Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005 - lamp.tugraz.at
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I10: Institut für Nanostrukturierte M<strong>at</strong>erialien und Photonik, JR<br />
Methoden<br />
Die hochmo<strong>der</strong>ne Geräteausst<strong>at</strong>tung auf insgesamt<br />
300m 2 Laborfläche und ein Reinraum <strong>der</strong><br />
Reinheitsklasse 100 (Klasse 5 gemäß ISO 14644)<br />
ermöglichen eine breite Palette von Analysen nach<br />
höchsten industriellen Qualitätsstandards.<br />
Analyse & Charakterisierung<br />
Rastersondentechniken<br />
Röntgen- und Ultraviolett-Photoelektronenspektroskopie<br />
(XPS/UPS)<br />
Rasterkraftmikroskopie (AFM) und<br />
Profilometrie<br />
Rasterelektronenmikroskopie (REM)<br />
Rastertunnelmikroskopie (STM)<br />
Optische Methoden<br />
Spektroskopische Ellipsometrie (VASE)<br />
UV-VIS-NIR-Spektrophotometrie<br />
UV-VIS-NIR-Fluoreszenzspektrometrie<br />
Stereo- und Auflicht-/Durchlichtmikroskopie<br />
mit Polaris<strong>at</strong>ionseinheit<br />
Optische Simul<strong>at</strong>ion<br />
Aufbringung & Strukturierung<br />
Photolithographie mit Nasschemiebank,<br />
Maskenbelichter<br />
Elektronenstrahllithographie<br />
Reaktives Ionenätzen (Halogengase,<br />
Inertgase, Sauerstoff) für organische<br />
und anorganische M<strong>at</strong>erialien<br />
Beschichtungsanlagen im Hochvakuum- und<br />
Ultrahochvakuumbereich für organische und<br />
anorganische M<strong>at</strong>erialien (thermisch, Elektronenstrahlverdampfer,<br />
RF-Sputtern)<br />
Spinco<strong>at</strong>ing mit Autodispenssystem<br />
Nanoimprint-Lithographie (Hot Embossing<br />
und UV-Imprinting)<br />
3D-Lasermikrostrukturierung photosensitiver<br />
Polymerm<strong>at</strong>erialien auf Basis von Zweiphotonenabsorption<br />
Elektrische Methoden und Geräte<br />
Spitzenmesspl<strong>at</strong>z mit 2 Parameteranalys<strong>at</strong>oren<br />
Induktivitäts-, Kapazitäts- und Wi<strong>der</strong>standsmessungen<br />
Strom-Spannungsmessungen mit Picoamperemeter,<br />
Elektrometer<br />
Photostrommessanlage mit Lock-in-Verstärker<br />
Messung raumladungsbegrenzter Ströme<br />
(SCLC)<br />
Werner Rom, Günther Leising<br />
JOANNEUM RESEARCH Forschungsgesellschaft mbH<br />
Institut für Nanostrukturierte M<strong>at</strong>erialien und Photonik<br />
246<br />
<strong>Handbuch</strong> <strong>der</strong> <strong>Nanoanalytik</strong> <strong>Steiermark</strong> <strong>2005</strong>
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