Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005 - lamp.tugraz.at

L39: Untersuchung eines Defektes in einem HL-Bauelement
Abbildung 3:
Abbildung 4:
EELS-Spektren an einer TiN-Schicht (Analysepunkte: siehe Abb. 2): zu sehen sind die Ionisationskanten
von Stickstoff (N-K), Titan (Ti-L23), Sauerstoff (O-K), Aluminium (Al-K) und Silizium (Si-K).
EFTEM-Elementverteilungsbilder von Ti
(rot), N (grün) und O (blau), die in einem
Falschfarbenbild überlagert wurden
(gleicher Probenbereich wie Abb. 2).
Abbildung 5:
Methoden:
Quantitatives Konzentrationsprofil,
das aus quantifizierten Verteilungsbildern
der entsprechenden Elemente
gewonnen wurde (Position: siehe Pfeil
in Abb. 2; aus [1]).
M8 | M11 | M2
Lösungen: —
Institute:
Kontakte:
I4
K12
Index Kontakte Institute Lösungen Methoden
EELS | EFTEM | Elektronenenergieverlustspektroskopie | Elementverteilungsbilder | Energiefilterung
Energiefilterungs-Transmissionselektronenmikroskopie | Halbleiter | TEM
Transmissionselektronenmikroskopie
Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005
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