Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005 - lamp.tugraz.at

L11: Eigenspannungs-Charakterisierungen
Die Ergebnisse zeigen, dass durch den Glühprozess
eine plastische Verformung der Aluminiumschicht
hervorgerufen wird, deren Folge eine
wesentliche Steigerung der mechanischen Zugspannungen
ist. Weiters zeigt sich eindeutig eine
Relaxation der mechanischen Druckspannungen
in der Aluminiumnitridschicht.
Methoden:
M15 | M42
Josef Keckes, Ernst Eiper Lösungen: –
Materials Center Leoben Forschung GmbH,
Institute:
I15 | I3
Österreichische Akademie der Wissenschaften
Erich-Schmid-Institut für Materialwissenschaft Kontakte:
K18 | K19
und Montanuniversität Leoben, Department Materialphysik
Eigenspannungsanalyse | Röntgendiffraktometrie | Spannungen, extrinsische
Spannungen, intrinsische | XRD
Index Kontakte Institute Lösungen Methoden
Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005
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