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DFG-Geräteverzeichnis und -Nutzungsdauer

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Schlüssel Bezeichnung<br />

Transmissions-Elektronenmikroskope (TEM)<br />

ND<br />

5110 Hochspannungs-Elektronenmikroskope 96<br />

5120 Rasterelektronenmikroskope (für Remission) (REM)<br />

Auflicht-Rasterelektronenmikroskope<br />

Rasterelektronenmikroskope (Auflicht), mit Feldemissionskathode<br />

96<br />

5130 Sonstige spezielle Elektronenmikroskope<br />

Durchstrahlungs-Rasterelektronenmikroskope<br />

Feldionenmikroskope<br />

Feldemissions-Mikroskope<br />

Feldelektronenmikroskope<br />

Photoemissionsmikroskope<br />

Transmissions-Rasterelektronenmikroskope<br />

96<br />

5140 Hilfsgeräte <strong>und</strong> Zubehör für Elektronenmikroskope<br />

Belichtungsautomatik für Elektronenmikroskope<br />

Bildstrom-Meßplätze für Elektronenmikroskope<br />

Elektronenoptische Hilfsgeräte, sonstige<br />

Rastergeneratoren, Elektronenstrahl-Ablenkgeneratoren (Elektronenoptik)<br />

96<br />

5150 ---<br />

5160 Elektronenbeugungs-Apparaturen, LEED-, RHEED-, SHEED-Apparaturen<br />

Elektronendiffraktometer (Hochenergie)<br />

LEED-Auger-Apparaturen<br />

LEED-Apparaturen (Low Energy Electron Diffraction)<br />

RHEED-Apparaturen (Reflected High Energy Electron Diffraction)<br />

SHEED-Apparaturen (Scanning High Energy Electron Diffraction)<br />

96<br />

5170<br />

Elektronenoptische Bildwandlergeräte <strong>und</strong> Bildverstärker (außer Fernsehanlagen<br />

72<br />

6730)<br />

Bildwandler-Kameras<br />

Image-Converter, -Dissektoren (elektronenoptisch)<br />

Infrarot-Bildwandler, -Sichtgeräte<br />

Nachtsichtgeräte<br />

Photoelektronenverstärker für elektronographische Aufzeichnung<br />

Restlichtverstärker<br />

Restlichtkameras<br />

Röntgen-Bildverstärker (elektronenoptisch, außer 3220)<br />

Streak-Kameras (mit Bildwandler)<br />

UV-Bildwandler<br />

5180 Elektronen- <strong>und</strong> Ionenstrahl-Quellen 72<br />

Argon- (Ionen-) Kanonen, -Quellen, (Materialbearbeitung)<br />

Elektronenstrahl-Kanonen (außer 838 für Aufdampfanlagen)<br />

Elektroneninjektionsanlagen, Elektronenstrahlgeräte<br />

Ionen-Ätzanlagen (Oberflächenbearbeitung <strong>und</strong> Bohren, außer Präparieranlagen<br />

8330)<br />

5190 Sonstige elektronenoptische Geräte (außer 4040 <strong>und</strong> 5100-5180) 72<br />

Baugruppen, Steuergeräte <strong>und</strong> Zubehör für elektronenoptische Geräte, außer<br />

5140)<br />

5200-5290 Photometer<br />

5200 Photometer, Absorptionsphotometer (außer Spektralphotometer 1800-1860) 72<br />

Becherglasphotometer<br />

Durchflußphotometer (Filter-)

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