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Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005 - lamp.tugraz.at

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L19: Hochtemper<strong>at</strong>ur-Röntgendiffraktometrie (HT-XRD)<br />

Abbildung 1:<br />

tigkeit.<br />

Lin(Cps)<br />

Abbildung 2:<br />

„Bruker-AXS D8 Advance“-Diffraktometer mit Hochtemper<strong>at</strong>urkammer (links) und schem<strong>at</strong>ische Darstellung<br />

des Strahlenganges dieser Anordnung (rechts).<br />

Beispiele konkreter Anwendungen <strong>der</strong> HT-Röntgendiffraktometrie<br />

und Problemlösungen, die im<br />

Diffraktogramme einer Zr-Probe im<br />

Temper<strong>at</strong>urbereich 450 – 600°C. Die<br />

allochemische Phasenreaktion mit<br />

Sauerstoff Zr + O 2 → ZrO 2 (Baddeleyit)<br />

findet bei 510 °C st<strong>at</strong>t. Insert A: Zirkonblech<br />

vor (rechts) und nach (links) dem<br />

Aufheizen in Sauerstoff<strong>at</strong>mosphäre.<br />

industriellen Umfeld oft gebraucht werden, sind in<br />

Tab. 1 angeführt.<br />

Abb. 2 zeigt als Beispiel für eine Phasenreaktion<br />

die Oxid<strong>at</strong>ion von Zirkonium. Mittels Hochtemper<strong>at</strong>ur-Diffraktometrie<br />

kann die Umwandlungstemper<strong>at</strong>ur<br />

eindeutig bestimmt werden.<br />

In Abb. 3 ist die Kristallitgröße in CrN-Schichten<br />

in Abhängigkeit von <strong>der</strong> Temper<strong>at</strong>ur dargestellt. Bei<br />

niedrigen Temper<strong>at</strong>uren ist die Keimbildungsgeschwindigkeit<br />

bestimmend, während mit steigen<strong>der</strong><br />

Temper<strong>at</strong>ur die Kristallwachstumsgeschwindigkeit<br />

an Bedeutung gewinnt. Da dieses Verhalten durch<br />

die Einlagerung von Sauerstoff beeinflusst wird,<br />

konnte mit diesem Experiment <strong>der</strong> Einfluss von<br />

Oxinitridphasen auf das mechanische Verhalten von<br />

CrN-Dünnschichten nachgewiesen werden.<br />

Index Kontakte Institute Lösungen Methoden<br />

Mariann Lovonyak, Reinhold Ebner<br />

M<strong>at</strong>erials Center Leoben Forschung GmbH,<br />

<strong>Handbuch</strong> <strong>der</strong> <strong>Nanoanalytik</strong> <strong>Steiermark</strong> <strong>2005</strong><br />

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