DFG-Geräteverzeichnis und -Nutzungsdauer
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Schlüssel Bezeichnung<br />
Membran-Manometer<br />
Quecksilber-Vakuummeter<br />
Tauchsichel-Feindruckmesser<br />
ND<br />
8360 Vakuummeter für Hochvakuum, UHV, thermische Vakuummeter,<br />
Ionisationsvakuummeter<br />
Penning-Vakuummeter<br />
Pirani-Vakuummeter<br />
Wärmeleitungs-Vakuummeter<br />
72<br />
8370 Lecksucher<br />
Massenspektrometer-Lecksuchgeräte<br />
72<br />
8380<br />
Schichtdickenmeßgeräte, Verdampfungs- <strong>und</strong> Steuergeräte (für<br />
96<br />
Vakuumbedampfung,<br />
außer 8330<br />
Elektronenstrahl-Verdampfungsquellen<br />
Ionenstrahl-Quellen (zum Anätzen <strong>und</strong> Anpolieren im Vakuum)<br />
Kohlebedampfungs-Einrichtungen<br />
Plasmamonitore<br />
Schwingquarz-Schichtdicken-Meßgeräte<br />
8390 Sonstige Vakuumgeräte <strong>und</strong> -anlagen (außer 8300-8380) 72<br />
Ausheizöfen (für Hochvakuumanlagen)<br />
Haus-Vakuumanlagen (zentrale Vakuumversorgung)<br />
Isolieröl-Aufbereitungsanlagen<br />
Vakuumgießharz-Anlagen<br />
Ventile (Vakuum)<br />
Zubehörteile zu Hochvakuumanlagen<br />
8400-8490 Oefen <strong>und</strong> Wärmeanlagen<br />
8400 Kammeröfen, Muffelöfen, Rohröfen 96<br />
Anlassöfen<br />
Diffusionsöfen<br />
Drei-Zonen-Oefen<br />
Elektro-Rohröfen<br />
Glühöfen, Glühanlagen<br />
Härteöfen<br />
Hochtemperaturöfen<br />
Tiegelöfen<br />
Wärmebehandlungs-Oefen<br />
8410 Brenner <strong>und</strong> spezielle Wärmegeräte, Zünd- <strong>und</strong> Überwachungsgeräte 72<br />
Auftaugeräte<br />
Brenner für Oefen<br />
Fackeln, Abfackelanlagen<br />
Flammenüberwachungsgeräte<br />
Flämmgeräte<br />
Oelbrenner<br />
Plasma-Brenner, Argon-Plasmabrenner<br />
Zugregelgeräte (Ofenanlagen)<br />
8420 Spezielle Oefen (Induktions-, Lichtbogenheizung, Vakuumöfen) 72<br />
Elektronenstrahl-Schmelzöfen<br />
Hochfrequenzöfen<br />
Lichtbogenschmelzöfen
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