Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005 - lamp.tugraz.at

Methoden
M30: Rastertransmissionselektronenmikroskopie
(STEM)
M30: Rastertransmissionselektronenmikroskopie (STEM)
Die Rastertransmissionselektronenmikroskopie
(Scanning Transmission Electron Microscopy,
STEM) ermöglicht die Charakterisierung von
Werkstoffen im Hinblick auf ihre Morphologie,
Kristallstruktur und chemische Zusammensetzung.
Ergänzend zur Bildentstehung im TEM bietet das
STEM zusätzliche Möglichkeiten für die Kontrastentstehung.
Ähnlich wie im Rasterelektronenmikroskop
(SEM) wird ein sehr feiner, auf die Probenebene
fokussierter Elektronenstrahl von Ablenkspulen
zeilenförmig über eine durchstrahlbar dünne Probe
geführt und die von jeder Position gestreuten
Elektronen für die Bilderzeugung verwendet. Im
STEM-Betrieb wird das in der hinteren Brennebene
der Objektivlinse liegende Beugungsbild auf die
Abbildung 1:
STEM-Detektoren und deren Anordnung
relativ zum Beugungsbild.
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a) b)
Abbildung 2:
STEM-Bilder eines Silizium-Einkristalls: a) BF, b) HAADF.
Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005
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