Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005 - lamp.tugraz.at
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L18: Haftfestigkeitsprüfung von dünnen Schichten<br />
Last wird durch jenen Belastungswert definiert, bei Diese Haftfestigkeitsprüfungen zeigen hohe<br />
welchem <strong>der</strong> Grundwerkstoff erstmals freigelegt Haftung von Multilagenbeschichtungen mit sehr<br />
wird. Im gegenteiligen Fall einer harten Schicht auf geringen Einzelschichtdicken von Titan bzw. Titannitrid<br />
bzw. von Beschichtungen mit dicker „weicher“<br />
weichem Grundkörper muss mit Absplittern und<br />
einem „Buckling“ (teilweise Schichtablösung an <strong>der</strong> Titan-Zwischenschicht (Einzellagenschichtdicke<br />
Grenzfläche) <strong>der</strong> Beschichtung bei <strong>der</strong> kritischen 500 nm). Erstere Beschichtungen zeigen in Härtemessungen<br />
ein hohes Härteniveau im Vergleich<br />
Last gerechnet werden.<br />
zum Grundwerkstoff, wodurch sich als Versagenstyp<br />
„Buckling“ am Rand des Ritzes (und wegen<br />
Ein Beispiel für unterschiedliche Versagensfälle<br />
im Scr<strong>at</strong>ch-Test zeigen Untersuchungen an Multilagen-Beschichtungen<br />
aus abwechselnd Titan- und des Ritzes) einstellen (Abb. 1b1). Ist hingegen die<br />
<strong>der</strong> hohen Bruchzähigkeit duktile Risse im Grund<br />
Titannitrid-Einzelschichten. Kombin<strong>at</strong>ionen von Schichthärte deutlich niedriger (Abb. 1b2), treten die<br />
weichen metallischen und harten keramischen plastischen Verformungsphänomene wie das Aufreißen<br />
<strong>der</strong> Beschichtung im Ritzgrund und das Frei-<br />
M<strong>at</strong>erialien führen in Beschichtungen zu höherer<br />
Bruchzähigkeit und optimiertem Eins<strong>at</strong>zverhalten legen des Substr<strong>at</strong>es vermehrt in Erscheinung.<br />
(z.B. Verschleißminimierung). Derartige Multilagen-Schichten<br />
wurden mittels <strong>der</strong> Pulsed-Laser- Der am Laserzentrum Leoben installierte<br />
Deposition-Technik (PLD) bei Raumtemper<strong>at</strong>ur Scr<strong>at</strong>ch-Test entspricht den Vorgaben <strong>der</strong> EN 1071<br />
auf weiche ferritische Stähle abgeschieden und und ist für Haftfestigkeitsuntersuchungen von Beschichtungen<br />
auf weichen bis mittelharten Grund-<br />
anschließend im Scr<strong>at</strong>ch-Test geprüft und auf die<br />
auftretenden Versagensphänomene und kritische werkstoffen (Kunststoffe, Metalle) konzipiert.<br />
Lasten ausgewertet (s. Abb. 1).<br />
Jürgen M. Lackner, Wolfgang Waldhauser<br />
JOANNEUM RESEARCH Forschungsgesellschaft mbH<br />
Laserzentrum Leoben<br />
Methoden:<br />
M43<br />
Lösungen: —<br />
Institute:<br />
I14<br />
Kontakte:<br />
K24<br />
Dünnschichten | Haftfestigkeit von Beschichtungen | Scr<strong>at</strong>ch-Test | Tribologie<br />
Index Kontakte Institute Lösungen Methoden<br />
<strong>Handbuch</strong> <strong>der</strong> <strong>Nanoanalytik</strong> <strong>Steiermark</strong> <strong>2005</strong><br />
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