Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005 - lamp.tugraz.at

L34: Sekundärionen-Massenspektroskopie (SIMS) mittels FIB
Bei der Herstellung von Hohlkugelstrukturen
aus Titan wird z.B. Aluminium als Sinterhilfe beigemengt.
Es stellt sich die Frage, wie und wo das
Aluminium im fertigen Produkt vorliegt: homogen
verteilt, in Form von intermetallischen Phasen oder
als Oxid an der Oberfläche Dazu wurden von der
Oberfläche der Hohlkugeln schrittweise Schichten
von einigen hundert nm bis einige μm mit dem Ionenstrahl
abgetragen und dabei Massenspektren
aufgenommen. Es zeigt sich, dass das Aluminium
vorwiegend an der Oberfläche und dort zum Teil
in Form eines Oxids vorliegt. Abb. 1 zeigt eine typische
Hohlkugelstruktur und ein Massenspektrum
als Beispiel. Man beachte die Möglichkeit einzelne
Isotope aufzulösen, was diese Methode auch für
Tracer-Aufgaben geeignet macht.
Christian Motz, Daniel Kiener, Thomas Schöberl,
Reinhard Pippan, Gerhard Dehm
Montanuniversität Leoben
Department Materialphysik
und Österreichische Akademie der Wissenschaften
Erich-Schmid-Institut für Materialwissenschaft
Methoden:
M13
Lösungen: —
Institute:
I3
Kontakte:
K31
FIB | Focused Ion Beam | Nanomechanik | Rasterionenmikroskopie | SIMS
200
Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005