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Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005 - lamp.tugraz.at

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Methoden<br />

M24: Photoemissions-Elektronenmikroskopie<br />

(PEEM)<br />

Abbildung 1:<br />

M24: Photoemissions-Elektronenmikroskopie (PEEM)<br />

Die einzelnen Photoemissionsspektroskopie-<br />

Methoden sind beson<strong>der</strong>s geeignete Techniken<br />

zur Untersuchung einer großen Bandbreite von<br />

Oberflächenphänomenen, die sich von <strong>der</strong> elektronischen<br />

Struktur über die Oberflächenchemie<br />

bis hin zum Magnetismus erstrecken. Die Entwicklung<br />

des Photoemissions-Elektronenmikroskopes<br />

ermöglicht die Untersuchung dieser Phänomene<br />

nicht nur mit nanometrischer Präzision, son<strong>der</strong>n<br />

auch in Echtzeit.<br />

Schem<strong>at</strong>ischer Aufbau eines<br />

PEEM-Instruments<br />

PEEM ist eine abbildende Technik, wobei <strong>der</strong><br />

Kontrast, <strong>der</strong> von topographischer über chemische<br />

bis zu magnetischer Inform<strong>at</strong>ion reichen kann, von<br />

<strong>der</strong> Anregungsquelle zur Emission <strong>der</strong> Elektronen<br />

aus <strong>der</strong> Oberfläche abhängt. Das PEEM sammelt<br />

die emittierten Elektronen mittels eines starken<br />

elektrost<strong>at</strong>ischen Feldes zwischen Probe und Abbildungssäule,<br />

wobei das Elektronenbild im Anschluss<br />

mit mehreren koaxialen Linsen vergrößert wird. In<br />

seiner einfachsten Form werden die Elektronen<br />

im Anschluss durch eine Vielkanalpl<strong>at</strong>te vervielfacht<br />

und auf einen Fluoreszenzschirm abgebildet<br />

(Abb. 1). Dieses Bild kann dann entwe<strong>der</strong> mit einem<br />

Videorecor<strong>der</strong> o<strong>der</strong> einem Computer aufgezeichnet<br />

werden. Das theoretische Limit <strong>der</strong> Ortsauflösung<br />

liegt bei 2 nm, in Praxis ist sie jedoch durch das<br />

beschleunigende elektrische Feld begrenzt, wobei<br />

neueste kommerzielle Instrumente eine Auflösung<br />

von 20 nm erreichen. Da die Probe effektiv ein<br />

Element <strong>der</strong> Elektronenoptik darstellt, ist die Untersuchung<br />

nichtleiten<strong>der</strong> Proben nicht möglich und<br />

die bestmögliche Ortsauflösung kann bei topographisch<br />

flachen Proben erreicht werden.<br />

Index Kontakte Institute Lösungen Methoden<br />

<strong>Handbuch</strong> <strong>der</strong> <strong>Nanoanalytik</strong> <strong>Steiermark</strong> <strong>2005</strong><br />

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