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Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005 - lamp.tugraz.at

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M13: Focused Ion Beam (FIB)<br />

Typische Anwendungsbeispiele:<br />

Präpar<strong>at</strong>ion und Untersuchung von Querschnitten<br />

Zielgenaue Präpar<strong>at</strong>ion von TEM-Proben<br />

Schaltkreismodifik<strong>at</strong>ion von Halbleiterbauelementen<br />

Nanostrukturierung, Mikrostrukturierung<br />

Anfor<strong>der</strong>ungen:<br />

Probe sollte elektrisch leitend und vakuumverträglich<br />

sein<br />

Größe des zu untersuchenden Bereichs vorzugsweise<br />

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