Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005 - lamp.tugraz.at

L30: Probenpräparation mittels Zweistrahl-FIB / REM
Abbildung 3:
FIB-präparierte TEM-Probe (SE-Bild).
FIB-präparierte TEM-Lamelle einer
Keramikprobe nach dem letzten Dünnungsschritt.
Mit ausreichend kleinem
Ionenstrahldurchmesser können im
Idealfall Probenbereiche von etwa 10
µm x 10 µm nahezu planparallel auf
unter 100 nm Dicke präpariert werden.
Spannungen im Probenmaterial können
jedoch zu einem Verbiegen der Lamelle
führen, was eine gleichmäßige FIB-Ionendünnung
großer Flächen erschwert.
Anschließend werden bei hohem Ionenstrahlstrom
zwei Gräben geschnitten (Abb. 1), welche
das Probenstück grob freilegen. Mit einem etwas
feineren Strahl wird die Probe dann in eine Quader-
Form gebracht (die Dicke der Probe beträgt nun
etwa 1–2 μm) und bis auf zwei kleine Verbindungen
vom Substrat gelöst. Nun wird eine äußerst feine
Mikromanipulatorspitze aus Wolfram an die Probe
herangeführt und mit dieser in Kontakt gebracht.
Mittels ionenstrahlinduzierter Pt-Abscheidung
wird diese Spitze mit der Probe verbunden und
danach vom Substrat getrennt, indem die zwei
verbleibenden Verbindungen mit dem Ionenstrahl
durchgeschnitten werden. Die nun an der Mikromanipulatorspitze
frei hängende Probe wird aus dem
Substrat herausgehoben und im nächsten Schritt
an einen TEM-Probenträger transferiert (Abb. 2),
wo sie mittels ionenstrahlinduzierter Pt-Abscheidung
angeschweißt wird. Danach trennt man mit
dem Ionenstrahl die Manipulatorspitze wieder von
der Probe.
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Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005