Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005 - lamp.tugraz.at

Methoden
M8: Elektronenenergieverlustspektroskopie (EELS)
M8: Elektronenenergieverlustspektroskopie
(EELS)
Seit einigen Jahren werden Transmissionselektronenmikroskope
mit analytischen Zusatzeinrichtungen
ausgerüstet, die es ermöglichen die
lokale chemische Zusammensetzung der Probe zu
bestimmen. Besonders gut ist dafür die Elektronenenergieverlustspektroskopie
(EELS) geeignet,
mit der chemische Elemente in sehr kleinen Probenbereichen
bis zu einem Nanometer analysiert
werden können [1]. Hochenergetische Elektronen
mit einer Beschleunigungsspannung von 100.000
bis 300.000 Volt können sehr dünne Proben (