Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005 - lamp.tugraz.at

Lösungen
L34: Sekundärionen-
Massenspektroskopie (SIMS)
mittels FIB
L34: Sekundärionen-Massenspektroskopie (SIMS) mittels FIB
Werden die durch einen fokussierten Ionenstrahl
(FIB) aus dem Grundmaterial herausgeschlagenen
Ionen (Sekundärionen) nach ihrer Masse analysiert,
so kann man Informationen über die Zusammensetzung
des Grundmaterials erhalten. Die Sekundärionen-Massenspektroskopie
(SIMS) bietet einige
Vorteile gegenüber der vergleichbaren energiedispersiven
Röntgenanalyse (EDX). So lassen sich
auch sehr leichte Elemente bis hin zum Wasserstoff
analysieren bei zum Teil wesentlich besseren
Nachweisgrenzen. Allerdings hat diese Methode
auch Nachteile: nicht alle Elemente lassen sich
analysieren und quantitative Ergebnisse sind nur
mit einer durchgehenden Standardreihe möglich.
Da der Ionenstrahl während der Analyse Probenmaterial
abträgt, können recht einfach Tiefenprofile
der Zusammensetzung erstellt werden.
Index Kontakte Institute Lösungen Methoden
Abbildung 1:
Analyse der Zusammensetzung einer Zellwand einer Titan-Hohlkugel mit Hilfe des Sekundärionen-Massenspektrometers.
Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005
199