Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005 - lamp.tugraz.at

Lösungen
L17: FIB in der Mikro- und Nanomechanik
L17: Fokussierte Ionenstrahl-
Technik (FIB) in der Mikround
Nanomechanik
Die fortschreitende Miniaturisierung von Bauteilen
sowie die Entwicklung von neuartigen Werkstoffen
(z.B. Nano-Verbundwerkstoffen) erfordern
eine Kenntnis der mechanischen Eigenschaften
in kleinsten Dimensionen. Dazu zählen Zug- und
Druckfestigkeit, Bruchzähigkeit und Ermüdungsfestigkeit.
Die grundsätzlichen Problematiken der
Mikro- und Nanomechanik sind die möglichst schädigungsfreie
Probenherstellung und die zuverlässige
Durchführung der mechanischen Tests.
Abbildung 1:
Beispiele von mittels FIB präparierten Mikrobiegebalken und der entsprechenden Abhängigkeit der Fließspannung
von der Balkendicke.
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Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005