Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005 - lamp.tugraz.at

M26: Präparationstechniken in der Elektronenmikroskopie
Abbildung 2:
Beschichtungskriterien: Schichtherstellung und entsprechende Umstände.
Die Beschichtung der Präparate erfolgt in speziellen
Hochvakuum-Präparationsanlagen. Temperatur-
bzw. vakuumempfindliche Proben werden
mit temperaturschonenden Verfahren beschichtet
(z.B. „PSC Sputtering“) und /oder im tiefgekühlten
Zustand präpariert (Kryopräparation). Abb. 2 zeigt
die Möglichkeiten der Schichtherstellung mittels
Verdampfung bzw. Zerstäubung und die damit verbundenen
methodenspezifischen Umstände.
Leitfähigkeitsbeschichtung für
REM
Beschichtung durch thermisches Aufdampfen
von Gold
Beschichtung mit Gold oder Chrom (bei geforderter
Hochauflösung) durch Zerstäubung in
einer Gasentladung
Beschichtung durch Bedampfen mit Kohlenstoff
für die analytische Rasterelektronenmikroskopie
Beschichtung für TEM
Herstellung eines Abdruckes der Probenoberfläche
durch Bedampfen mit Kohlenstoff und
anschließendem Herauslösen der Probe
Hervorhebung von Oberflächendetails durch
Anlagerung eines kontrastreichen, strukturlosen
Schwermetalls unter schrägem Winkel
durch thermische Verdampfung oder Zerstäubung
des Metalls mit Ionen („Sputtering“)
Bedampfung von nichtleitenden ionengedünnten
Präparaten mit einer dünnen Kohlenstoffschicht
zur Vermeidung von Aufladungen im
TEM
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Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005