Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005 - lamp.tugraz.at

Lösungen
L25: Metallische Schichten auf Glaskeramiken
L25: Metallische Schichten
auf Glaskeramiken – Untersuchungen
mittels AES
Keramische Halbleiterbauelemente werden oft
mit Metallschichten überzogen, auf denen dann
dünne Golddrähte „gebonded“ werden. Die Haftung
dieser Drähte hängt entscheidend von der
Oberflächenqualität dieser Schicht ab. In Abb. 1
ist das Auger-Elektronenspektrum einer Glaskeramikoberfläche,
die mit einer Sandwichschicht
aus Palladium und Gold bedeckt war, zu sehen.
Das Spektrum zeigt deutlich, dass nach dem
Einbau in die Vakuumapparatur Kohlenstoff und
Sauerstoffverunreinigungen vorlagen. Außerdem
kann man auch erkennen, dass Silber während
des Beschichtungsprozesses auf die Oberfläche
gelangt ist. Durch Vergleich der AES-Spektren von
Schichten, die gute bzw. schlechte Hafteigenschaften
aufweisen, kann die Prozessführung optimiert
werden.
Ein Tiefenprofil der Palladium-Gold-Sandwichschicht
(Abb. 2) zeigt, dass die Übergangszone
nicht sehr scharf ist. Sehr schön kann man erkennen,
dass der Palladiumschicht geringe Mengen
Phosphor beigemengt sind. Die Auger-Spektroskopie
eignet sich besonders zum Nachweis leichter
Elemente (C, S, P, O), die mit Hilfe der Röntgenfluoreszenz
nur schwer nachweisbar sind.
Adolf Winkler
Technische Universität Graz
Institut für Festkörperphysik
Abbildung 2:
Tiefenprofil der Palladium-Gold-Sandwichschicht
(s. Abb. 1).
Abbildung 1:
Augerelektronenspektrum einer
Glaskeramikoberfläche, die mit einer
Sandwichschicht aus Palladium und
Gold bedeckt ist.
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Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005