Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005 - lamp.tugraz.at
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I4: FELMI-ZFE, TU Graz<br />
Polymeren (inkl. Kryomikroskopie) mit spektroskopischen<br />
Methoden, die Inform<strong>at</strong>ionen über den<br />
chemischen Verbindungstyp und zur Verteilung<br />
chemischer Phasen mit μm-Auflösung liefern, mit<br />
neuen Methoden in <strong>der</strong> Licht- und Elektronenmikroskopie<br />
kombiniert werden. Im Forschungsbereich<br />
„<strong>Nanoanalytik</strong>“ liegt <strong>der</strong> Schwerpunkt auf dem Gebiet<br />
<strong>der</strong> Transmissionselektronenmikroskopie, mit<br />
<strong>der</strong> es möglich ist in das Innere von Festkörpern zu<br />
blicken, die Struktur von Festkörpern mit <strong>at</strong>omarer<br />
Auflösung aufzuklären, Defekte zu identifizieren und<br />
die chemische Zusammensetzung mit Nanometerauflösung<br />
zu messen. Hierzu werden methodische<br />
Entwicklungen im Bereich <strong>der</strong> sub-Nanometer-Analytik<br />
mittels Elektronenenergieverlustspektrometrie<br />
(EELS) und Energiefilterungsmikroskopie (EFTEM)<br />
vorangetrieben. Mit <strong>der</strong> weltweit zweiten Install<strong>at</strong>ion<br />
eines analytischen Hochauflösungselektronenmikroskops,<br />
das mit einem Monochrom<strong>at</strong>or für die<br />
Elektronenquelle ausgerüstet ist, konnte das Institut<br />
seine intern<strong>at</strong>ional anerkannte Themenführerschaft<br />
weiter ausbauen.<br />
Das Hauptziel des neuen Schwerpunktes<br />
„Nanostrukturierung“ liegt in <strong>der</strong> Erforschung von<br />
lokalen Nanostrukturen und funktionellen Bauelementen.<br />
Dazu werden neue Präpar<strong>at</strong>ions- und<br />
Untersuchungsmethoden entwickelt bzw. auf aktuelle<br />
m<strong>at</strong>erialwissenschaftliche Problemstellungen<br />
angewendet. Mit einer „Focused Ion Beam“-Anlage<br />
(FIB) werden Mikro- und Nanostrukturen mit neuen<br />
Eigenschaften präpariert und gleichzeitig in Bezug<br />
auf ihre Struktur und die lokalen physikalischen Eigenschaften<br />
charakterisiert. Aktuelle Forschungsarbeiten<br />
konzentrieren sich neben <strong>der</strong> Modifizierung<br />
von Halbleiterbauelementen auf die Entwicklung<br />
neuer Methoden für die 3D-Elementanalyse von<br />
technologisch relevanten M<strong>at</strong>erialien.<br />
Methoden: M2 | M6 | M8 | M10 | M11<br />
M13 | M17 | M21 | M26<br />
M27 | M30 | M39 | M44<br />
Lösungen:<br />
L4 | L10 | L20 | L22<br />
L29 | L30 | L36 | L39<br />
Institute: —<br />
Kontakte:<br />
Ferdinand Hofer<br />
Technische Universität Graz<br />
Forschungsinstitut für Elektronenmikroskopie und<br />
Kontakt<br />
Feinstrukturforschung<br />
und Zentrum für Elektronenmikroskopie Graz<br />
Technische Universität Graz<br />
Forschungsinstitut für Elektronenmikroskopie<br />
und Feinstrukturforschung<br />
und Zentrum für Elektronenmikroskopie Graz<br />
Steyrergasse 17<br />
8010 Graz, Austria<br />
Tel. +43 316 873-83 20 bzw. -83 21<br />
Fax +43 316 81 15 96<br />
sekretari<strong>at</strong>@felmi-zfe.<strong>at</strong><br />
www.felmi-zfe.<strong>tugraz</strong>.<strong>at</strong><br />
Institutsleiter:<br />
Ao. Univ.-Prof. Dipl.-Ing. Dr. Ferdinand Hofer<br />
K14<br />
Dünnschichten | Infrarot-Mikroskopie | Mikrostrukturen | Nanostrukturen | Nanoteilchen<br />
Raman-Mikroskopie | Rasterelektronenmikroskopie | Transmissionselektronenmikroskopie<br />
232<br />
<strong>Handbuch</strong> <strong>der</strong> <strong>Nanoanalytik</strong> <strong>Steiermark</strong> <strong>2005</strong>
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