Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005 - lamp.tugraz.at
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L21: HT-XRD – Spannungen und Deform<strong>at</strong>ionen<br />
per<strong>at</strong>ur. Bei ersteren kehrt die Spannung im Film<br />
nach dem Abkühlen nicht mehr zum Ausgangswert<br />
zurück (irreversible Spannungsverän<strong>der</strong>ungen), bei<br />
letzteren schon.<br />
Weitere Messungen zeigen, dass auch die<br />
Schichten mit ursprünglich irreversiblem Verhalten<br />
durch thermische Behandlung so verän<strong>der</strong>t werden<br />
können, dass die temper<strong>at</strong>urabhängigen Spannungsän<strong>der</strong>ungen<br />
in <strong>der</strong> Schicht reversibel gemacht<br />
werden können (Rekristallis<strong>at</strong>ionseffekte).<br />
Zusammenfassung<br />
Mit Hilfe von Hochtemper<strong>at</strong>ur-Röntgenbeugung<br />
kann gemessen werden, welche temper<strong>at</strong>urbedingten<br />
Spannungen in dünnen Metallschichten auf unterschiedlichsten<br />
Substr<strong>at</strong>en auftreten und wie die<br />
Herstellungsbedingungen, die M<strong>at</strong>erialwahl sowie<br />
mögliche Temper<strong>at</strong>urbehandlungen <strong>der</strong> Schichten<br />
das Spannungsverhalten beeinflussen.<br />
Liter<strong>at</strong>ur<br />
[1] H. J. Bunge (1982) „Texture Analysis in<br />
M<strong>at</strong>erial Science“. Butterworths, London.<br />
593 Seiten.<br />
Christian Resch<br />
Anton Paar GmbH<br />
Abbildung 5:<br />
Spannung (σ I ) entlang <strong>der</strong> Al-Schichten<br />
beim Aufheizen und Abkühlen. T D …<br />
Abscheidungstemper<strong>at</strong>ur bei <strong>der</strong> Film-<br />
Herstellung.<br />
Ernst Eiper, Jozef Keckes<br />
Österreichische Akademie <strong>der</strong> Wissenschaften<br />
Erich-Schmid-Institut für M<strong>at</strong>erialwissenschaft<br />
Roland Resel<br />
Technische Universität Graz<br />
Institut für Festkörperphysik<br />
Methoden:<br />
M15 | M42<br />
Lösungen: —<br />
Institute:<br />
Kontakte:<br />
I1<br />
K19<br />
Dünnschichten | Hochtemper<strong>at</strong>ur | Hochtemper<strong>at</strong>ur-Röntgendiffraktometrie | HT-XRD<br />
Kristallstruktur | Metallfilm | Röntgenbeugung/diffraktion | Spannungen, mechanische<br />
thermische Gitterdeform<strong>at</strong>ion<br />
172<br />
<strong>Handbuch</strong> <strong>der</strong> <strong>Nanoanalytik</strong> <strong>Steiermark</strong> <strong>2005</strong>
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