Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005 - lamp.tugraz.at
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L30: Probenpräpar<strong>at</strong>ion mittels Zweistrahl-FIB / REM<br />
Da die Probe für eine transmissionselektronenmikroskopische<br />
Untersuchung zu diesem Zeitpunkt versell für viele M<strong>at</strong>erialklassen einsetzbar. TEM-La-<br />
Die TEM-Probenpräpar<strong>at</strong>ion mittels FIB ist uni-<br />
noch zu dick ist, wird sie nun mit dem Ionenstrahl mellen können aus nahezu allen Arten anorganischer<br />
schrittweise weiter gedünnt. Der Winkel zwischen M<strong>at</strong>erialien und Werkstoffe (z.B. Halbleiter, Stähle,<br />
Ionenstrahl und Probenoberfläche beträgt dabei Hartmetalle, Keramiken, Verbundwerkstoffe, …)<br />
nicht mehr als 1– 3°, da ein größerer Winkel zu präpariert werden. Bei organischen Verbindungen<br />
ungleichmäßigem Abtrag und starker Probenschädigung<br />
führen würde. Um bei <strong>der</strong> noch rel<strong>at</strong>iv Voraussetzung ist die Vakuumverträglichkeit des<br />
ist die Eignung stark m<strong>at</strong>erialabhängig. Wichtigste<br />
dicken Lamelle eine hohe Abtragr<strong>at</strong>e zu erzielen, Probenm<strong>at</strong>erials sowie eine möglichst geringe Anfälligkeit<br />
auf Strahlenschädigung.<br />
beginnt man typischerweise mit Ionenstrahlströmen<br />
von ca. 1 nA und einem Strahldurchmesser von<br />
50 nm. Sobald die Probe weniger als 500 nm dick<br />
ist, wechselt man, abhängig vom Probenm<strong>at</strong>erial, Weiterführende Liter<strong>at</strong>ur<br />
zu kleineren Strahlströmen (300 pA – 50 pA), um<br />
den Einfluss von Probenschädigung zu minimieren. [1] J. Orloff, M. Utlaut, L. Swanson (2003)<br />
Sind Stärken von ca. 50 –100 nm und damit TEMtaugliche<br />
Lamellendicken erreicht (Abb. 3), wird ein Its Applic<strong>at</strong>ions“. Kluwer Academic /Plenum<br />
„High Resolution Focused Ion Beams: FIB and<br />
letzter Ionendünnungsschritt bei 5 keV Ionenenergie<br />
durchgeführt, um oberflächliche Probenamor-<br />
Publishers, New York. 303 Seiten.<br />
phisierung und Ga + -Implant<strong>at</strong>ion zu reduzieren.<br />
Michael Rogers, Gerald Kothleitner<br />
Dies wird unter einem Winkel von ~7° zwischen<br />
Technische Universität Graz<br />
Ionenstrahl und Probenoberfläche durchgeführt.<br />
Forschungsinstitut für Elektronenmikroskopie und<br />
Anschließend kann <strong>der</strong> Probenträger mit <strong>der</strong> TEM-<br />
Feinstrukturforschung<br />
Lamelle direkt ins TEM eingeschleust werden.<br />
und Zentrum für Elektronenmikroskopie Graz<br />
Methoden:<br />
M13 | M27<br />
Lösungen: —<br />
Institute:<br />
I4<br />
Kontakte:<br />
K21<br />
AEM | Analytische Transmissionselektronenmikroskopie | FIB | Focused Ion Beam<br />
Probenpräpar<strong>at</strong>ion | Rasterelektronenmikroskopie | REM | TEM | TEM-Probenpräpar<strong>at</strong>ion<br />
Transmissionselektronenmikroskopie | Zielpräpar<strong>at</strong>ion<br />
Index Kontakte Institute Lösungen Methoden<br />
<strong>Handbuch</strong> <strong>der</strong> <strong>Nanoanalytik</strong> <strong>Steiermark</strong> <strong>2005</strong><br />
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