Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005 - lamp.tugraz.at
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M1: 3D-Atomsonde (3D APFIM)<br />

Notwendige Probenform<br />

Für die 3D-Atomsonde müssen die zu untersuchenden<br />

Proben in Form feiner nadelförmiger<br />

Spitzen vorliegen, die jedoch rel<strong>at</strong>iv einfach durch<br />

Diamantsägen und Elektropolieren herzustellen<br />

sind. Es können dann alle elektrisch leitenden und<br />

halbleitenden M<strong>at</strong>erialien untersucht werden.<br />

Methoden: —<br />

Lösungen:<br />

L32 | L40<br />

Manfred Leisch<br />

Technische Universität Graz<br />

Institut für Festkörperphysik<br />

Institute:<br />

Kontakte:<br />

I8<br />

K27<br />

3D APFIM | 3D-Atomsonde | Analytische Feldionenmikroskopie | Elementverteilung<br />

4<br />

<strong>Handbuch</strong> <strong>der</strong> <strong>Nanoanalytik</strong> <strong>Steiermark</strong> <strong>2005</strong>

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