Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005 - lamp.tugraz.at
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I14: Laserzentrum Leoben, JR<br />

Die Beschichtungen eignen sich für zahlreiche<br />

Anwendungsgebiete:<br />

Verschleißschutz und Korrosionsschutz von<br />

Werkzeugen<br />

Dekor<strong>at</strong>ives Oberflächen-Finishing, verbunden<br />

mit Verschleißschutz und funktionellen<br />

optischen Eigenschaften<br />

Metallisierung und Haftschichten für an<strong>der</strong>e<br />

Beschichtungsverfahren<br />

Biokomp<strong>at</strong>ible Oberflächen für Medizintechnik<br />

und Chirurgie<br />

Funktionelle Schichten und Sensorschichten<br />

für Optik, Elektronik und Optoelektronik<br />

Die Entwicklung und Herstellung von funktionellen<br />

nanostrukturierten Beschichtungen erfor<strong>der</strong>t<br />

den Eins<strong>at</strong>z von unterschiedlichen Schichtcharakterisierungsmethoden<br />

aus dem Bereich <strong>der</strong><br />

Nano-Analytik. Am Laserzentrum Leoben werden<br />

folgende Eigenschaften von dünnen Schichten<br />

bestimmt:<br />

Schichtdicke &Schichthaftung<br />

Schichttopographie &Schichtstruktur<br />

Chemische Zusammensetzung<br />

Optische & elektrische Schichteigenschaften<br />

Reibungs- &Verschleißkennwerte<br />

NC-gesteuerte Bearbeitungsmaschinen<br />

6-Achsen-Bearbeitungsmaschine<br />

5-Achsen-Bearbeitungsmaschine mit<br />

2,8 m Verfahrweg<br />

5-Achs-HSC-Bearbeitungszentrum mit integrierter Laserauftragsschweißeinrichtung<br />

Forschungsbereich „Laserdünnschichttechnik“<br />

Gütegeschaltete Lasersysteme<br />

1000 mJ Nd:YAG-Laser (SHG, FHG)<br />

(1064 nm, 532 nm, 355 nm)<br />

1200 mJ Nd:YAG-Laser (SHG, FHG)<br />

(1064 nm, 532 nm)<br />

Vakuumbeschichtungsanlagen<br />

(PLD, gepulstes DC-Sputtern, Ionenätzen)<br />

Laboranlage<br />

Demonstr<strong>at</strong>ionsanlage (Rezipientendurchmesser 740 mm,<br />

Beschichtungshöhe 300 nm)<br />

Instrumentelle Ausst<strong>at</strong>tung<br />

Forschungsschwerpunkt<br />

„Laserproduktionstechnik“<br />

Industrielaser<br />

2,5 kW CO 2 -Laser<br />

6,0 kW CO 2 -Laser<br />

2,5 kW Nd:YAG-Laser<br />

4,0 kW Diodenlaser<br />

Abbildung 1:<br />

Prinzip <strong>der</strong> HybridPLD-Beschichtung.<br />

258<br />

<strong>Handbuch</strong> <strong>der</strong> <strong>Nanoanalytik</strong> <strong>Steiermark</strong> <strong>2005</strong>

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