Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005 - lamp.tugraz.at
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M3: Auger-Elektronenspektroskopie (AES)<br />

Typische<br />

Anwendungsmöglichkeiten<br />

Dünnschichtstrukturen<br />

Diffusionsvorgänge<br />

Hartstoffschichten<br />

Optische Beschichtungen<br />

Oberflächenpassivierung<br />

Oberflächenverunreinigungen<br />

Oxid<strong>at</strong>ion<br />

Korrosion<br />

K<strong>at</strong>alyse<br />

Elektrische Kontakte<br />

Lötbarkeit<br />

Hafteigenschaften<br />

Die Probe sollte prinzipiell vakuumverträglich sein.<br />

Svetlozar Surnev, Michael Ramsey, Falko Netzer<br />

Karl-Franzens-Universität Graz<br />

Institut für Physik, Bereich Experimentalphysik,<br />

Oberflächen- und Grenzflächenphysik<br />

Abbildung 3:<br />

Schem<strong>at</strong>ische Darstellung <strong>der</strong> Funktionsweise<br />

<strong>der</strong> Auger-Tiefenprofilanalyse.<br />

Methoden: —<br />

Lösungen:<br />

Institute:<br />

Kontakte:<br />

AES | Auger-Elektronenspektroskopie | Beschichtungen, optische | Bindungsenergie<br />

chemische Landkarte | Diffusionsvorgänge | DPA | Dünnschichtstrukturen<br />

Elektronenanalys<strong>at</strong>or | Hartstoffschichten | Ionenätzen | K<strong>at</strong>alyse | Korrosion<br />

Oberflächenpassivierung | Oberflächenverunreinigungen | Oxid<strong>at</strong>ion<br />

Raster-Auger-Mikroskopie | SAM | Sekundärelektronen | Tiefenprofilanalyse<br />

L1 | L25 | L37<br />

I11 | I8<br />

K32<br />

Index Kontakte Institute Lösungen Methoden<br />

<strong>Handbuch</strong> <strong>der</strong> <strong>Nanoanalytik</strong> <strong>Steiermark</strong> <strong>2005</strong><br />

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