Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005 - lamp.tugraz.at

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Lösungen L25: Metallische Schichten auf Glaskeramiken L25: Metallische Schichten auf Glaskeramiken – Untersuchungen mittels AES Keramische Halbleiterbauelemente werden oft mit Metallschichten überzogen, auf denen dann dünne Golddrähte „gebonded“ werden. Die Haftung dieser Drähte hängt entscheidend von der Oberflächenqualität dieser Schicht ab. In Abb. 1 ist das Auger-Elektronenspektrum einer Glaskeramikoberfläche, die mit einer Sandwichschicht aus Palladium und Gold bedeckt war, zu sehen. Das Spektrum zeigt deutlich, dass nach dem Einbau in die Vakuumapparatur Kohlenstoff und Sauerstoffverunreinigungen vorlagen. Außerdem kann man auch erkennen, dass Silber während des Beschichtungsprozesses auf die Oberfläche gelangt ist. Durch Vergleich der AES-Spektren von Schichten, die gute bzw. schlechte Hafteigenschaften aufweisen, kann die Prozessführung optimiert werden. Ein Tiefenprofil der Palladium-Gold-Sandwichschicht (Abb. 2) zeigt, dass die Übergangszone nicht sehr scharf ist. Sehr schön kann man erkennen, dass der Palladiumschicht geringe Mengen Phosphor beigemengt sind. Die Auger-Spektroskopie eignet sich besonders zum Nachweis leichter Elemente (C, S, P, O), die mit Hilfe der Röntgenfluoreszenz nur schwer nachweisbar sind. Adolf Winkler Technische Universität Graz Institut für Festkörperphysik Abbildung 2: Tiefenprofil der Palladium-Gold-Sandwichschicht (s. Abb. 1). Abbildung 1: Augerelektronenspektrum einer Glaskeramikoberfläche, die mit einer Sandwichschicht aus Palladium und Gold bedeckt ist. 180 Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005
L25: Metallische Schichten auf Glaskeramiken Methoden: M3 Lösungen: — Institute: I8 Kontakte: K50 AES | Auger-Elektronenspektroskopie | DPA | Tiefenprofil Index Kontakte Institute Lösungen Methoden Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005 181
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