Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005 - lamp.tugraz.at

L11: Eigenspannungs-Charakterisierungen
Typische Anwendungsgebiete
Ein Beispiel für Spannungscharakterisierung
Quantitative Charakterisierung von
Eigenspannungen und Eigenspannungsverteilungen
an industriellen Anwendungen
Ortsaufgelöste Messungen –
Eigenspannungskarten
Eigenspannungsuntersuchungen im
Temperaturbereich 25 – 900°C
Studien über Spannungsrelaxation, plastische
Verformungen, Adhäsionsproblematiken
sowie Zuordnungen intrinsischer und
extrinsischer Spannungsbeiträge
Spannungscharakterisierung in Multischicht-
Anwendungen mit Fokus auf Spannungs-
Entwicklungen in speziell ausgewählten
Zwischenschichten
Einfluss von Pufferschichten auf den Spannungszustand
in Dünnschichtfilmen
„Stress Engineering“ für
Dünnschichtanwendungen
Tiefenabhängige Spannungsprofile
(„depth profiling“)
Ermittlung des Einflusses von Glühprozessen
auf Spannungszustände sowie der Auswirkung
von Strahlungsschädigungen auf
Materialien
Stress [MPa]
Abb. 3 zeigt die Ergebnisse einer In-situ-Eigenspannungscharakterisierung
in Zwischenschichten
einer Multischichtstruktur bestehend aus den
Materialien Al /AlN /Al 2 O 3 (0001). Die Messung
wurde mittels Röntgendiffraktion in einem Temperaturbereich
von 25 – 550°C durchgeführt. Dabei
betrugen die Dicken der Aluminium(Al)- und
Aluminiumnitrid(AlN)-Schichten zwischen 100 und
500 nm.
Abbildung 3:
Ergebnis der Spannungsuntersuchung
einer Multischicht-Probe.
Abbildung 2:
Heizkammer DHS 900 (Fa. Anton Paar)
zur Erweiterung des Zugänglichkeitsbereiches
für Spannungsuntersuchungen
bei erhöhten Temperaturen.
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Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005