carried out according to our general conditions
of sale and supply. If repairs are necessary, please send
the unit to your nearest PFEIFFER Service Center.
Contact Addresses And Service Hotline
Contact addresses and telephone numbers can be found on
the back cover of these operating instructions.
35

8. Technical Data
Size Unit MZ 2T 2)
MZ 2D 1)
MD 4 1)
MD 4T 2)
Connections
Intake side1) Pressure side
G 1/4“ DN 16 ISO-KF DN 16 ISO-KF G 1/4“
2) Silencer Silencer Silencer Silencer
Number of cylinders 2 2 4 4
Nominal volume flow rate at
50 Hz m3 60 Hz
/h
m
2,1 2,1 3,3 3,3
3 /h 2,5 2,5 3,8 3,8
Final pressure, absolut mbar < 5 < 5 2 2
Permissible exhaust pressure
Max. permissible gas- and
mbar 1100 1100 1100 1100
environment temperature
Overload protection
°C + 10 ... + 40 + 10 ... + 40 + 10 ... + 40 + 10 ... + 40
(with enclosed temperature switch ) °C + 155 + 155 + 155 + 155
Noise level dB(A) ca. 49 ca. 49 ca. 52 ca. 52
Motor (insulation material class B)
Power at
IP 54 IP 54 IP 20 IP 20
120 V 60Hz W
220 ... 240V 50/60Hz W 180 180 200 200
Nominal rotation speed at 50/60 Hz
Power take-up at
1/min 1500/1800 1500/1800 1500/1800 1500/1800
120 V, 60Hz A 3,1 3,1 3,6 3,6
220 ... 240V, 50/60Hz A 1,4/1,6 1,4/1,6 1,6/1,8 1,6/1,8
Weight, approx. kg 10,1 10,1 15,5 15,5
1) Pump with switch and mains cable
230V, 50/60 Hz (with Euro plug),
120V, 60 Hz (with UL plug).
2) Pump without switch with 5 core mains cable but without plug,
230V, 50/60Hz
120V, 60 Hz
36
3) Hose nipple for hose with 10 mm inner diameter
Größe Einheit MD 4C 1)
MD 4TC 2)
MD 4RL MD 4TRL
Anschlüsse
Saugseite1) DN 10 S 3)
Druckseite
NPT 1/8“ DN 16 ISO-KF DN 16 ISO-KF
2) DN 10 S 3
DN 10 S 3
DN 16 ISO-KF DN 16 ISO-KF
Zylinderzahl 4 4 4 4
Max. Saugvermögen bei
50 Hz m3 60 Hz
/h
m
3,0 3,0 3,3 3,3
3 /h 3,5 3,5 3,8 3,8
Enddruck,absolut mbar 2 2 2 2
Zulässiger Auspuffdruck mbar 1100 1100 1100 1100
Integral leak rate mbar l/sec < 5 • 10 -4
< 5 • 10 -4
Max. zulässige Gas- und
Zul. Umgebungstemperaturbereich
Überlastungsschutz
°C + 10 ... + 40 + 10 ... + 40 + 10 ... + 40 + 10 ... + 40
(Temp.-Schalter eingewickelt) °C + 155 + 155 + 155 + 155
Geräuschentwicklung dB(A) ca. 52 ca. 52 ca. 52 ca. 52
Schutzart
Leistung bei
IP 20 IP 20 IP 20 IP 20
120V/60Hz W
220 ... 240V 50/60Hz W 200 200 200 200
Nenndrehzahl bei 50/60 Hz
Stromaufnahme bei
1/min 1500/1800 1500/1800
120V/60Hz A 3,6 3,6 3,6 3,6
220 ... 240V 50/60Hz A 1,6/1,8 1,6/1,8 1,6/1,8 1,6/1,8
Gewicht, ca. kg 16,2 16,2

Größe Einheit MD 8/MD 8C
Anschlüsse
Saugseite, Schlauchwelle/KF DN 20/25
Druckseite Schalldämpfer
Zylinderzahl
Max. Saugvermögen bei
50 Hz m 3 /h 6,5
60 Hz m 3 /h 7,6
Enddruck,absolut mbar 2
Zulässiger Auspuffdruck mbar 1100
Integral leak rate 4)
mbar l/sec < 5 • 10 -4
Max. zulässige Gas- und
Zul. Umgebungstemperaturbereich
Überlastungsschutz
°C 40
(einphasig/Drehstrom) Thermal self-resetting/
all pole switching off with overload.
Geräuschentwicklung dB(A) 52
Schutzart
Leistung bei
IP 20
220 ... 240V 50Hz W 370
Nenndrehzahl bei 50/60 Hz
Stromaufnahme bei
1/min 1500/1800
100V, 50/60Hz A 6,6/5,7
110-115V, 50/60Hz A 6,0/5,7
220-240V, 50/60Hz A 3,0/2,6
220/380V, 50Hz, 3-phasig A 1,95/1,1
220/380V, 60Hz, 3-phasig A 1,72/1,0
Gewicht, ca. kg 25
4)
only for pumps with reduced leak rate (RL-version)
8.1. Maßbild
MZ 2T
37

38
MD 4T
Klammerwert gilt für MD 4TC
MD 8

8.2 Substances Which Come Into Contact
With The Medium
Standard version MZ 2T and MD 4T
Pump components Substances in contact with the
media
Double diaphragm (1.6 mm thick) FPM (Viton), reinforced
Diaphragm spring washer Aluminium alloy
Head cover Aluminium alloy
Valves FPM (Viton)
Housing cover Aluminium alloy
Fittings Aluminium alloy, anodised
Connecting hose Polyamide
Hose nipple Polyamide
Seals Steel/FPM (Viton)
Countersunk screw
(diaphragm spring washer) Stainless steel
Silencer Aluminium/PE
Intake port Stainless steel
Corrosive gas version pump MD 4TC
Pump components Substances in contact with the
media
Diaphragm (1,2 mm thick) PTFE coated,
reinforced Neopren
Diaphragm spring washer ECTFE (Halar), coated stainless
steel
Head cover Reinforced PTFE
Valves Perfluoro-elastomer (Kalrez)
Housing cover, inner part Reinforced PTFE
Fittings ETFE (Tefzel)
Connecting hose PTFE
Hose nipple ETFE (Tefzel)
Intake port Stainless steel
9. Accessories
Pos. Description Typ of Pump Order-No.
27 Intake flange, DN 10 ISO-KF P0 988 086
Small flange connection DN 16 MZ 2T P0 990 775
Small flange connection DN 10 MD 4TC P0 988 087
Small flange with hose nipple DN 16/DN 10 MD 4T BP 217 453
Hose Ø 10 mm (by the meter) MZ 2T P0 988 088
MD 4T P0 988 088
MD 4TC P0 988 734
10.Spare Parts
Standard version MD 8
Pump components Substances in contact with the
media
Housing cover, head cover Aluminium alloy (AlSi12)
Diaphragm spring washer Aluminium alloy (AlSi12)
Countersunk screw
(Diaphragm spring washer) Stainless steel
Diaphragms, valves FPM (Viton ®)
Intake port Aluminium alloy
Silencer Aluminium/PE
Hoses Polyamide PA 6
Fittings Aluminium alloy, anodised
(AlCuMgPb)
Seals PVC
Spare part list MZ 2D (standard version), MZ 2T
Pos. Description Pieces No.
Set of seals Pos. 2.3, 10, 11 PM 006 817 -T
Gas ballast valve; only for MZ 2T 1 P 0920 634 E
2.2 Silencer 1 P0 920 412 E
2.3 PVC seal 4 P0 920 409 E
10 Double diaphragm 2 P0 920 407 E
11 Inlet and outlet valve seal 4 P0 920 408 E
23 Hose connection 1 P0 920 542 E
Rubber foot 3 P 3695 700 ZG
39

40
Spare parts list MD 4 (standardversion), MD 4T
Pos. Description Pieces No.
Set of seals Pos. 10, 11, 2.3 PM 006 817 -T
Gas ballast valve; only for MD 4T 1 P0 920 634 E
10 Double diaphragm 4 P0 920 407 E
11 Inlet and outlet valve seal 8 P0 920 408 E
2.2 Silencer 1 P0 920 412 E
2.3 PVC seal 30 P0 920 409 E
28 Set of hose connection (see Section 2.1) 1 P0 920 410 E
38 Fan 220-240 V 1 P0 920 416 E
38 Fan 110-115 V 1 P0 920 417 E
Elbow union, short form 1 P0 989 962
Elbow union, long form 1 P0 988 649
1 Housing cover 1 P0 990 484
Spare parts list MD 4C, MD 4TC (corrosiv gas version pump)
Pos. Description Pieces No.
Set of seals Pos. 10, 11 PM 006 818 -T
10 Double diaphragm II 4 P0 920 427 E
11 Inlet and outlet valve seal II 8 P0 920 428 E
28 Set of hose connection 1 P0 920 429 E
38 Fan 220-240 V 1 P0 920 416 E
38 Fan 110-115 V 1 P0 920 417 E
Spare parts list MD 4RL, MD 4TRL
Pos. Description Pieces No.
Set of seals Pos. 8x11,4x10 PK 050 051-T
Set of seals, coated Pos. 8x11,4x10 PK 050 101-T
1 Housing cover 1 P 0990 484
3 Diaphragm spring washer 1 P 0920 430 E
9 Diaphragm support washer 1 P 0920 531 E
10 Double diaphragm 4 P0 920 535 E
11 Inlet and outlet valve seal 8 P0 920 408 E
2.2 Silencer 1 P0 920 412 E
2.3 PVC seal 30 P0 920 409 E
28 Set of hose connection 1 P0 920 410 E
38 Fan 110-115 V 1 P0 920 417 E
38 Fan 220-240 V 1 P0 920 416 E
Motor 110...115 V 1 P0 920 419 E
Motor 230 V/50...60 Hz 1 P0 920 418 E
Motor 110 V 1 P0 920 420 E
Spare parts list MD 8, MD 8C
Pos. Description Pieces No.
Set of seals, MD8 PK 050 102-T
Set of seals, MD 8C PK 050 103-T
2.2 Silencer 1 P0 920 412 E
10 Double diaphragm I 8 P0 920 407 E
10 Double diaphragm II, corrosiv gas version 8 P0 920 427 E
11 Inlet and outlet valve seal 16 P0 920 408 E
11 Inlet and outlet valve seal II, corrosiv gas version 16 P0 920 428 E
38 Fan 110-115 V 1 P0 920 417 E
38 Fan 220-240 V 1 P0 920 416 E
When ordering accessories and spare parts please be sure to state the full part number. When ordering spare parts please state
additionally the unit type and unit number (see rating plate). Please use this list as an order form (by taking a copy).

Declaration of Contamination of Vacuum Equipment and Components
The repair and/or service of vacuum components will only be
carried out if a correctly completed declaration has been
submitted. Non-completion will result in delay.
This declaration can only be completed and signed by authorised and qualified staff:
1. Description of component:
- Equipment type/model: _________________________
- Code No.: __________________________
- Serial No.: __________________________
- Invoice No.: __________________________
- Delivery Date: __________________________
3. Equipment condition
- Has the equipment been used?
yes ❐ no ❐
- What type of pump oil was used?
___________________________________________
Tradename Chemical name Danger class Precautions associated Action if spillage or human
Product name (or Symbol) with substance contact
Manufacturer
1.
2.
3.
4.
5.
- Is the equipment free from potentially harmful
substances?
yes ❐ (go to section 5)
no ❐ (go to section 4)
5. Legally Binding Declaration
The manufacturer could refuse to accept any equipment
without a declaration.
2. Reason for return:
_____________________________________________
_____________________________________________
_____________________________________________
_____________________________________________
_____________________________________________
4. Process related contamination
of equipment
- toxic yes ❐ no ❐
- corrosive yes ❐ no ❐
- microbiological hazard*) yes ❐ no ❐
- explosive*) yes ❐ no ❐
- radioactive*) yes ❐ no ❐
- other harmful substances yes ❐ no ❐
*) We will not accept delivery of any equipment that has been radioactively or microbiologically contaminated without written
evidence of decontamination!
Please list all substances, gases and by-products which may have come into contact with the equipment:
I hereby declare that the information supplied on this form is complete and accurate. The despatch of equipment will be in
accordance with the appropriate regulations covering Packaging, Transportation and Labelling of Dangerous Substances.
Name of Organisation: _______________________________________________________________________________
Address: _____________________________________ Post code: _____________________________________
Tel.: ______________________________________________________________________________________
Fax: _____________________________________ Telex: ________________________________________
Name: ______________________________________________________________________________________
Job title: ______________________________________________________________________________________
Date: _____________________________________ Company stamp: ________________________________
Legally binding signature: _____________________________________________________________________________
41

Konf.I/9604
➪ DE, AT
Pfeiffer Vacuum GmbH
Konformitätserklärung im Sinne folgender EU-Richtlinien:
- Maschinen 89/392/EWG
Emmeliusstr. 33
- Elektromagnetische Verträglichkeit 89/336/EWG
D-35614 Asslar
- Niederspannung 73/23/EWG
Hiermit erklären wir, daß das unten aufgeführte Produkt den Bestimmungen der EU-Maschinenrichtlinie 89/392/EWG - Anhang IIA, der EU-Richtlinie über
elektromagnetische Verträglichkeit 89/336/EWG und der EU-Niederspannungsrichtlinie 73/23/EWG entspricht.
Die angewandten Richtlinien, harmonisierten Normen, nationalen Normen und Spezifikationen sind unten aufgeführt.
➪ GB, IE
Declaration of conformity pursuant to the following EU directives:
- Machinery Directive 89/392/EEC
- Electromagnetic Compatibility Directive 89/336/EEC
- Low Voltage Directive 73/23/EEC
We hereby certify that the product specified below is in accordance with the provision of EU Machinery Directive 89/392/EEC - Annex II A, EU Electromagentic
Compatibility Directive 89/336/EEC and EU Low Voltage Directive 73/23/EEC.
The guidelines, harmonised standards, national standards and specifications which have been applied are listed below.
➪ BE, FR
Déclaration de conformité conformément aux directives CE suivantes:
- directive machine CE 89/392/CEE
- directive CE 89/336/CEE concernant la compatibilité électromagnétique
- directive CE 73/23/CEE concernant la basse tension
Nous déclarons par la présente que le produit mentionné ci-dessous répond bien aux dispositions de la directive machine CE 89/392/CEE - appendice II A, la
directive CE 89/336/CEE concernant la compatibilité électromagnétique et la directive CE 73/23/CEE concernant la basse tension. Les directives appliquées, normes
harmonisées et les normes et spécifications nationales appliquées figurent ci-dessous.
➪ IT
Dichiarazione di conformità ai sensi delle seguenti direttive UE:
- Macchinari 89/392/CEE
- Compatibilità elettromagnetica 89/336/CEE
- Bassa tensione 73/23/CEE
Si dichiara che il prodotto qui menzionato rispetta le disposizioni della direttiva UE sui macchinari 89/392/CEE - Appendice II A - della direttiva UE sulla compatibilità
elettromagnetica 89/336/CEE e della direttiva UE sulla bassa tensione 73/23/CEE. Sono riportate in basso le direttive aplicate, le norme standardizzate nonché
le norme e le specifiche nazionali utilizatte.
➪ ES
Declaración de conformidad al tenor de las siguientes Directivas de la UE:
- Maquinarias 89/392/MCE
- Compatibilidad Electromagnética 89/336/MCE
- Baja Tensión 73/23/MCE
Por la presente declaramos que el producto mencionado más abajo concuerda con las disposiciones resultantes de la Directiva 89/392/MCE de la UE sobre
Maquinarias - Apéndice IIA, la Directiva 89/336/MCE de la UE sobre Compatibilidad Electromagnética y la Directiva 73/23/MCE de la UE sobre Baja Tensión. Las
directivas aplicadas, normas armonizadas y las normas y especificaciones nacionales aplicadas se mencionan abajo.
➪ NL
Verklaring inzake de conformiteit in de zin van de volgende EU-richtlijnen:
- machinerichtlijn 89/392/EEG
- richtlijn over elektromagnetische compatibiliteit 89/336/EEG
- richtlijn over laagspanning 73/23/EEG
Hiermee verklaren wij dat het hieronder genoemde produkt voldoet aan de bepalingen van de EU-machinerichtlijn 89/392/EEG - appendix II A, de EU-richtlijn
over elektromagnetische compatibiliteit 89/336/EEG en de EU-richtlijn over laagspanning 73/23/EEG.
De toegepaste richtlijnen, geharmoniseerde normen en de toegepaste nationale normen en specificaties zijn hierna aangegeven.
➪ DK
EF-konformitetserklæring i henhold til følgende EU-direktiver:
- Maskiner 89/392/EWG
- Elektromagnetisk kompatibilitet 89/336/EWG
- Lavspænding 73/23/EWG
Hermed erklærer vi, at det nedenstående produkt er i overensstemmelse med bestemmelserne i EU-maskindirektiv 89/392/EWG - tillæg II A, Eu-direktiv vedrørende
elektromagnetisk kompatibilitet 89/336/EWG og EU-lavspændingsdirektiv 73/23/EWG.
De anvendte direktiver, harmoniserede standarder og de anvendte nationale standarder og specifikationer er angivet nedenfor.
➪ SE
Konformitetsförklaring enligt följande EG-direktiv:
- Maskindirektiv 89/392/EEC
- Elektromagnetisk tolerans 89/336/EEC
- Lågspänning 73/23/EEC
Härmed förklarar vi, att den nedan nämnda produkten stämmer överens med EG’s maskindirektiv 89/392/EEC - annex II A, EG’s direktiv om elektromagnetisk tolerans
89/336/EEC och EG’s lågspänningsdirektiv 73/23/EEC.
De riktlinjer, anpassade standarder, nationella standarder och specifikationer som har blivit accepterade, anges här nedan.

➪ FI
Vaatimustenmukaisuus vakuutus seuraavien EU-direktiivien mukaisesti:
- konedirektiivi 89/392/ETY
- sähkömagneettinen siedettävyys 89/336/ETY
- pienjännite 73/23/ETY
Vahvistamme, täten, että allamainittu tuote vastaa EU-konedirektiivin 89/392/ETY - liite IIA, EU-direktiivin sähkömagneettinen siedettävyys 89/336/ETY ja EU-pienjännitedirektiivin
73/23/ETY vaatimuksia.
Soveltamamme suuntaviitat, harmonisoidut standardit, kansalliset standardit ja rakennemääräykset on luteltu alempana.
➪ PT
Declaração de conformidade, de acordo com as seguintes Directivas CE:
- Máquinas, na redacção 89/392/CEE
- Compatibilidade electromagnética, na redacção 89/336/CEE
- Baixa tensão, na redacção 73/23/CEE
Com a presente, declaramos que o produto abaixo indicado está em conformidade com as disposições pertinentes na Directiva CE para máquinas, na redacção
89/392/CEE - Apêndice II A, na Directiva CE sobre compatibilidade electromagnética, na redacção 89/336/CEE, e na Directiva CE sobre baixa tensão, na
redacção 73/23/CEE. Abaixo, dá-se indicação das directivas aplicadas, das normas harmonizadas e das normas e especificações aplicades no respectivo país.
➪ GR
Produkt/Product/Produit/Prodotto/Producto/Produkt/Produkt/Produto/
MZ 2D, MZ 2T
MD 4, MD 4T, MD 4C, MD 4T/TC, MD 4RL/TRL
MD 8, MD 8C
Angewendete Richtlinien, harmonisierte Normen und angewendete, nationale Normen in Sprachen und Spezifikationen:
Guidelines, harmonised standards, national standards in languages and specifications which have been applied:
Les directives appliquées, normes harmonisées et les normes nationales appliquées en langues et spécifications:
Direttive aplicate, norme standardizzate e norme nazionali utilizzate in lingue e specifiche:
Directivas aplicadas, normas armonizadas y normas nacionales aplicadas en idiomas y especificaciones:
Toegepaste richtlijnen, geharmoniseerde normen en toegepaste nationale normen met betrekking tot talen en specificaties:
Anvendte direktiver, harmoniserede standarder og de anvendte nationale standarder med sprog og specifikationer:
Directivas aplicadas, normas harmonizadas e normas aplicadas na linguagem e nas especificações do respectivo país:
EN 292-2
EN 61010 T.1
pr EN 1012 T.2
EN 55014
EN 50082-1
pr EN 50082-2
EN ISO 9001
Unterschriften/Signatures/Signature/Firme/Firmas/Handtekeningen/Underskrifter/Assinaturas/
Geschäftsführer (W. Dondorf)
Managing Director
Gérant d’affairs
Gerente
Directeur
Administrerende Direktør
Verkställande Direktör
Gerente
DTP
Konf.I/9606 Form.-Nr. 10118 / (9606)

Argentina
ARO S.A., Casilla de Correo 4890,
1000 Buenos Aires, telephone +54 / 1 331 3918,
telefax +54 / 1 331 3572
Australia
Balzers Australia Pty. Ltd., Level 1,
3, Northcliff Street, Milsons Point, NSW 2061,
telephone +61 / 2 9954 1925, telefax +61 / 2 9954 1939
Austria
Pfeiffer Vacuum Austria GmbH
Diefenbachgasse 35, A-1150 Wien,
telephone +43 / 1 8941 704, telefax +43 / 1 8941 707
Service Hotline: +43 / 1 8941704
Belgium / Luxemburg
Pfeiffer Vacuum Belgium N.V./S.A.
Minervastraat 14, B-1930 Zaventem
telephone +32 / 2 725 0525, telefax +32 / 2 725 0873
Service Hotline: +32 / 2 725 3545
Brazil
Elmi Tec
Assistencia Técnica e Representação S/C Ltda.
Rua Bernadino de Compos, 551
CEP 04620-002 São Paulo, SP - Brasil
telephone +55 / 11 532 0740
telefax +55 / 11 535 3598
Chile
BERMAT S.A., Coyancura 2283, piso 6
Providencia, P.O. Box 9781, Santiago
telephone +56 / 2 231 8877,
telefax +56 / 2 231 4294
Colombia
Arotec Colombiana S.A., Carrera 15 No.38-17
P.O. Box 050 862, Santafe de Bogota / D.C.
telephone +57 / 1 288 7799, telefax +57 / 1 285 3604
Denmark
Pfeiffer Vacuum Scandinavia AB, Vesterengen 2,
DK-2630 Taastrup,
telephone +45 / 43 52 38 00
telefax +45 / 43 52 38 50
France
Pfeiffer Vacuum France SAS
45, rue Senouque, BP 139 F-78531 BUC Cedex
telephone +33 / (0)1 30 83 04 00
telefax +33 / (0)1 30 83 04 04
Germany
Pfeiffer Vacuum Vertriebs GmbH,
Emmeliusstrasse 33, D-35614 Asslar
telephone +49 / 6441 802 400
telefax +49 / 6441 802 399
Service Hotline: +49 / 6441 802 333
Great Britain
Pfeiffer Vacuum Ltd.
Bradbourne Drive, Tilbrook,
Milton Keynes, MK7 8AZ, United Kingdom
telephone +44 / 1 908 373 333
telefax +44 / 1 908 377 776
Greece
Analytical Instruments S.A., 1 Mantzarou St.,
GR-15451 Athens,
telephone +30 / 1 674 8973
telefax +30 / 1 674 8978
(0499)
India
Pfeiffer Vacuum India Ltd.
25-E Nicholson Road, Tarbund
Secunderabad 500 009,
telephone +91 / 40 775 0014, telefax +91 / 40 775 7774
Israel
Eastronics Ltd., 11 Rozanis Street, P.O. Box 39 300,
Tel Aviv 61392,
telephone +972 / 3 6458 777,
telefax +972 / 3 6458 666
Italy
Pfeiffer Vacuum Italia S.p.a.
Via San Martino, 44 I-20017 RHO (Milano)
telephone +39 / 2 93 99 051, telefax +39 / 2 93 99 05 33
Japan
Hakuto Co. Ltd., C.P.O. Box 25,
Vacuum & Scientific Instruments Division
Tokyo Central 100-91,
telephone +81 / 3 32 258 910
telefax +81 / 3 32 259 009
Korea
Pfeiffer Vacuum Korea Ltd., 3F Haein Building 453,
Dokok-Dong, Kang Nam-Ku, Seoul, 135-270
telephone +82 / 2 3461 0671/5
telefax +82 / 2 3461 0676
Netherlands
Pfeiffer Vacuum Nederland BV
Veldzigt 30a, NL-3454 PW De Meern,
telephone +31 / 30 6666050, telefax +31 / 30 6662794
Peru
Ing. E. Brammertz S.C.R.L., José Pardo 182,
Apartado 173, PE-18 Miraflores,
telephone +51 / 1 445 8178
telefax +51 / 1 445-1931
Poland
Softrade Sp.z.o.o, ul. Malwowa 35,
PL-60-175 Poznan, telephone +48 / 61 8677 168,
telefax +48 / 61 8677 111
Portugal
Unilaser Lda, Taguspark
Núcleo Central, sala no 268, Estrada Cacém-
Porto Salvo, P-2780 Oeiras
telephone +351 / 1 421 7733
telefax +351 / 1 421 7744
Singapore
APP Systems Services Pte. Ltd, 2 Corporation Road
06-14 Corporation Place, Singapore 618494,
telephone +65 / 268 2024, telefax +65 / 268 6621
Spain
Tecnovac
Tecnologia de Vacio S.L., Ronda de Poniente, 6 Bajo F
Centro Empresarial Euronova
E-28760 Tres Cantos (Madrid)
telephone +34 / 91 804 11 34,
telefax +34 / 91 804 30 91
Sweden
Pfeiffer Vacuum Scandinavia AB
Magasinsgatan 35, Box 10412
S-43424 Kungsbacka
telephone +46 / 300 710 80
telefax +46 / 300 172 85
Service Hotline: +46 / 300 710 85
Zentrale/Headquarters
Pfeiffer Vacuum GmbH
Emmeliusstrasse 33
D-35614 Asslar
Telefon 06441/802-0
Telefax 06441/802-202
Hotline 06441/802-333
Internet:
http://www.pfeiffer-vacuum.de
Switzerland
Pfeiffer Vacuum Schweiz S.A.
Förrlibuckstraße 30, CH-8005 Zürich
telephone +41 / 1 444 2255,
telefax +41 / 1 444 2266
South Africa
Labotec Pty Ltd., P.O. Box 6553,
Halfway House
1685 Midrand
telephone +27 / 11 315 5434
telefax +27 / 11 315 5882
Taiwan
S & T Hitech Ltd. Hsinchu office
No. 103, Hsien Chen 11th Street, Jubei City,
HsinChu County, Taiwan, R.O.C.
(zip/postal code: 302)
telephone +886 / 3 554 1020
telefax +886 / 3 554 0867
Thailand
S & T Enterprises (Thailand) Ltd.
18th Floor, Chokchail Intíl Bldg.
690 Sukhumvit Road
Klongton, Klongtoey
Bangkok 10110
telephone +662 / 259 4623
telefax +662 / 259 6243
U.S.A.
Pfeiffer Vacuum, Inc.
24 Trafalgar Square
Nashua, NH 03063-1988
USA
telephon +1/ 603 578 6500
telefax +1/ 603 578 6550
Venezuela
Secotec S.A., Apartado 3452, Caracas 1010-A,
telephone +58 / 2 573 8687
telefax +58 / 2 573 1932
Other countries
AVI - Applied Vaccuum Industries GmbH
Leginglenstrasse 17A; CH-7320 Sargans
Switzerland
telephon +41 / 81 710 03 80
telefax +41 / 81 710 03 81
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Armenia, Azerbaijan, Bangladesh, Belarus, Bulgaria,
Cambodia, Estonia, Georgia, Hong Kong, Kazakhstan,
Kingdom of Nepal, Kirghizia, Latvia, Lithuania, Maldavia,
Philippines, P.R. China, Rumania, Russia, Tajikistan,
Turkmenistan, Ukraine, Uzbekistan, Vietnam
A.E.M.S.
Advanced Equipment Materials and Systems
P.O. Box 25
Föhrenweg 18
FL-9496 Balzers
telephon +41 / 75 380 0550
telefax +41 / 75 380 0551
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Bahrain, Egypt, Iraq, Iran, Jordan, Kuwait, Lebanon,
Lybia, Oman, Pakistan, Saudi-Arabia, Sudan, Syria, Turkey,
United Arab Emirates, Yemen