Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005 - lamp.tugraz.at

L43: XPS-Untersuchungen an Titanoxid-Schichten
Abbildung 2:
XPS-Detailaufnahme des Ti-2p-Dubletts
bei ungereinigter Probe und nach
Sputtern mit 500 eV bzw. 2000 eV der
Schicht TiO 2 -16-FUPA aus einer PLD-
Laboranlage mit 60 sccm Sauerstofffluss.
Das Auftreten eines einzelnen
Ti-2p-Dubletts mit einer Peakverschiebung
von 4,8 eV im Vergleich zur Lage
des metallischen Dubletts bei der
ungereinigten Probe lässt auf einen
vollständigen Ablauf der Reaktion zu
TiO 2 schließen.
Abbildung 3:
Methoden:
Detailscan des TiO 2 -2p-Dubletts bei
unter verschiedenen Bedingungen hergestellten
TiO 2 -Schichten. Alle Proben
sind 20 Minuten mit 500 eV gesputtert.
Der zu niedrigeren Bindungsenergien
verschobene relative Anteil des Dubletts
ist bei höherem Sauerstofffluss
geringer.
M32
Lösungen: —
Institute:
Kontakte:
chemische Zusammensetzung | ESCA | Koordinationszahlen | Oberflächenanalytik
Röntgenphotoelektronenspektroskopie | Stöchiometrie | XPS
I10
K7
Index Kontakte Institute Lösungen Methoden
Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005
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