Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005 - lamp.tugraz.at

M27: Rasterelektronenmikroskopie (REM)
Das eigentliche Bild entsteht nun dadurch, dass
die Probenoberfläche über eine vorgegebene Fläche
über ein ebenfalls vorgegebenes Raster (z.B.
1024 x 1024 Pixel) abgerastert wird. An jedem Punkt
wird mit einem Detektor die Zahl der emittierten
Elektronen gemessen, in einen Grauwert umgesetzt
und dieser an der synchronen Stelle auf dem
Bildschirm abgebildet. Die Vergrößerung ergibt sich
einfach durch Division der Breite des Bildes auf dem
Bildschirm oder im Ausdruck durch die Breite der
abgerasterten Fläche.
Die Kontrastunterschiede im Bild werden dadurch
hervorgerufen, dass z.B. an Spitzen oder
Kanten Elektronen unter einem größeren Raumwinkel
austreten können als an ebenen Flächen,
der Detektor damit eine höhere Elektronenzahl
detektiert und diese in eine größere Helligkeit im
Bild umsetzt. Im SE-Bild sind daher ebene glatte
Flächen dunkel, Stufen, Spitzen, aber auch bestimmte
Bereiche sphärischer Teilchen hell.
Eine Abbildung der Oberfläche ist auch mit den
elastisch rückgestreuten Elektronen (backscattered
electrons, BSE) möglich, jedoch mit etwas schlechterer
Auflösung als mit den SE. Da die Zahl der
BSE stark von der chemischen Zusammensetzung
des betreffenden Probenbereiches abhängt, erhält
man im Bild Materialkontrast, das heißt, chemisch
unterschiedliche Phasen sind im Bild als Bereiche
unterschiedlicher Helligkeit sichtbar.
Peter Pölt
Technische Universität Graz
Forschungsinstitut für Elektronenmikroskopie und
Feinstrukturforschung
und Zentrum für Elektronenmikroskopie Graz
Es ist eine Auflösung von einigen nm erreichbar,
wobei die tatsächlich erreichbare Auflösung im
Wesentlichen etwas vom Material, vom Gerätetyp
und von der Elektronenenergie abhängt. Von den
Herstellern werden Grenzwerte zwischen etwa 1– 5
nm angegeben.
Methoden:
Lösungen:
Institute:
Kontakte:
M13 | M26
L22 | L29 | L30
I4 | I3 | I10
K34
chemische Zusammensetzung | Materialkontrast | Oberflächen | Rasterelektronenmikroskopie
REM | Sekundärelektronen
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Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005